一种下沉式FFU系统安装结构技术方案

本实用新型专利技术公开了一种下沉式FFU系统安装结构，其技术方案要点是包括包括气氛导流部，所述气氛导流部位于外壳顶面上，外壳顶面上设置有两组第一定位部和四组第二定位部，四组所述第二定位部位于两组所述第一定位部之间，所述气氛导流部位于四组所述第二定位部之间，四组所述第二定位部和所述气氛导流部之间形成有第一容纳空间，所述第一容纳空间与FFU壳体相适配。通过在外壳上设置两组第一定位部和四组第二定位部，四组第二定位部和气氛导流部之间形成有第一容纳空间，第一容纳空间与FFU壳体相适配，通过第一定位部和第二定位部使得FFU壳体与第一容纳空间便于相互分离。FFU壳体与第一容纳空间便于相互分离。FFU壳体与第一容纳空间便于相互分离。

【技术实现步骤摘要】
一种下沉式FFU系统安装结构


[0001]本技术涉及FFU系统安装
，更具体的说是涉及一种下沉式FFU系统安装结构。

技术介绍

[0002]半导体设备包括外壳，在外壳内通常需要进行湿法化学反应，湿法化学反应产生的气体导致外壳内部的工艺区域的气体环境变得不纯净，为了让外壳内部维持纯净稳定的气体环境，通常需要在外壳上安装FFU系统，利用FFU系统使外壳内建立良好的循环气场流，FFU系统包括FFU壳体。
[0003]外壳需要提供一个安装空间以供FFU壳体安装，安装时，将FFU壳体放置在安装空间上，然后在外壳和FFU壳体上打孔，通过螺栓将外壳和FFU壳体相互固定，这种方式不便于FFU壳体与安装空间相互分离。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种下沉式FFU系统安装结构，用于使得FFU壳体与安装空间便于相互分离。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种下沉式FFU系统安装结构，包括气氛导流部，所述气氛导流部位于外壳顶面上，外壳顶面上设置有两组第一定位部和四组第二定位部，四组所述第二定位部位于两组所述第一定位部之间，所述气氛导流部位于四组所述第二定位部之间，四组所述第二定位部和所述气氛导流部之间形成有第一容纳空间，所述第一容纳空间与FFU壳体相适配,所述第一容纳空间用以容纳FFU壳体。
[0006]作为本技术的进一步改进，两组所述第一定位部正对设置，所述第一定位部包括第一定位板和两个第二定位板，所述第一定位板和所述第二定位板均与外壳顶面固定连接，两个所述第二定位板通过所述第一定位板一体形成，同一组第一定位部内的两个所述第二定位板相互平行，且所述第一定位板与两个所述第二定位板均相互垂直。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述第一定位板的宽度和高度分别与所述第二定位板的宽度和高度相同，所述第二定位板的长度小于所述第一定位板长度的八分之一，且大于所述第一定位板长度的十分之一。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述第二定位部包括两个第三定位板，所述第三定位板均与外壳顶面固定连接，两个所述第三定位板一体形成，两个所述第三定位板相互垂直，其中一个所述第三定位板与所述第一定位板相互平行，另一个所述第三定位板与所述第二定位板相互平行，四组所述第二定位部之间的空间可以容纳FFU壳体。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述第三定位板的高度与所述第一定位板的高度相同，所述第三定位板的长度小于所述第二定位板长度的二分之一，且大于所述第二定位板长度的四分之一，所述第三定位板的宽度小于所述第二定位板宽度的五分之一，且大于所述第二定位板宽度的十五分之一。
[0010]本技术的有益效果：本技术通过在外壳上设置两组第一定位部和四组第二定位部，四组第二定位部和气氛导流部之间形成有第一容纳空间，第一容纳空间与FFU壳体相适配，通过第一定位部和第二定位部使得FFU壳体与第一容纳空间便于相互分离。
附图说明
[0011]图1是本技术的俯视结构示意图；
[0012]图2是本技术图1中A处的放大结构示意图。
[0013]附图标记：1、气氛导流部；2、第一定位部；21、第一定位板；22、第二定位板；3、第二定位部；31、第三定位板；4、第一容纳空间。
具体实施方式
[0014]下面结合附图和实施例，对本技术进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0015]参照图1、图2所示，本实施例的一种下沉式FFU系统安装结构，包括气氛导流部1，气氛导流部1用以与FFU壳体相互贯通，使得FFU系统可以通过气氛导流部1为外壳内部提供稳定纯净的气体环境，气氛导流部1位于外壳顶面上，外壳顶面上设置有两组第一定位部2和四组第二定位部3，在半导体湿法设备中，几乎每个模组都需要进行FFU系统的安装，通过设置两组第一定位部2和四组第二定位部3使得FFU装置能有效安装，且具有良好的气密性，四组第二定位部3位于两组第一定位部2之间，气氛导流部1位于四组第二定位部3之间，四组第二定位部3和气氛导流部1之间形成有第一容纳空间4，第一容纳空间4与FFU壳体相适配，使得FFU壳体可以架在第一容纳空间4上。
[0016]参照图1、图2所示，两组第一定位部2正对设置，两组第一定位部2和气氛导流部1之间的空间用以放置四组第二定位部3，第一定位部2包括第一定位板21和两个第二定位板22，第一定位板21和第二定位板22均与外壳顶面固定连接，两个第二定位板22通过第一定位板21一体形成，同一组第一定位部2内的两个第二定位板22相互平行，且第一定位板21与两个第二定位板22均相互垂直，两组第一定位部2围城一个矩形以放置FFU壳体，第一定位板21的宽度和高度分别与第二定位板22的宽度和高度相同，第一定位板21和第二定位板22具有一定的高度，使得FFU壳体不会脱离出第一容纳空间4，第二定位板22的长度小于第一定位板21长度的八分之一，且大于第一定位板21长度的十分之一，两组第一定位部2内相邻的两个第二定位板22之间有一定的空隙，使得FFU壳体便于放入第一容纳空间4。
[0017]参照图1、图2所示，第二定位部3包括两个第三定位板31，四组第二定位部3之间的空间用以容纳FFU壳体，四组第二定位部3和气氛导流部1之间的空间用以架住FFU壳体，第三定位板31均与外壳顶面固定连接，两个第三定位板31一体形成，两个第三定位板31相互垂直，其中一个第三定位板31与第一定位板21相互平行，另一个第三定位板31与第二定位板22相互平行。第三定位板31的高度与第一定位板21的高度相同，第三定位板31具有一定的高度，使得FFU壳体不会脱离出第一容纳空间4，第三定位板31的长度小于第二定位板22长度的二分之一，且大于第二定位板22长度的四分之一，第三定位板31的宽度小于第二定
位板22宽度的五分之一，且大于第二定位板22宽度的十五分之一。设置四组第二定位部3，使得外壳上不需要额外设置其余安装座，通过第一容纳空间4就可以快速便捷的将FFU壳体安装在外壳上，且FFU壳体与第一容纳空间4易于分离，同时利用FFU壳体的重量与吹送风压维持外壳内部的气密性。
[0018]工作原理：在半导体湿法设备中，几乎每个模组都需要进行FFU系统的安装，通过设置两组第一定位部2和四组第二定位部3使得FFU装置能有效安装，安装时，操作人员从上往下将FFU壳体放入第一容纳空间4，使得外壳上不需要额外设置其余安装座，通过第一容纳空间4就可以快速便捷的将FFU壳体安装在外壳上，且FFU壳体与第一容纳空间4易于分离，同时利用FFU壳体的重量与吹送风压维持外壳内部的气密性。
[0019]以上仅是本技术的优选实施方式，本技术的保护本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种下沉式FFU系统安装结构，包括气氛导流部(1)，所述气氛导流部(1)位于外壳顶面上，其特征在于：外壳顶面上设置有两组第一定位部(2)和四组第二定位部(3)，四组所述第二定位部(3)位于两组所述第一定位部(2)之间，所述气氛导流部(1)位于四组所述第二定位部(3)之间，四组所述第二定位部(3)和所述气氛导流部(1)之间形成有第一容纳空间(4)，所述第一容纳空间(4)与FFU壳体相适配。2.根据权利要求1所述的一种下沉式FFU系统安装结构，其特征在于：两组所述第一定位部(2)正对设置，所述第一定位部(2)包括第一定位板(21)和两个第二定位板(22)，所述第一定位板(21)和所述第二定位板(22)均与外壳顶面固定连接，两个所述第二定位板(22)通过所述第一定位板(21)一体形成，同一组第一定位部(2)内的两个所述第二定位板(22)相互平行，且所述第一定位板(21)与两个所述第二定位板(22)均相互垂直。3.根据权利要求2所述的一种下沉式FFU系统安装结构，其特征在于：所述第一定位板(21...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，徐铭，陈佳炜，李志锋，刘大威，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：