集成电路测试方法与系统技术方案

本申请公开了一种集成电路测试方法与系统。所述测试方法包括：采用测试配置测试多个集成电路以获得测试数据；以及根据测试数据获得多个集成电路的测试结果，其中，在测试步骤中，根据测试数据相关的变更条件实时变更测试配置，测试配置规定至少一个测试项、以及与至少一个测试项对应的测试激励和测试规范。通过对大量实时测试数据的分析，根据测试配置和测试配置的变更条件，在保有基本测试配置的基础上，实时变更部分测试项或测试激励或测试规范，无需通过变更流程升级测试配置即可实行多种测试方案，从而支持更加高效的测试行为，实现智能化测试的目的。现智能化测试的目的。现智能化测试的目的。

【技术实现步骤摘要】
集成电路测试方法与系统
[0001]本申请是申请日为2020年05月28日、申请号为202010464875.2、专利技术名称为“集成电路测试方法与系统”的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及集成电路测试
，特别涉及一种集成电路测试方法与系统。

技术介绍

[0003]集成电路(Integrated Circuit,IC)完成制造后，需要对集成电路进行性能测试，从而筛选出不符合设计要求的集成电路，还可以进一步按照各项性能测试对合格集成电路进行分类。
[0004]图1示出了现有技术第一实施例的集成电路测试方法的流程示意图。如图1所示，首先给DUT(被测集成电路)110输入测试激励Xi，然后在分析单元120中，将输出响应(即测试数据)Yi与期望响应(即测试规范)Ci进行比较，判断DUT110是否满足设计要求，并根据判断结果Ri将DUT110进行分类。现有的集成电路的测试，包括多种测试项，如开短路测试、漏电流测试、静态工作电流测试、动态工作电流测试、功能测试等各项性能测试，根据测试项生成不同的测试激励提供给被测集成电路。
[0005]相关技术中，通常根据产品规格定义和前期实验室测试结果，确定某型号的集成电路的生产测试配置，该测试配置包含若干测试项、若干测试激励和若干测试规范，其中测试配置根据测试项产生相应的测试激励，并且每个测试项具有相应的测试规范。在生产测试阶段，上述测试配置中包含的测试项、各测试项产生的测试激励及对应的测试规范，在较长的一段时期内均固定不变，即在程序固化这段时间内的生产测试过程中，同一型号的集成电路均使用相同的测试项、相同的测试激励，并采用相同的测试规范进行判断和归类。
[0006]采用上述固化的测试配置对集成电路测试一段时间后，有可能随着此类集成电路日渐成熟，积累了大量测试数据，根据积累的测试数据需要对测试配置，如测试项、各测试项对应的测试激励、对应的测试规范进行相应调整。这种调整通常非常谨慎，相关技术一般是通过严谨的变更流程来实现。然而，随着集成电路产业的发展，对集成电路的生产测试提出了更多的需求。显然，传统的固化的测试配置已经无法满足上述需求。

技术实现思路

[0007]鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种集成电路测试方法与系统，在批量芯片生产测试的过程中，可以动态的调整针对不同测试样品的测试配置和变更条件，从而达到更为高级的测试目的，无需通过变更流程升级测试配置即可实行多种测试方案，从而支持更加高效的测试行为，实现智能化测试的目的。
[0008]根据本专利技术实施例的第一方面，提供一种集成电路测试方法，其中，
[0009]采用测试配置测试多个集成电路以获得测试数据；以及
[0010]根据所述测试数据获得所述多个集成电路的测试结果，
[0011]其中，在所述测试步骤中，根据所述测试数据相关的变更条件实时变更所述测试配置，所述测试配置规定至少一个测试项、以及与所述至少一个测试项对应的测试激励和测试规范。
[0012]在一些实施例中，所述变更条件包括同时满足的以下条件：
[0013]已测试的集成电路的数量大于等于第一阈值；以及
[0014]已测试的集成电路的失效率小于第二阈值。
[0015]在一些实施例中，实时变更所述测试配置包括：
[0016]从所述测试配置中删除所述至少一个测试项中的测试项，或者删除所述至少一个测试项的测试激励。
[0017]在一些实施例中，所述变更条件包括同时满足的以下条件：
[0018]已测试的集成电路的数量大于等于第三阈值；以及
[0019]已测试的集成电路的失效率大于等于第四阈值。
[0020]在一些实施例中，实时变更所述测试配置包括：
[0021]为所述测试配置增加测试项，或者为所述至少一个测试项增加测试激励。
[0022]在一些实施例中，所述变更条件还包括满足以下条件：
[0023]所述多个集成电路属于新生产批次。
[0024]在一些实施例中，所述变更条件包括满足以下条件：
[0025]预估的采用变更后的所述测试配置测试的集成电路的失效率的增量小于第五阈值。
[0026]在一些实施例中，实时变更所述测试配置包括：实时调整所述测试规范中相关参数的上限值和下限值。
[0027]在一些实施例中，预估采用变更后的所述测试配置测试的集成电路的失效率的增量包括：
[0028]根据采用变更前的所述测试配置测试集成电路获得的测试数据，分析所述至少一个测试项对应的输出响应分布以及所述至少一个测试规范中的相关参数的中心值波动；
[0029]根据所述中心值波动，预估调整所述至少一个测试规范后所述相关参数的上限值和下限值；以及
[0030]根据所述输出响应分布，预估采用变更后的测试配置测试的集成电路的失效率的增量。
[0031]在一些实施例中，所述变更条件还包括满足以下条件：
[0032]所述多个集成电路属于多个生产批次或同一个生产批次。
[0033]在一些实施例中，重复所述测试步骤一定次数，在每一次的所述测试步骤中，根据之前所述测试步骤中获得的所述测试数据相关的变更条件实时变更所述测试配置。
[0034]在一些实施例中，所述采用测试配置测试多个集成电路以获得测试数据包括：
[0035]按照一定测试比例，采用多个测试配置测试测试周期内的多个集成电路以获得测试数据；
[0036]所述根据所述测试数据获得所述多个集成电路的测试结果包括：
[0037]根据所述测试数据获得所述测试周期内所述多个集成电路的测试结果。
[0038]在一些实施例中，所述变更条件包括满足以下条件：
[0039]判定采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率小于第六阈值；
[0040]实时变更所述测试配置包括：
[0041]减少所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量。
[0042]在一些实施例中，所述变更条件包括满足以下条件：
[0043]判定采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率大于第七阈值；
[0044]实时变更所述测试配置包括：
[0045]增大所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量。
[0046]在一些实施例中，所述多个测试配置具有不同的测试覆盖率。
[0047]在一些实施例中，所述一定测试比例是一个测试周期内不同测试覆盖率所对应的测试配置所测试的集成电路个数的比例。
[0048]在一些实施例中，所述第一测试覆盖率是所述多个测试配置中测试覆盖率最高的测试配置的测试覆盖率。
[0049]在一些实施例中，所述测试周期为采用所述多个测试配置按照所述一定测试比例测试一次集成电路的总个数。
[0050]在一些实施例中，所述方法包括：
[0051]采用初本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路测试方法，包括：按照一定测试比例，采用多个测试配置测试测试周期内的多个集成电路以获得测试数据，根据所述测试数据获得所述测试周期内所述多个集成电路的测试结果，所述测试配置规定至少一个测试项、以及与所述至少一个测试项对应的测试激励和测试规范；在所述测试步骤中，根据所述测试数据相关的变更条件实时变更所述测试配置，其中，根据所述测试数据相关的变更条件实时变更所述测试配置的方式包括：判定采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率小于第六阈值，则减少所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量；判定采用第一测试覆盖率对应的测试配置测试的集成电路的失效率大于第七阈值，则增大所述第一测试覆盖率对应的测试配置测试所述测试周期内的所述多个集成电路的电路数量。2.根据权利要求1所述的集成电路测试方法，其中，所述变更条件还包括满足以下条件：所述多个集成电路属于多个生产批次或同一个生产批次。3.根据权利要求1所述的集成电路测试方法，其中，所述多个测试配置具有不同的测试覆盖率。4.根据权利要求1所述的集成电路测试方法，其中，所述一定测试比例是一个测试周期内不同测试覆盖率所对应的测试配置所测试的集成电路个数的比例。5.根据权利要求1所述的集成电路测试方法，其中，所述第一测试覆盖率是所述多个测试配置中测试覆盖率最高的测试配置的测试覆盖率。6.根据权利要求1所述的集成电路测试方法，其中，所述测试周期为采用所述多个测试配置按照所述一定测试比例测试一次集成电路的总个数。7.一种集成电路测试系统，其中，按照一定测试比例，采用多个测试配置测试测试周期内的多个集成电路以获得测试数据，根据所述测试数据获得所述测试周期内所述多个集成电路的测试结果，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋卫权，张健，
申请(专利权)人：杭州芯讯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：