半导体功率器件测试用热能交换调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种热能交换调节装置，尤其是一种半导体功率器件测试用热能交换调节装置。本实用新型专利技术供液设备与液体热交换第一支路、液体热交换第二支路适配连接，通过液体热交换第一支路、液体热交换第二支路分别与一热能交换板匹配连接，通过调节控制器控制液体热交换第一支路、液体热交换第二支路路相对应工作状态的切换控制，能有效精确实现不同目标值流速的快速切换，智能化程度高，安全可靠。安全可靠。安全可靠。

【技术实现步骤摘要】
半导体功率器件测试用热能交换调节装置


[0001]本技术涉及一种热能交换调节装置，尤其是一种半导体功率器件测试用热能交换调节装置。

技术介绍

[0002]对半导体功率器件测试时，存在利用热能交换板中液体进行热交换的情况。在利用热能交换板进行热交换时，一般需要精确控制通过热能交换板中液体介质的流速，而且要求在极短的时间内实现不同目标值流速的快速切换。目前，市面上主要的半导体功率器件测试设备，在进行液体介质流速控制时，主要分两大类：MFC(质量流量控制器)和各类控制器控制通过PID调整各类阀门的角度来调整液体介质流速，但现有的液体介质流速控制均难以满足实际测试的需要。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种半导体功率器件测试用热能交换调节装置，其能有效精确实现不同目标值流速的快速切换，智能化程度高，安全可靠。
[0004]按照本技术提供的技术方案，所述半导体功率器件测试用热能交换调节装置，包括调节支撑导轨以及设置于所述调节支撑导轨上的液体热交换管路，所述液体热交换管路至少包括液体热交换第一支路；
[0005]所述液体热交换第一支路包括热交换第一支路第一管路、热交换第一支路第二管路以及热交换第一支路旁路管；其中，在热交换第一支路第一管路上，包括与所述热交换第一支路第一管路适配连接的第一支路第一开关阀、第一支路第二调节阀以及第一支路第二开关阀；在热交换第一支路第二管路上，包括与所述热交换第一支路第二管路适配连接的第一支路第三开关阀；在热交换第一支路旁路管上，包括与所述热交换第一支路旁路管适配连接的第一支路第一调节阀；
[0006]沿热交换第一支路第一管路的第一连接端指向所述热交换第一支路第一管路第二连接端方向上，第一支路第一开关阀、第一支路第二调节阀以及第一支路第二开关阀在所述热交换第一支路第一管路上依次排布；热交换第一支路旁路管的第一旁路管端与热交换第一支路第一管路适配连接后形成第一支路旁路第一结合部，热交换第一支路旁路管的第二旁路管端与热交换第一支路第一管路适配连接后形成第一支路旁路第二结合部，第一支路旁路第一结合部位于热交换第一支路第一管路的第一连接端与第一支路第一开关阀之间，第一支路旁路第二结合部位于第一支路第二调节阀与第一支路第二开关阀之间；
[0007]还包括连接热交换第一支路第一管路与热交换第一支路第二管路的第一支路内管路连接管，在所述第一支路内关路连接管上设置第一支路第四开关阀；所述第一支路内管路连接管的一端与热交换第一支路第一管路适配连接后形成第一支路内管路第一结合部，所述第一支路内管路连接管的另一端与热交换第一支路第二管路适配连接后形成第一
支路内管路第二结合部，其中，第一支路内管路第一结合部位于第一支路位于第一开关阀与第一支路第二调节阀之间，第一支路内管路第二结合部位于第一支路第三开关阀与热交换第一支路第二管路的第一端之间。
[0008]液体热交换管路还包括液体热交换第二支路；
[0009]所述液体热交换第二支路包括热交换第二支路第一管路、热交换第二支路第二管路以及热交换第二支路旁路管；其中，在热交换第二支路第一管路上，包括与所述热交换第二支路第一管路适配连接的第二支路第一开关阀，在热交换第二支路第二管路上，包括与所述热交换第二支路第二管路适配连接的第二支路第二开关阀、第二支路第一调节阀以及第二支路第三开关阀，在热交换第二支路旁路管上，包括与所述热交换第二支路旁路管适配连接的第二支路第二调节阀；
[0010]沿热交换第二支路第二管路的第一连接端指向所述热交换第二支路第二管路第二连接端的方向上，第二支路第二开关阀、第二支路第一调节阀以及第二支路第三开关阀在所述热交换第二支路第二管路上依次排列，热交换第二支路旁路管的第一旁路管端与热交换第二支路第二管路适配连接后形成第二支路旁路第一结合部，热交换第二支路旁路管的第二旁路管端与热交换第二支路第二管路适配连接后形成第二支路旁路第二结合部，第二支路旁路第一结合部位于第二支路第二开关阀的第一连接端之间，第二支路旁路第二结合部位于第二支路第一调节阀与第二支路第三开关阀之间；
[0011]还包括连接热交换第二支路第一管路与热交换第二支路第二管路的第二支路内管路连接管，在所述第二支路内关路连接管上设置第二支路第四开关阀；所述第二支路内管路连接管的一端与热交换第二支路第一管路适配连接后形成第二支路内管路第一结合部，所述第二支路内管路连接管的另一端与热交换第二支路第二管路适配连接后形成第二支路内管路第二结合部，其中，第一支路内管路第一结合部位于第二支路第一开关阀与热交换第二支路第二管路的第一端之间，第二支路内管路第二结合部位于第二支路第二开关阀与第二支路第一调节阀之间。
[0012]在所述热交换第一支路第二管路上，还包括第一支路流量计，所述第一支路流量计邻近热交换第一支路第二管路的第一连接端，第一支路第三开关阀位于第一支路流量计与所述热交换第一支路第二管路的第二连接端之间，支路间第三结合部位于第一支路流量计与第一支路第三开关阀之间。
[0013]在所述热交换第二支路第一管路上，还包括第二支路流量计，所述第二支路流量计邻近热交换第二支路第一管路的第一连接端，第二支路第一开关阀位于第二支路流量计与所述热交换第二支路第一管路的第二连接端之间，支路间第二结合部位于第二支路流量计与第二支路第一开关阀之间。
[0014]对于第一支路第一开关阀、第一支路第二开关阀、第一支路第三开关阀以及第一支路第四开关阀，为电磁阀、气动角座阀或电动角座阀中的任意一种。
[0015]对于第二支路第一开关阀、第二支路第二开关阀、第二支路第三开关阀以及第二支路第四开关阀，为电磁阀、气动角座阀或电动角座阀中的任意一种。
[0016]对于第一支路第一调节阀以及第一支路第二调节阀，为比例调节阀、气动薄膜阀或电动薄膜阀中的任意一种。
[0017]对于第二支路第一调节阀以及第二支路第二调节阀，为比例调节阀、气动薄膜阀
或电动薄膜阀中的任意一种。
[0018]还包括用于提供液体介质的供液设备以及热能交换板，所述供液设备通过液体热交换第一支路、液体热交换第二支路适配连接，且液体热交换第一支路、液体热交换第二支路与热能交换板间一一对应连接；其中，热交换第一支路第一管路的第一连接端、热交换第一支路第二管路的第一端连接端、热交换第二支路第一管路的第一连接端以及热交换第二支路第二管路的第一连接端均与供液设备适配连接；热交换第一支路第一管路的第二连接端、热交换第一支路第二管路的第二端连接端与一热能交换板适配连接，热交换第二支路第一管路的第二连接端以及热交换第二支路第二管路的第二连接端与另一热能交换板适配连接；
[0019]在调节支撑导轨上，热交换第二支路第一管路位于热交换第一支路第一管路的第一连接端与热交换第一支路第二管路之间，热交换第一支路第二管路位于热交换第二支路第一管路与热交换第二支路第二管路之间。
[0020]所述第一支路流量计包括超声波流量计、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体功率器件测试用热能交换调节装置，其特征是：包括调节支撑导轨(7)以及设置于所述调节支撑导轨(7)上的液体热交换管路，所述液体热交换管路至少包括液体热交换第一支路；所述液体热交换第一支路包括热交换第一支路第一管路(31)、热交换第一支路第二管路(32)以及热交换第一支路旁路管(39)；其中，在热交换第一支路第一管路(31)上，包括与所述热交换第一支路第一管路(31)适配连接的第一支路第一开关阀(13)、第一支路第二调节阀(28)以及第一支路第二开关阀(26)；在热交换第一支路第二管路(32)上，包括与所述热交换第一支路第二管路(32)适配连接的第一支路第三开关阀(25)；在热交换第一支路旁路管(39)上，包括与所述热交换第一支路旁路管(39)适配连接的第一支路第一调节阀(29)；沿热交换第一支路第一管路(31)的第一连接端指向所述热交换第一支路第一管路(31)第二连接端方向上，第一支路第一开关阀(13)、第一支路第二调节阀(28)以及第一支路第二开关阀(26)在所述热交换第一支路第一管路(31)上依次排布；热交换第一支路旁路管(39)的第一旁路管端与热交换第一支路第一管路(31)适配连接后形成第一支路旁路第一结合部，热交换第一支路旁路管(39)的第二旁路管端与热交换第一支路第一管路(31)适配连接后形成第一支路旁路第二结合部，第一支路旁路第一结合部位于热交换第一支路第一管路(31)的第一连接端与第一支路第一开关阀(13)之间，第一支路旁路第二结合部位于第一支路第二调节阀(28)与第一支路第二开关阀(26)之间；还包括连接热交换第一支路第一管路(31)与热交换第一支路第二管路(32)的第一支路内管路连接管(35)，在所述第一支路内管路连接管(35)上设置第一支路第四开关阀(30)；所述第一支路内管路连接管(35)的一端与热交换第一支路第一管路(31)适配连接后形成第一支路内管路第一结合部，所述第一支路内管路连接管(35)的另一端与热交换第一支路第二管路(32)适配连接后形成第一支路内管路第二结合部，其中，第一支路内管路第一结合部位于第一支路位于第一开关阀(13)与第一支路第二调节阀(28)之间，第一支路内管路第二结合部位于第一支路第三开关阀(25)与热交换第一支路第二管路(32)的第一端之间。2.根据权利要求1所述的半导体功率器件测试用热能交换调节装置，其特征是：液体热交换管路还包括液体热交换第二支路；所述液体热交换第二支路包括热交换第二支路第一管路(33)、热交换第二支路第二管路(34)以及热交换第二支路旁路管(40)；其中，在热交换第二支路第一管路(33)上，包括与所述热交换第二支路第一管路(33)适配连接的第二支路第一开关阀(24)，在热交换第二支路第二管路(34)上，包括与所述热交换第二支路第二管路(34)适配连接的第二支路第二开关阀(16)、第二支路第一调节阀(18)以及第二支路第三开关阀(23)，在热交换第二支路旁路管(40)上，包括与所述热交换第二支路旁路管(40)适配连接的第二支路第二调节阀(17)；沿热交换第二支路第二管路(34)的第一连接端指向所述热交换第二支路第二管路(34)第二连接端的方向上，第二支路第二开关阀(16)、第二支路第一调节阀(18)以及第二支路第三开关阀(23)在所述热交换第二支路第二管路(34)上依次排列，热交换第二支路旁路管(40)的第一旁路管端与热交换第二支路第二管路(34)适配连接后形成第二支路旁路
第一结合部，热交换第二支路旁路管(40)的第二旁路管端与热交换第二支路第二管路(34)适配连接后形成第二支路旁路第二结合部，第二支路旁路第一结合部位于第二支路第二开关阀(16)的第一连接端之间，第二支路旁路第二结合部位于第二支路第一调节阀(18)与第二支路第三开关阀(23)之间；还包括连接热交换第二支路第一管路(33)与热交换第二支路第二管路(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军辉，李文江，梁林杰，张文亮，朱阳军，
申请(专利权)人：山东阅芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：