一种激光波长测量装置及方法制造方法及图纸

技术编号:30699392 阅读:57 留言:0更新日期:2021-11-06 09:35
本发明专利技术公开一种激光波长测量装置及方法包括:标准激光源、被测激光源、谐振平面镜、角锥反射镜、精密位移台、控制系统、解调系统、第一光电探测器、第二光电探测器;标准激光与被测激光平行送入到Fabry

【技术实现步骤摘要】
一种激光波长测量装置及方法


[0001]本专利技术属于激光波长测量装置及方法,特别是涉及一种基于光学游标Fabry

Perot干涉术的激光波长测量装置及方法。

技术介绍

[0002]激光波长是激光器一项非常重要的参数,激光波长的精确测量在激光光谱研究、精密测量领域以及半导体激光器稳频技术和光纤光栅测量信号的解调技术中都有重要作用。
[0003]目前激光波长测量方法主要有两大类:光谱型和相干型。光谱型激光波长测量方法采用光栅或者滤光片等方式对激光波长进行测量,精度相对较低。相干型激光波长测量方法采用干涉技术对激光波长进行测量,目前主要基于三种干涉技术:斐索(Fizeau)干涉技术、法布里

珀罗(Fabry

Perot)干涉技术和迈克尔逊(Michelson)干涉技术。斐索(Fizeau)干涉型激光波长测量技术精度最高可以达到10
‑7量级。法布里

珀罗(Fabry

Perot)干涉技术精度可以到10
‑8,迈克尔逊波长计是通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光波长测量装置,其特征在于:包括标准激光源、被测激光源、谐振平面镜、角锥反射镜、精密位移台、控制系统、解调系统、第一光电探测器、第二光电探测器;其中,标准激光源发出波长确定的激光,射进由谐振平面镜与固定于精密位移台上的角锥反射镜构成的Fabry

Perot腔内进行干涉形成主测量干涉光束,然后被第一光电探测器接收形成主测量干涉信号;被测激光源发出波长未知的激光,射进所述Fabry

Perot腔内进行干涉形成副测量干涉光束,然后被第二光电探测器接收形成副测量干涉信号;主副测量干涉信号送入到解调系统进行解调;解调模块按照光学游标原理对其进行解调得到光学游标长度,再通过光学游标长度、标准激光波长与被测激光波长的关系,计算得到被测激光波长;控制系统与解调系统、精密位移台相互通信。2.根据权利要求1所述的激光波长测量装置,其特征在于,所述的谐振平面镜为两端具有第一反射率且中间具有第二反射率的平面镜,所述第一反射率为2.5%~97.6%,所述第二反射率为2.5%~97.6%。3.根据权利要求1所述的激光波长测量装置,其特征在于,解调模块通过检测主副测量干涉信号同时到达干涉峰值点的位置得到光学游标长度,再进行换算得到被测激光波长。4.一种激光波长测量方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、标准激光源发出波长为λ0的激光,被测激光源发出波长为λ1未知的激光,射进由谐振平面镜与固定于精密位移台上的角锥反射镜构成的Fabry

Perot腔内进行干涉形成主副测量干涉光束分别被第一光电探测器、第二光电探测器接收形成主副测量干涉信号。步骤2、控制系统控制精密位移台移动,使得角锥反射镜移动;主副测量干涉信号送入解调系统进行解调,当主副测量干涉信号第一次同时达到干涉峰值点时,记下此时精密位移台的位置l0,然后继续进行解调,当主副测量信号第二次同时达到干涉峰值点时,记下此时精密位移台的位置l1,则光学游标长度为L
y
=l1‑
l0。步骤3、最后根据被测激光波长λ1与光学游标长度L
y
的...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔建军张鹏陈恺康岩辉
申请(专利权)人:中国计量科学研究院
类型:发明
国别省市:

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