物理量检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种相较于以往而言能够提高流量检测部的噪声性能的物理量检测装置。本发明专利技术的物理量检测装置(20)具备板状的芯片封装件(208)，所述板状的芯片封装件(208)从被测量气体的流路突出配置，具有沿着该被测量气体的流动方向的宽度(W)。该芯片封装件(208)具有流量检测部(205)、增速流路(208c)、测量面(208a)、非测量面(208b)以及隔流部(208d)。增速流路(208c)的截面积缩窄，配置有流量检测部(205)。隔流部(208d)将第2副通道(234b)分隔为面对测量面(208a)的测量流路和面对非测量面(208b)的非测量流路。在芯片封装件(208)的宽度方向(Dw)上，增速流路(208c)的端部(208ce)与隔流部(208d)的端部(208de)隔离开来。与隔流部(208d)的端部(208de)隔离开来。与隔流部(208d)的端部(208de)隔离开来。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】物理量检测装置


[0001]本揭示涉及一种物理量检测装置。

技术介绍

[0002]以往有热式流量计相关的专利技术(参考下述专利文献1)。该以往的热式流量计具有电路封装件和搭载有该电路封装件的壳体。该电路封装件中，引线框和贴装在该引线框上的电路零件借助树脂材料模塑成一体。此外，该电路封装件具有流路露出部和流量检测部，所述流路露出部露出配置在被测量气体所通过的位置，所述流量检测部设置在该流路露出部而检测所述被测量气体的流量。该以往的热式流量计在该流路露出部的至少一部分设置有与所述引线框之间电性连接在一起的导电部(参考该文献的权利要求1等)。根据该以往的热式流量计，可以防止流路露出部的污损造成的检测性能的劣化(参考该文献的第0008段落)。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本专利特开2017
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150829号公报

技术实现思路

专利技术要解决的问题
[0004]专利文献1记载的以往的热式流量计中，在电路封装件的流路露出部的端部，被测量气体的流动被分流为在测量用流路面那一方流动的被测量气体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种物理量检测装置，其具备板状的芯片封装件，所述板状的芯片封装件从被测量气体的流路的壁面突出配置，具有沿着该被测量气体的流动方向的宽度，该物理量检测装置的特征在于，所述芯片封装件具有：流量检测部；增速流路，其相较于所述流路而言截面积缩窄，配置有所述流量检测部；测量面，其设置有该增速流路；非测量面，其与该测量面为相反侧；以及隔流部，其将所述流路分隔为面对所述测量面的测量流路和面对所述非测量面的非测量流路；在所述芯片封装件的宽度方向上，所述增速流路的端部与所述隔流部的端部隔离开来。2.根据权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，在所述宽度方向上，所述增速流路的两端部与所述隔流部的两端部隔离开来。3.根据权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，所述增速流路的所述两端部相较于所述隔流部的所述两端部而言位于所述宽度方向的内侧。4.根据权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，在所述宽度方向上，所述增速流路的一方的所述端部与所述隔流部的一方的所述端部隔离开来，所述增速流路的另一方的端部与所述隔流部的另一方的端部一致。5.根据权利要求3所述的物理量检测装置，其特征在于，所述增速流路具有在所述芯片封装件的突出方向上相对、沿所述宽度方向延伸的一对侧壁部，在所述宽度方向上，一方的所述侧壁部的长度比另一方的所述侧壁部的长度长。6.根据权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，所述增速流路的所述两端部相较于所述隔流部的所述两端部而言位于所述宽度方向的外侧。7.根据权利要求2所述的物理量检测装置，其特征在于，所述增速流路具有在所述芯片封装件的突出方向上相对、沿所述宽度方向延伸的一对侧壁部，一方的所述侧壁部设置在所述流路的壁面上，在所述一方的所述侧壁部与所述芯片封装件的顶端部之间设置有间隙。8.根据权利要求7所述的物理量检测装置，其特征在于，所述一方的所述侧壁部与所述芯片封装件的所述顶端部在所述芯片封装件的厚度方向上相...

【专利技术属性】
技术研发人员：上之段晓，野田智史，斋藤直生，中村昌道，三木崇裕，五来信章，石川贵之，
申请(专利权)人：日立安斯泰莫株式会社，
类型：发明
国别省市：