一种高洁净液体的混合系统技术方案

一种高洁净液体的混合系统，涉及显影液生产技术领域。一种高洁净液体的混合系统包括罐体、设置在罐体内液面下的喷射混合装置、增压泵、静态混合器；液体从喷射混合装置喷入罐体，在罐体内经回流后流出并依次经过增压泵和静态混合器，从静态混合器流出的液体一部分返回喷射混合装置；喷射混合装置包括环形管、多个环形间隔设置的喷射混合器和设置在中心且能够喷出高压气体的高压喷盘。上述一种高洁净液体的混合系统能够采用喷射混合装置和静态混合器的配合来取消运动部分，并保持搅拌效率。并保持搅拌效率。并保持搅拌效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高洁净液体的混合系统


[0001]本技术涉及显影液生产
，具体而言，涉及一种高洁净液体的混合系统。

技术介绍

[0002]半导体行业的芯片制造过程中使用的电子化学品，有清洗剂、显影液、剥离液等等。电子化学品对液体本身的纯净度和颗粒要求非常高，金属含量要求可以达到几十个ppt， 0.2um以上的颗粒要求达到小于200pcs/ml，甚至更低。
[0003]在以往的生产过程中，通常采用间歇式釜复配，并用搅拌器将各种电子化学品成分混合均匀。上述混合使用搅拌器，釜体和搅拌轴的连接部位有运动，造成缝隙和摩擦，这些极易造成微小污染，尤其对金属含量要求极高的电子化学品来说有些不适宜。通过在釜体内采用内衬、搅拌轴与釜体的连接部分采用特殊的密封形式等方法可以减少金属和颗粒污染。但只要有搅拌器等运动部件存在，就始终有污染的风险。为了降低运动部件带来的污染风险，需要一种没有运动部件的搅拌方式，并保持高的搅拌效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高洁净液体的混合系统，其采用喷射混合装置和静态混合器的配合来取消运动部分，并保持搅拌效率。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]一种高洁净液体的混合系统，其包括罐体、设置在罐体内液面下的喷射混合装置、增压泵、静态混合器；液体从所述喷射混合装置喷入所述罐体，在所述罐体内经回流后流出并依次经过所述增压泵和所述静态混合器，从所述静态混合器流出的液体一部分返回所述喷射混合装置；
[0007]所述喷射混合装置包括环形管、多个环形间隔设置的喷射混合器和设置在中心且能够喷出高压气体的高压喷盘。
[0008]进一步地，在本技术较佳的实施例中，上述喷射混合器的喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜。
[0009]进一步地，在本技术较佳的实施例中，上述喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜25
‑
40
°
。
[0010]进一步地，在本技术较佳的实施例中，上述高压喷盘的下表面上设置有多组喷嘴，每组所述喷嘴排列为同圆心且半径不同的环形。
[0011]进一步地，在本技术较佳的实施例中，上述每组喷嘴包括一个环形通道或多个间隔设置且排列成环形的管形通道。
[0012]进一步地，在本技术较佳的实施例中，上述环形通道和所述管形通道的喷射方向为向着远离轴线的方向斜向下倾斜30
‑
45
°
，且所述喷射方向倾斜角度大于所述喷口的倾斜角度。
[0013]进一步地，在本技术较佳的实施例中，上述高洁净液体的混合系统还包括过滤器，所述过滤器设置在所述罐体和所述增压泵之间，或所述过滤器的入口连接至所述静态混合器的出口。
[0014]进一步地，在本技术较佳的实施例中，上述罐体的外壁上设置有超声波发生器。
[0015]与现有技术相比，本技术一种高洁净液体的混合系统的有益效果是：
[0016]（1）本技术的高洁净液体的混合系统采用喷射混合装置和静态混合器的配合来取消运动部分，并保持搅拌效率。
[0017]（2）本技术喷射混合装置上设置能够喷出高压气体的高压喷盘，上述高压喷盘喷出的高压气体能够吹射到从喷射混合混合器中喷出的混合液，并进一步混合。
[0018]（3）本技术的罐体的外壁上设置超声波发生器，进一步增大了混合效果。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1为本技术实施例高洁净液体的混合系统的结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例喷射混合装置的结构示意图；
[0022]图3为本技术实施例高压喷盘的结构示意图。
[0023]图标：100
‑
高洁净液体的混合系统；110
‑
罐体；120
‑
喷射混合装置；130
‑
增压泵；140
‑
静态混合器；150
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过滤器；111
‑
超声波发生器；121环形管；122
‑
喷射混合器；123
‑
高压喷盘；124
‑
环形通道；125
‑
管形通道；180
‑
流向路径；190
‑
高压气储罐。
具体实施方式
[0024]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0025]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此
不能理解为对本技术的限制。
[0028]此外，术语“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0029]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
实施例
[0030]请参照图1，本实施例提供一种高洁净液体的混合系统100，其包括罐体110、喷射混合装置120、增压泵130、静态混合器140和过滤器150。喷射混合装置120设置在罐体110内液面下。液体从喷射混合装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，其包括罐体、设置在罐体内液面下的喷射混合装置、增压泵、静态混合器；液体从所述喷射混合装置喷入所述罐体，在所述罐体内经回流后流出并依次经过所述增压泵和所述静态混合器，从所述静态混合器流出的液体一部分返回所述喷射混合装置；所述喷射混合装置包括环形管、多个环形间隔设置的喷射混合器和设置在中心且能够喷出高压气体的高压喷盘。2.根据权利要求1所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述喷射混合器的喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜。3.根据权利要求2所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述喷口向着远离轴线的方向斜向下倾斜25
‑
40
°
。4.根据权利要求1所述的一种高洁净液体的混合系统，其特征在于，所述高压喷盘的下表面上设置有多...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鸣，金旭，
申请(专利权)人：苏州市晶协高新电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：