一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法技术

本发明专利技术提供了一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，包括：步骤1：获取试验需求，并按照试验需求，确定气体测量类型；步骤2：根据气体测量类型，从气体元件数据库中选择对应的气体组件；步骤3：基于测试平台，并按照气体组件以及试验需求对应的试验规则，构建阵列型MEMS多气体传感器模型；步骤4：对阵列型MEMS多气体传感器模型进行测试，并进行合格判断，之后将合格的阵列型MEMS多气体传感器模型进行输出制作。过对气体元件进行组合测试以及合格判断，并输出制作，可以有效降低传感器在创建过程中的误差。程中的误差。程中的误差。

【技术实现步骤摘要】
一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法


[0001]本专利技术涉及传感器
，特别涉及一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法。

技术介绍

[0002]气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器，随着微器件应用范围不断扩大，对气体传感器的微型化和集成化、低功耗和低成本、高精度和长寿命、多功能和智能化提出了更高的要求。微结构和集成电路的一体化集成可以很好的满足上述要求。
[0003]根据CN201711467754.8，一种阵列型MEMS气体传感器记载的，包括基底、位于基底上端的电控机构、位于电控机构上端且与所述电控机构电路互联的传感平台及位于传感平台上端的气体传感器阵列，所述气体传感器阵列包括一个以上的气体传感器，所述气体传感器阵列上设有气体渗透型薄膜；所述气体传感器与所述传感平台之间设有一个隔热腔；所述电控机构及所述传感平台通过单片集成工艺与所述基底一体化制成，虽然采用该技术创建了一种新的芯片集成方式，集不同气体传感器为一个基底，可以探测不同气体参数，也可以根据不同气体，选择不同的气体传感器，还降低了使用成本，但是在创建的过程中，由于不清楚器件的自身情况以及选择后的器件在搭建过程中是否会出现搭建失误，进而导致在创建出来的传感器存在一些列误差。
[0004]因此，本专利技术提出一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，用以通过对气体元件进行组合测试以及合格判断，并输出制作，可以有效降低传感器在创建过程中的误差。
[0006]本专利技术提供一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，包括：
[0007]步骤1：获取试验需求，并按照所述试验需求，确定气体测量类型；
[0008]步骤2：根据气体测量类型，从气体元件数据库中选择对应的气体组件；
[0009]步骤3：基于测试平台，并按照气体组件以及所述试验需求对应的试验规则，构建阵列型MEMS多气体传感器模型；
[0010]步骤4：对阵列型MEMS多气体传感器模型进行测试，并进行合格判断，之后将合格的阵列型MEMS多气体传感器模型进行输出制作。
[0011]在一种可能实现的方式中，
[0012]所述气体组件包括：基底元件、电控元件、传感元件、薄膜元件；
[0013]其中，所述基底元件、电控元件、传感元件以及薄膜元件从低到高依次层层排列。
[0014]在一种可能实现的方式中，
[0015]步骤1，获取试验需求，并按照所述试验需求，确定气体测量类型的过程中，还包括：
[0016]获取试验需求，并对所述试验需求进行分割，得到若干第一子需求；
[0017]加载需求参数集，对所述第一子需求中的无关信息进行过滤操作，获取得到第二子需求；
[0018]根据所述第二子需求，建立需求集合，并检测是否存在需求冲突，若存在，创建冲突消除规则，获得第三子需求；
[0019]根据需求表征集，确定每个第三子需求的表征符号；
[0020]对所述试验需求中的关键词进行提取，得到关键集合，并将所述关键集合基于所述需求表征集进行表征，得到新的符号；
[0021]将所述表征符号与新的符号进行匹配，若都匹配成功，获取所述第三子需求的置信值；
[0022]否则，根据匹配结果，从所述第三子需求中提取未匹配成功的第四子需求以及从关键集合中提取未匹配成功的第一关键词；
[0023]获取所述第四子需求在第三子需求中的个数占比、第一关键词在关键集合中的个数占比；
[0024]当所述个数占比都大于对应的预设占比时，进行报警提醒，并获取未匹配成功的表征符号以及新的符号的手动输入符号，进而获取对应的第三子需求的置信值；
[0025]否则，建立所述第四子需求与第一关键词的符号分类联系，进而获取对应的第三子需求的置信值；
[0026]获取每个第三子需求对应的测量气体的气体测量类型，同时，对第三子需求的置信值进行优先级排序，进而获取对应气体测量类型的测量优先级。
[0027]在一种可能实现的方式中，
[0028]步骤2：根据气体测量类型，从气体元件数据库中选择对应的气体组件，包括：
[0029]根据气体测量类型，从气体元数据库中筛选对应类型的多个待筛选组件，并构成对应类型的气体集合，且对应的气体集合的个数为n，每个气体集合中对应的多个待筛选组件的个数至少为一个；
[0030]根据试验需求，对每个气体集合中所有待筛选组件中的可用组件进行第一标定，且每个集合中进行第一标定的可用组件至少为一个；
[0031]当同个集合中进行第一标定的可用组件存在多个时，按照所述测试平台的预设选择规则，从同个集合中的多个可用组件中筛选一个气体组件；
[0032]当同个集合中进行第一标定的可用组件存在一个时，将其作为气体组件；
[0033]其中，按照筛选出来的气体组件进行阵列型MEMS多气体传感器模型的构建。
[0034]在一种可能实现的方式中，
[0035]步骤3：基于测试平台，并按照气体组件以及所述试验需求对应的试验规则，构建阵列型MEMS多气体传感器模型的过程中，还包括：
[0036]根据所述气体测量类型，从所述气体元件数据库中筛选n个气体组件；
[0037]按照与所述试验要求对应的试验规则，从n个气体组件中筛选能测量气体类型的关键元件，构建成关键区域，其中所述关键区域即为阵列型组合中的阵列区域，便于测量不同类型的气体，其中，所述关键元件与传感元件以及薄膜元件有关；
[0038]基于测试平台，测试所述阵列区域中的每个关键元件是否正常工作，若是，将其保
留，否则，替换新的元件，进而获得合格关键区域。
[0039]在一种可能实现的方式中，
[0040]在获取合格关键区域之后，还包括：
[0041]基于测试平台，并基于气体传感器的分析标准，对n个气体组件中的每层元件进行预分析，根据每层分析结果，确定对应气体组件的组件性能，进而判断对应气体组件基于原始组件的优化性能；
[0042]基于优化数据库，将n个优化性能进行组合分析，获取m组性能组合，且每组性能组合中包括n1个优化性能，且n1<n，且n1是变量；
[0043]根据如下公式，计算每组性能组合的优化值Y；
[0044][0045]其中，表示第i个优化性能在对应性能组合中的优化权重值；δ
i
表示第i个优化性能在对应组合性能中相比在对应气体组件中的优化缺失度；F(f
i
,f
j,j≠i,j∈n1
)表示在对应性能组合中的第i个优化性能对应的优化信息f
i
与剩余优化性能对应的优化信息f
j,j≠i,j∈n1
之间的关联值，且取值范围为(0,1)；F
ave
(f
i
,f
j,j≠本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，其特征在于，包括：步骤1：获取试验需求，并按照所述试验需求，确定气体测量类型；步骤2：根据气体测量类型，从气体元件数据库中选择对应的气体组件；步骤3：基于测试平台，并按照气体组件以及所述试验需求对应的试验规则，构建阵列型MEMS多气体传感器模型；步骤4：对阵列型MEMS多气体传感器模型进行测试，并进行合格判断，之后将合格的阵列型MEMS多气体传感器模型进行输出制作。2.如权利要求1所述的阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，其特征在于，所述气体组件包括：基底元件、电控元件、传感元件、薄膜元件；其中，所述基底元件、电控元件、传感元件以及薄膜元件从低到高依次层层排列。3.如权利要求1所述的阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，其特征在于，步骤1，获取试验需求，并按照所述试验需求，确定气体测量类型的过程中，还包括：获取试验需求，并对所述试验需求进行分割，得到若干第一子需求；加载需求参数集，对所述第一子需求中的无关信息进行过滤操作，获取得到第二子需求；根据所述第二子需求，建立需求集合，并检测是否存在需求冲突，若存在，创建冲突消除规则，获得第三子需求；根据需求表征集，确定每个第三子需求的表征符号；对所述试验需求中的关键词进行提取，得到关键集合，并将所述关键集合基于所述需求表征集进行表征，得到新的符号；将所述表征符号与新的符号进行匹配，若都匹配成功，获取所述第三子需求的置信值；否则，根据匹配结果，从所述第三子需求中提取未匹配成功的第四子需求以及从关键集合中提取未匹配成功的第一关键词；获取所述第四子需求在第三子需求中的个数占比、第一关键词在关键集合中的个数占比；当所述个数占比都大于对应的预设占比时，进行报警提醒，并获取未匹配成功的表征符号以及新的符号的手动输入符号，进而获取对应的第三子需求的置信值；否则，建立所述第四子需求与第一关键词的符号分类联系，进而获取对应的第三子需求的置信值；获取每个第三子需求对应的测量气体的气体测量类型，同时，对第三子需求的置信值进行优先级排序，进而获取对应气体测量类型的测量优先级。4.如权利要求1所述的阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，其特征在于，步骤2：根据气体测量类型，从气体元件数据库中选择对应的气体组件，包括：根据气体测量类型，从气体元数据库中筛选对应类型的多个待筛选组件，并构成对应类型的气体集合，且对应的气体集合的个数为n，每个气体集合中对应的多个待筛选组件的个数至少为一个；根据试验需求，对每个气体集合中所有待筛选组件中的可用组件进行第一标定，且每个集合中进行第一标定的可用组件至少为一个；当同个集合中进行第一标定的可用组件存在多个时，按照所述测试平台的预设选择规
则，从同个集合中的多个可用组件中筛选一个气体组件；当同个集合中进行第一标定的可用组件存在一个时，将其作为气体组件；其中，按照筛选出来的气体组件进行阵列型MEMS多气体传感器模型的构建。5.如权利要求1所述的阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，其特征在于，步骤3：基于测试平台，并按照气体组件以及所述试验需求对应的试验规则，构建阵列型MEMS多气体传感器模型的过程中，还包括：根据所述气体测量类型，从所述气体元件数据库中筛选n个气体组件；按照与所述试验要求对应的试验规则，从n个气体组件中筛选能测量气体类型的关键元件，构建成关键区域，其中所述关键区域即为阵列型组合中的阵列区域，便于测量不同类型的气体，其中，所述关键元件与传感元件以及薄膜元件有关；基于测试平台，测试所述阵列区域中的每个关键元件是否正常工作，若是，将其保留，否则，替换新的元件，进而获得合格关键区域。6.如权利要求4所述的阵列型MEMS多气体传感器的实现方法，其特征在于，在获取合格关键区域之后，还包括：基于测试平台，并基于气体传感器的分析标准，对n个气体组件中的每层元件进行预分析，根据每层分析结果，确定对应气体组件的组件性能，进而判断对应气体组件基于原始组件的优化性能；基于优化数据库，将n个优化性能进行组合分析，获取m组性能组合，且每组性能组合中包括n1个优化性能，且n1<n，且n1是变量；根据如下公式，计算每组性能组合的优化值Y；其中，表示第i个优化性能在对应性能组合中的优化权重值；δ
i
表示第i个优化性能在对应组合性能中相比在对应气体组件中的优化缺失度；F(f
i
,f
j,j≠i...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪民，许玉方，
申请(专利权)人：广州德芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：