一种锗单晶生长的自动进料及出料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种锗单晶生长的自动进料及出料装置，涉及晶体生长技术领域。本实用新型专利技术包括移动底座、立柱、升降机构、进料机构和出料机构，移动底座的顶部固定有立柱，立柱的侧面凹槽内固定有升降机构，升降机构上固定有进料机构，进料机构的下方设置有出料机构，出料机构固定套设在立柱上。本实用新型专利技术通过设置升降机构，使得进料机构的高度可自由调节，从而能适应不同规格坩埚的进料要求，且可实现定量进料，通过设置滑套、连杆和六个锗单晶放置筒，使得该装置的出料较方便，解决了现有的锗单晶生长的自动进料及出料装置难以实现定量进料，进料机构调节不便的问题。进料机构调节不便的问题。进料机构调节不便的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种锗单晶生长的自动进料及出料装置


[0001]本技术属于晶体生长
，特别是涉及一种锗单晶生长的自动进料及出料装置。

技术介绍

[0002]锗是一种重要的半导体材料，用于制造晶体管及各种电子装置，是第一代晶体管材料，锗在红外光学领域的年消费量占所有领域消费量的20
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30%，主要作为红外光学系统中的透镜、棱镜、窗口、滤光片等的光学材料，近些年，在红外光学和半导体材料的强劲需求刺激下，我国锗生产技术能力提升迅速，目前国内企业已经能够生产光纤级、红外级、太阳能级锗系列产品。
[0003]目前锗单晶的生长方法主要有单晶提拉法、水平布里奇曼法和VGF法三种。其中，单晶提拉法是最常用的锗单晶生长方法，具有长晶过程可视化、成品率高、晶体生长自动化程度高、晶体与坩埚不接触，避免了坩埚寄生成核等缺陷的产生，在锗单晶生长的工艺过程中需要使用专门的进料及出料装置，将锗原料输送至坩埚内，将锗单晶输出坩埚。
[0004]但是现有的锗单晶生长的自动进料及出料装置在使用时存在以下不足之处。
[0005]现有的锗单晶生长的自动进料及出料装置难以实现定量进料，进料机构调节不便；
[0006]现有的锗单晶生长的自动进料及出料装置出料效率较低，且锗单晶容易碰撞破碎。
[0007]因此有必要对现有技术进行改进，以解决上述问题。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于提供一种锗单晶生长的自动进料及出料装置，通过设置升降机构，使得进料机构的高度可自由调节，从而能适应不同规格坩埚的进料要求，且可实现定量进料，通过设置滑套、连杆和六个锗单晶放置筒，使得该装置的出料较方便，解决了现有的锗单晶生长的自动进料及出料装置难以实现定量进料，进料机构调节不便的问题。
[0009]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0010]本技术为一种锗单晶生长的自动进料及出料装置，包括移动底座、立柱、升降机构、进料机构和出料机构，所述移动底座的顶部固定有立柱，所述立柱的侧面凹槽内固定有升降机构，所述升降机构上固定有进料机构，所述进料机构的下方设置有出料机构，所述出料机构固定套设在立柱上；
[0011]所述进料机构包括固定架、锗原料料仓、计量筒和称重传感器，所述固定架的一侧与升降机构固定连接，所述固定架的另一侧上端固定有锗原料料仓，所述固定架的另一侧下端固定有称重传感器，所述锗原料料仓的底部设置有第一阀门，所述称重传感器上固定有计量筒，所述计量筒设置在锗原料料仓的正下方，所述计量筒的底部设置有下料管，所述下料管上设置有第二阀门，所述计量筒的侧面设置有显示屏；
[0012]所述出料机构包括安装套、滑套、连杆和锗单晶放置筒，所述安装套滑动套设在立柱上且通过调节螺栓锁紧，所述安装套上转动套设有滑套，所述滑套的侧面与连杆的一端固定连接，所述连杆的另一端与锗单晶放置筒固定连接，所述锗单晶放置筒内设置有缓冲内筒，通过设置缓冲内筒，使得锗单晶放置筒具有缓冲能力，避免锗单晶破碎。
[0013]进一步地，所述升降机构包括电机、丝杆、轴承座、螺母座和导轨，所述电机和轴承座均固定在立柱的侧面凹槽内，所述电机与轴承座之间设置有丝杆，所述丝杆上活动套设有螺母座，所述螺母座的侧面与导轨滑动连接，所述导轨亦固定在立柱的侧面凹槽内，所述螺母座的正面与固定架固定连接。
[0014]进一步地，所述立柱的侧面设置有腰孔，所述腰孔与调节螺栓相配合，通过设置调节螺栓和腰孔，使得该出料机构的高度可自由调节，从而能适应不同状况下的使用需求。
[0015]进一步地，所述连杆设置有六个，六个所述连杆沿圆周均匀设置在滑套的四周，六个锗单晶放置筒的设置使得该装置的出料效率得到大大提高，当一个锗单晶放置筒放置好后，可将下一个锗单晶放置筒移动至提拉杆处。
[0016]进一步地，所述锗单晶放置筒和缓冲内筒的侧面均开设有开口槽，所述开口槽设置有若干个，若干个所述开口槽沿圆周均匀分布，通过设置开口槽，使得工作人员可方便观看锗单晶，且也提高锗单晶的冷却效果。
[0017]进一步地，所述立柱的下端侧面固定有控制箱，所述控制箱分别与电机、称重传感器、显示屏、第一阀门和第二阀门电性连接。
[0018]本技术具有以下有益效果。
[0019]本技术通过设置升降机构，使得进料机构的高度可自由调节，从而能适应不同规格坩埚的进料要求，当需要对坩埚内添加原料时，通过升降机构带动进料机构下降，将下料管插入至坩埚内添加原料，避免原料洒出。
[0020]本技术通过设置计量筒和称重传感器，使得该装置可实现定量进料，精确控制原料质量，可大大提高单晶生长效果。
[0021]本技术通过设置滑套、连杆和六个锗单晶放置筒，使得该装置的出料效率较高，当一个锗单晶放置筒放置好锗单晶后，可将下一个锗单晶放置筒移动至提拉杆处，通过设置调节螺栓和腰孔，使得该出料机构的高度可自由调节，从而能适应不同状况下的使用需求，通过设置缓冲内筒，使得锗单晶放置筒具有缓冲能力，避免锗单晶破碎，通过设置开口槽，使得工作人员可方便观看锗单晶，且也提高锗单晶的冷却效果。
[0022]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本技术的整体结构示意图；
[0025]图2为本技术的升降机构结构示意图；
[0026]图3为本技术的进料机构结构示意图；
[0027]图4为本技术的出料机构局部结构示意图；
[0028]图5为本技术的锗单晶放置筒结构示意图。
[0029]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0030]1、移动底座；2、立柱；3、升降机构；4、进料机构；5、出料机构；6、控制箱；201、腰孔；301、电机；302、丝杆；303、轴承座；304、螺母座；305、导轨；401、固定架；402、锗原料料仓；403、计量筒；404、第一阀门；405、称重传感器；406、下料管；407、第二阀门；408、显示屏；501、安装套；502、调节螺栓；503、滑套；504、连杆；505、锗单晶放置筒；506、缓冲内筒；507、开口槽。
具体实施方式
[0031]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0032]请参阅图1所示，本技术为一种锗单晶生长的自动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种锗单晶生长的自动进料及出料装置，包括移动底座（1）、立柱（2）、升降机构（3）、进料机构（4）和出料机构（5），其特征在于：所述移动底座（1）的顶部固定有立柱（2），所述立柱（2）的侧面凹槽内固定有升降机构（3），所述升降机构（3）上固定有进料机构（4），所述进料机构（4）的下方设置有出料机构（5），所述出料机构（5）固定套设在立柱（2）上；所述进料机构（4）包括固定架（401）、锗原料料仓（402）、计量筒（403）和称重传感器（405），所述固定架（401）的一侧与升降机构（3）固定连接，所述固定架（401）的另一侧上端固定有锗原料料仓（402），所述固定架（401）的另一侧下端固定有称重传感器（405），所述锗原料料仓（402）的底部设置有第一阀门（404），所述称重传感器（405）上固定有计量筒（403），所述计量筒（403）设置在锗原料料仓（402）的正下方，所述计量筒（403）的底部设置有下料管（406），所述下料管（406）上设置有第二阀门（407），所述计量筒（403）的侧面设置有显示屏（408）；所述出料机构（5）包括安装套（501）、滑套（503）、连杆（504）和锗单晶放置筒（505），所述安装套（501）滑动套设在立柱（2）上且通过调节螺栓（502）锁紧，所述安装套（501）上转动套设有滑套（503），所述滑套（503）的侧面与连杆（504）的一端固定连接，所述连杆（504）的另一端与锗单晶放置筒（505）固定连接，所述锗单晶放置筒（505）内设置有缓冲内筒（506...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭明清，崔丁方，缪彦美，韩帅民，张文泽熹，赵威，子光平，匡子登，廖吉伟，
申请(专利权)人：云南驰宏国际锗业有限公司，
类型：新型
国别省市：