一种单晶炉炉底保温组件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种单晶炉的炉底保温组件，具有包含石墨碳毡层的保温层，在保温层上开设有分别供石墨下轴和电极穿过的石墨下轴贯穿通孔及电极贯穿通孔；在石墨下轴贯穿通孔及电极贯穿通孔中均设有隔离护套，隔离护套能够将石墨碳毡与石墨下轴贯穿通孔及电极贯穿通孔相隔离。隔离护套将石墨碳毡暴露于石墨下轴贯穿通孔、电极贯穿通孔中的部分与通孔相隔离，在隔离护套的防护下，硅液及硅蒸汽不能通过通孔与石墨碳毡相接触，因此能够保护炉底石墨碳毡不受硅液及硅蒸汽的侵蚀，从而延长石墨碳毡使用寿命，改善炉底保温效果；在使用颗粒硅原料进行单晶硅棒的拉制过程中，提高热场保温性能，提高单晶品质，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉炉底保温组件


[0001]本技术涉及单晶炉保温组件
，尤其涉及一种单晶炉炉底保温组件。

技术介绍

[0002]单晶硅，又称硅单晶，是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主) 环境中，用加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶硅的设备。单晶炉的热场系统决定了单晶生长的温度，温度分布合适的热场，能够生长出高质量的单晶。温度分布不合适的热场容易使单晶变成多晶，或者根本无法引晶；或者虽然能够生长单晶，但质量较差，有位错和其它结构缺陷。因此，找到较好的热场条件，配置最佳的热场，是非常重要的直拉单晶工艺技术。热场保温性能不佳，在一定程度影响拉晶，从而增加功耗及生产成本。
[0003]现有的热场系统一般包含炉体顶部保温，上、中、下保温以及炉体底部保温。炉底保温组件的保温层通常包含石墨压片层、石墨碳毡层、石墨固化毡层等保温材料，保温层上具有沿纵向贯穿各层的多个通孔，通孔用于容纳单晶炉的石墨下轴及电极，并供石墨下轴以及电极穿过。炉底保温组件的保温效果，直接影响着热场的温度梯度。
[0004]为降本增效，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉底保温组件，具有包含石墨碳毡(113)层的保温层，在保温层上开设有分别供石墨下轴和电极穿过的石墨下轴贯穿通孔(121)及电极贯穿通孔(122)；其特征在于：在所述石墨下轴贯穿通孔(121)及所述电极贯穿通孔(122)中分别设有第一隔离护套(131)、第二隔离护套(132)，所述第一隔离护套(131)能够将所述石墨碳毡(113)与所述石墨下轴贯穿通孔(121)相隔离，所述第二隔离护套(132)能够将所述石墨碳毡(113)与所述电极贯穿通孔(122)相隔离。2.根据权利要求1所述的单晶炉炉底保温组件，其特征在于：所述第一隔离护套(131)、第二隔离护套(132)覆盖所述石墨碳毡(113)并与其相贴合。3.根据权利要求2所述的单晶炉炉底保温组件，其特征在于：所述炉底保温组件(1)的保温层从上至下依次包括石墨压片(111)、石墨保温固化毡(112)、石墨碳毡(113)、石墨固化毡(114)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵刚，丁志杰，
申请(专利权)人：内蒙古华耀光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：