垂直升降运动台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种垂直升降运动台，包括：底座，其水平设置，底座上设置有轴承座；导轨安装座，其与底座连接，导轨安装座上平行设置有三条导轨，导轨与所述底座垂直，每条导轨上均设置有两个滑块；滚珠丝杆机构，其包括滚珠丝杆和丝杆母，丝杆母套设在滚珠丝杆上，滚珠丝杆的一端与轴承座连接；上安装板，其为L形，包括水平设置的第一连接板和垂直设置的第二连接板；竖直安装板，其上端面与第一连接板连接，竖直安装板上设置有凸台，凸台与所述丝杆母连接；光栅尺，其包括光栅尺条和读数头，光栅尺条设置在竖直安装板的一侧上。本实用新型专利技术稳定性高，精度高，有效提升升降运动台到达准确的位置。确的位置。确的位置。

【技术实现步骤摘要】
垂直升降运动台


[0001]本技术属于测试测量领域，特别涉及一种垂直升降运动台

技术介绍

[0002]在半导体加工和测试测量行业中垂直升降是其常用到的运动。目前高精度升降台多采用交叉滚柱导轨做导向，直线电机或力矩电机驱动的结构，其结构复杂，工件加工精度要求高，组装集成难度大，无法实现升降装置的精确可控。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种稳定性高，精度高，有效提升升降运动台到达准确的位置，使得提升过程既安全稳定，适用性广泛。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供了一种垂直升降运动台，包括：
[0005]底座，其水平设置，所述底座上设置有轴承座；
[0006]导轨安装座，其与所述底座连接，所述导轨安装座上平行设置有三条导轨，所述导轨与所述底座垂直，所述每条导轨上均设置有两个滑块；
[0007]滚珠丝杆机构，其包括滚珠丝杆和丝杆母，所述丝杆母套设在所述滚珠丝杆上，所述滚珠丝杆的一端与所述轴承座连接；
[0008]上安装板，其为L形，包括水平设置的第一连接板和垂直设置的第二连接板，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.垂直升降运动台，其特征在于，包括：底座，其水平设置，所述底座上设置有轴承座；导轨安装座，其与所述底座连接，所述导轨安装座上平行设置有三条导轨，所述导轨与所述底座垂直，所述导轨上均设置有两个滑块；滚珠丝杆机构，其包括滚珠丝杆和丝杆母，所述丝杆母套设在所述滚珠丝杆上，所述滚珠丝杆的一端与所述轴承座连接；上安装板，其为L形，包括水平设置的第一连接板和垂直设置的第二连接板，所述第二连接板与所述导轨上的滑块均连接；竖直安装板，其上端面与所述第一连接板连接，所述竖直安装板上设置有凸台，所述凸台与所述丝杆母连接，所述竖直安装板在所述滚珠丝杆机构的驱动下上下运动，从而带动所述上安装板上下运动。2.根据权利要求1所述的垂直升降运动台，其特征在于，所述底座的一侧设置有限位板，所述限位板上是开设有长槽孔，所述竖直安装板一侧面上设置有限位凸台，所述限位凸台在所述长槽孔内上下运动。3.根据权利要求1所述的垂直升降运动台，其特征在于，还包括光栅尺，所述光栅尺包...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖国丰，陈志强，
申请(专利权)人：北京瑞邦精控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：