电场传感器制造技术

一种电场传感器，包括：衬底(1)；谐振器(2)，通过支撑结构(3)设于衬底(1)表面之外平行于表面的平面上，谐振器(2)从平面的一端排列至与该端相对的另一端，各谐振器(2)之间侧壁正对，相互耦合，谐振器(2)可沿平行于平面方向振动；感应电极(4)，设于平面两端位置上的两个谐振器(2)的外侧侧壁；驱动结构(5)，设于平面两端位置上的两个谐振器(2)中的其中至少一个谐振器(2)的外侧，驱动结构(4)与谐振器(2)断开；极化介质层(6)，设于平面两端位置上的两个谐振器(2)中的其中一个谐振器(2)上。该电场传感器灵敏度高，并且，电场传感器体积小，有益于实现批量化制造和系统集成，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
电场传感器


[0001]本专利技术涉及传感器领域和微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，简称MEMS)领域，尤其涉及一种基于模态局域化的扭矩式微型电场传感器。

技术介绍

[0002]基于MEMS电场传感器是一种用来测量电场强度的器件，在气象探测、航空航天、工业生产、智能电网、国防军事和科学研究方面具有十分重要的作用。而在目标探测、高灵敏的静电测量等方向对灵敏度要求较高。
[0003]根据工作原理的不同，电场传感器可分为电荷感应式和光学式两大类，早期的基于电荷感应原理的传统电场传感器，比如双球式，旋片式等，最突出的问题在于体积较大，成本较高；随着MEMS技术的发展，基于MEMS技术的电场传感器纷纷被提出，以其中性能出色的扭转式电场传感器为例，相对于传统电场传感器体积减小、更易制造和集成，但受限于工作原理的限制，也带来灵敏度不够高的缺点。

技术实现思路

[0004](一)要解决的技术问题
[0005]针对于现有技术问题，本专利技术提出一种基于模态局域化的扭矩式微型电场传感器，用于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电场传感器，其特征在于，包括：衬底(1)；至少两个谐振器(2)，通过支撑结构(3)设于所述衬底(1)表面之外平行于所述表面的平面上，所述谐振器(2)从所述平面的一端排列至与该端相对的另一端，各谐振器(2)之间侧壁正对，相互耦合，所述谐振器(2)可沿平行于所述平面方向振动；感应电极(4)，设于所述平面两端位置上的两个所述谐振器(2)的外侧侧壁；驱动结构(5)，设于所述平面两端位置上的两个所述谐振器(2)中的其中至少一个所述谐振器(2)的外侧，所述驱动结构(4)与所述谐振器(2)断开；极化介质层(6)，设于所述平面两端位置上的两个所述谐振器(2)中的其中一个所述谐振器(2)上。2.根据权利要求1所述的电场传感器，其特征在于，所述谐振器(2)包括质量块(21)及支梁(22)；所述极化介质层(6)设置于所述质量块(21)上，所述支梁(22)一端与所述质量块(21)固定，另一端通过所述支撑结构(3)固定在所述衬底(1)上。3.根据权利要求1所述的电场传感器，其特征在于，所述感应电极(4)包括可动部分(41)及不可动部分(42)，所述可动部分(41)设于所述谐...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭春荣，王子龙，毋正伟，夏善红，
申请(专利权)人：中国科学院空天信息创新研究院，
类型：发明
国别省市：