一种增强氧化钇涂层与基材表面结合强度的方法技术

本发明专利技术涉及一种增强氧化钇涂层与基材表面结合强度的方法，属于等离子喷涂技术领域。取Y2O3和Al2O3的混合粉末，等离子喷涂于经预处理的基材表面，即可；所述混合粉末中Al2O3的质量分数为10

【技术实现步骤摘要】
一种增强氧化钇涂层与基材表面结合强度的方法


[0001]本专利技术属于等离子喷涂
，涉及一种增强氧化钇(以下简称：Y2O3)涂层与基材表面结合强度的方法。

技术介绍

[0002]早期等离子刻蚀防护技术是在铝基材上沉积一层致密的硬质阳极保护层，但由于硬质阳极氧化铝的抗腐蚀能力极其有限，而且硬质阳极氧化铝在沉积过程中会不可避免的出现空隙和局部破损，腐蚀介质将通过这些空隙和破损面渗透到基体表面，造成基材腐蚀，因此需要开发经济实用的抗腐蚀涂层。随着等离子喷涂技术的发展，大气等离子喷涂(APS)Al2O3涂层因其高绝缘性和对等离子体的高耐久性，已被广泛的应用于等离子体刻蚀腔体的防护涂层。随着半导体技术的发展，高纯Al2O3涂层(>99.9％)逐渐用于消除纯度对设备性能的影响。但随着晶圆尺寸的增加，等离子刻蚀工艺腔内径已经由400mm增加到500～600mm，相应的等离子体功率也随之增大，其对刻蚀工艺腔内壁的损伤也加大，使得Al2O3涂层在刻蚀的过程容易产生颗粒、涂层与基底脱落等问题。在较高功率的工作条件下，Y2O3涂层，特别是高纯Y2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种增强Y2O3涂层与基材表面结合强度的方法，其特征在于，取Y2O3和Al2O3的混合粉末，等离子喷涂于经预处理的基材表面，即可；所述混合粉末中Al2O3的质量分数为10
‑
40％。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述Y2O3和Al2O3的粒径均为15
‑
65μm。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述等离子喷涂具体为：在电压为30
‑
60V，电流为800
‑
900A的条件下，以10
‑
40g/min的送粉速度，距离90
‑
150mm进行喷涂。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述等离子喷涂中以氩气和氦气、或氩...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁福坤，陈立航，余宜璠，杨宏文，杨佐东，
申请(专利权)人：重庆臻宝实业有限公司，
类型：发明
国别省市：