本实用新型专利技术公开了一种石英舟顶齿碎片检测装置，其包括机架，机架上设有顶齿机构和检测机构，顶齿机构包括两个顶齿安装板和升降驱动组件，顶齿安装板通过安装架与升降驱动组件连接，每个顶齿安装板装配有一组顶齿，顶齿上设有支撑硅片的齿槽；检测机构包括四组对射传感器，每组对射传感器中的两个传感器分别设于顶齿的两端，对射传感器可检测从齿槽内延伸出的硅片碎片，四组对射传感器可分别检测从两组顶齿上的齿槽内向两侧延伸的硅片碎片。本实用新型专利技术的石英舟顶齿碎片检测装置结构合理，可以快速准确地检测到齿槽内碎片，便于及时对碎片进行清理，以保证硅片正常生产。以保证硅片正常生产。以保证硅片正常生产。
【技术实现步骤摘要】
一种石英舟顶齿碎片检测装置
[0001]本技术涉及硅片加工
，具体涉及一种石英舟顶齿碎片检测装置。
技术介绍
[0002]硅片在加工过程中，需要用顶齿将硅片从石英舟上顶起，然后利用吸盘将硅片吸走，而在硅片被吸走后，顶齿的齿槽内经常会残留一些硅片碎片，这些硅片碎片会对顶齿的正常作业产生影响，因此，需要及时发生碎片，以便对其进行清理，而目前缺少一种能够快速准确地检测到碎片的装置。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种结构合理、可以快速准确地检测到齿槽内碎片的石英舟顶齿碎片检测装置。其采用如下技术方案：
[0004]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种石英舟顶齿碎片检测装置，其包括机架，所述机架上设有：
[0005]顶齿机构，包括两个顶齿安装板和升降驱动组件，所述顶齿安装板通过安装架与升降驱动组件连接，每个顶齿安装板装配有一组顶齿，所述顶齿上设有支撑硅片的齿槽；
[0006]检测机构，包括四组对射传感器，每组对射传感器中的两个传感器分别设于所述顶齿的两端，所述对射传感器可检测从所述齿槽内延伸出的硅片碎片，所述四组对射传感器可分别检测从两组顶齿上的齿槽内向两侧延伸的硅片碎片。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述对射传感器通过装配板与所述机架连接，两组对射传感器设于所述装配板的底部，两组对射传感器设于所述装配板的顶部。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述装配板上设有调节所述对射传感器装配位置的腰型槽。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述安装架包括底板和支撑块，所述顶齿安装板通过支撑块与所述底板连接。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述安装架还包括加强筋，所述底板通过加强筋与所述升降驱动组件连接。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述安装板上设有调节所述底板装配位置的腰型槽。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述顶齿安装板上设有与所述顶齿配合的插槽，所述顶齿的底部插接在所述插槽内。
[0013]作为本技术的进一步改进，所述升降驱动组件为直线电机。
[0014]本技术的有益效果：
[0015]本技术的石英舟顶齿碎片检测装置结构合理，可以快速准确地检测到齿槽内碎片，便于及时对碎片进行清理，以保证硅片正常生产。
[0016]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技
术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
[0017]图1是本技术优选实施例中石英舟顶齿碎片检测装置和花篮的结构示意图；
[0018]图2是本技术优选实施例中对射传感器和装配板的结构示意图。
[0019]标记说明：1、硅片；2、腰型槽；10、机架；20、顶齿安装板；30、直线电机；40、顶齿；50、对射传感器；60、装配板；71、底板；72、支撑块；73、加强筋。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0021]如图1所示，为本技术实施例中石英舟顶齿碎片检测装置，该石英舟顶齿碎片检测装置包括机架10，机架10上设有顶齿机构和检测机构。
[0022]上述顶齿机构包括两个顶齿安装板20和升降驱动组件，顶齿安装板20通过安装架与升降驱动组件连接，每个顶齿安装板20装配有一组顶齿40，顶齿40上设有支撑硅片1的齿槽。两组顶齿40上的尺寸两两配合对硅片1进行支撑。
[0023]上述检测机构包括四组对射传感器50，每组对射传感器50中的两个传感器分别设于顶齿40的两端，对射传感器50可检测从齿槽内延伸出的硅片碎片，四组对射传感器50可分别检测从两组顶齿40上的齿槽内向两侧延伸的硅片碎片。其中，两组对射传感器50分别检测从一组顶齿40上的齿槽内向两侧延伸的硅片碎片，另外两组对射传感器50分别检测从另一组顶齿40上的齿槽内向两侧延伸的硅片碎片。
[0024]工作时，升降驱动组件先驱动顶齿安装板20上升，利用顶齿40将石英舟上的硅片1定起，待吸嘴将顶齿40上的硅片1吸走后，升降驱动组件先驱动顶齿安装板20下降至预定位置，对射传感器50开始工作，检测齿槽两侧是否有延伸出的硅片碎片，若存在硅片碎片则需要进行清理。
[0025]在一些实施例中，对射传感器50通过装配板60与机架10连接，如图2所示，两组对射传感器50设于装配板60的底部，两组对射传感器50设于装配板60的顶部。其中，装配板60的数量为二，两装配板60分别设于顶齿40的两端，每组对射传感器50中的两个传感器分别设于两装配板60上，每组对射传感器50中的两个传感器的高度相同。
[0026]可选的，装配板60上设有调节对射传感器50装配位置的腰型槽2，对射传感器50可通过螺栓与腰型槽连接。腰型槽2用于调节对射传感器50的水平位置，保证对射传感器50发出的光线正好平行经过齿槽两侧，以检测延伸出齿槽的硅片碎片，同时保证光线与齿槽的距离尽可能小，以保证检测精度。
[0027]在一些实施例中，安装架包括底板71和支撑块72，顶齿安装板20通过支撑块72与底板71连接。可选的，安装架还包括加强筋73，底板71通过加强筋73与升降驱动组件连接，以保证结构的强度，保证硅片顶升时的稳定性。
[0028]在一些实施例中，底板71上设有调节底板71装配位置的腰型槽2。
[0029]在一些实施例中，顶齿安装板20上设有与顶齿40配合的插槽，顶齿40的底部插接
在插槽内。
[0030]可选的，升降驱动组件为直线电机30。
[0031]本技术的石英舟顶齿碎片检测装置结构合理，可以快速准确地检测到齿槽内碎片，便于及时对碎片进行清理，以保证硅片正常生产。
[0032]以上实施例仅是为充分说明本技术而所举的较佳的实施例，本技术的保护范围不限于此。本
的技术人员在本技术基础上所作的等同替代或变换，均在本技术的保护范围之内。本技术的保护范围以权利要求书为准。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英舟顶齿碎片检测装置，其特征在于，包括机架，所述机架上设有：顶齿机构，包括两个顶齿安装板和升降驱动组件，所述顶齿安装板通过安装架与升降驱动组件连接，每个顶齿安装板装配有一组顶齿，所述顶齿上设有支撑硅片的齿槽；检测机构，包括四组对射传感器，每组对射传感器中的两个传感器分别设于所述顶齿的两端，所述对射传感器可检测从所述齿槽内延伸出的硅片碎片，所述四组对射传感器可分别检测从两组顶齿上的齿槽内向两侧延伸的硅片碎片。2.如权利要求1所述的石英舟顶齿碎片检测装置，其特征在于，所述对射传感器通过装配板与所述机架连接，两组对射传感器设于所述装配板的底部，两组对射传感器设于所述装配板的顶部。3.如权利要求2所述的石英舟顶齿碎片检测装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴廷斌，张学强，张建伟，罗银兵，邓大桥，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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