一种闪存芯片的测试装置制造方法及图纸

一种闪存芯片的测试装置，其特征在于，该装置包括测试机底座(31)，测试平台，测试托架(25)，垂直支架(37)，进步电机(38)，控制箱，进步电机导轨(14)。使用该测试装置后，解决操作员手摇升降的体力消耗，也解决了人工操作时快时慢，产量波动，效能损失的问题，极大的提高了设备利用率。设备利用率。设备利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种闪存芯片的测试装置


[0001]本技术涉及一种闪存芯片的测试装置。

技术介绍

[0002]NAND闪存裸片检测，需要逐一上电模拟封装后的环境，测试其性能是否满足封装的要求，满足要求的良品，挑出进行下一步封装，避免浪费制造成本。
[0003]测试时，在装有测试软件的电脑上，通过USB线缆连接针卡并对针卡供电，搭载主控芯片的PCB为主体的针卡通电后，即模拟出仅缺少NAND闪存的工作环境，这时使用针卡上细如毛发之探针，与晶圆上的每个pad接触，就形成了完整的数据存储系统，通过软件作用于主控，可对连接的晶圆输入信号并采集输出信号，判断芯片功能和性能是否达到设计规范要求，通过软件输出结果，判断晶圆为良品或不良品。
[0004]原有的手摇升降式晶圆测试机的操作方法：
[0005]1，将针卡在测试机顶部用螺丝锁定(针卡承载台通过调节旋钮上下移动予以调节)；
[0006]2，工作台固定镶片形成90
°
夹角，工作台放入晶圆紧靠镶片，再通过工作台调节旋钮，进行水平前后左右以及水平旋转调节，使探针刚好与晶圆的pad位置一一对应；
[0007]3，操作手摇杆来回转动180
°
，带动针卡托架，将工作台上升或下降，完成测试和取放晶圆的操作；
[0008]现有技术的缺点：晶圆焊点非常小，不仅对测试探针接触焊点的精度要求很高，还要在批量操作后保持一致性。探针与晶圆的pad既要精准接触，还要避免接触压力过大造成探针弯折和磨损，每次晶圆上升与探针接触，都是直接到位，没有缓冲，随着大量的测试动作重复进行，探针容易磨损加剧，甚至弯曲以致损坏，严重影响测试的准确率。
[0009]2，操作员做好取料换料的动作后，再操作摇杆，动作繁琐，效率很低，而且摇杆举升工作台时，速度不能太快，用力不宜太猛，效率很难得到有效提高。因为设备构件摩擦、限定升降的构件多次碰撞后的磨损等因素，不能保证探针与晶圆接触保持一致，导致大批量测试时需要反复调试，因此需要经常反复调试，压力大了造成晶圆PAD上针痕太大，影响后续的封装合格率，压力小了，又不能保持良好接触。

技术实现思路

[0010]本技术专利的目的在于提供一种闪存芯片的测试装置，其特征在于，该装置包括测试机底座(31)，测试平台，测试托架(25)，垂直支架(37)，进步电机(38)，控制箱，进步电机导轨(14)；
[0011]所述垂直支架(37)垂直安装在测试机底座(31)，所述控制箱安装在垂直支架(37)的外侧，所述进步电机(38)安装在垂直支架(37)的内侧，该进步电机(38)上具有进步电机导轨(14)，所述测试托架(25)通过导轨滑块(40)可沿着进步电机导轨(14)上下位移；
[0012]所述测试平台位于测试托架(25)的下方，并安装在测试机底座(31)上.
[0013]所述控制箱包括控制箱面板(8)和控制箱后盖(35)，所述控制箱后盖(35)通过控制箱面板(8)与垂直支架(37)连接；
[0014]所述控制箱后盖(35)的上部具有步进电机电缆孔(9)，侧面上部具有散热风扇(34)，侧面下部具有测试机开关(32)和测试机电源插孔(33)；所述控制箱面板(8)上自上而下依次排列有记忆控制按钮(1)，锁定控制按钮(2)，缓冲控制按钮(3)，扎针控制按钮(4)，恢复原点控制按钮(5)，伺服电机控制按钮(6)，模式控制按钮(7)；
[0015]所述测试托架(25)的侧部具有测试托架固定孔(18)，该测试托架固定孔(18)用于连接导轨滑块(40)；该测试托架(25)具有急停保护罩(21)和急停微动开关(22)，所述急停保护罩(21)上具有急停保护罩悬挂孔(15)；所述测试托架(25)的四周具有针卡固定螺栓(23)，用于固定测试针卡(20),该测试针卡(20)的中部具有探针(24)。
[0016]所述进步电机(38)的侧面具有急停开关线缆(30)；进步电机导轨(14)上具有导轨保护罩(29)。
[0017]所述测试平台自上而下依次包括测试作业面(47)，抽真空组件(46)，水平旋转滑块(45)，水平旋转外框(44)，前后移动滑块(43)，左右移动滑块(42)和测试平台底座(41)。
[0018]所述抽真空组件(46)通过真空管快速接头(48)与真空泵连接软管(49)连接；所述测试作业面(47)上具有真空吸气孔(16)和镶片(17)。
[0019]所述垂直支架(37)通过三角固定架(39)固定在测试机底座(31)上；所述测试机底座(31)上具有微动开关电缆孔(13)，该微动开关电缆孔(13)上具有微动开关(12)，所述微动开关(12)上具有上升按钮(26)和下降按钮(27)；
[0020]所述进步电机(38)上部具有步进电机电缆(10)。
[0021]有益效果：
[0022]1、使用电动设备后，解决操作员手摇升降的体力消耗，也解决了人工操作时快时慢，产量波动，效能损失的问题，极大的提高了设备利用率；
[0023]2、减少了对人力需求的高度依赖，只一名操作员就能操作更多台测试机，解决了传统操作对操作员人数的高度依赖，以及人员能力参差不齐造成的生产效率低下的问题；
[0024]3、测试平台减少了人为因素造成的震动，更确保了测试探针接触晶圆焊点的精度，避免了旧式的测试机带来的误测、探针损坏问题，提高了产品合格率。
[0025]本技术的测试机，将工作台调节座固定于底座上，通过镶片固定晶圆的位置；使用步进电机设定测试针卡的升降；针卡升降的终点位置、缓冲距离，通过控制面板上的7个控制按钮(记忆控制按钮(1)，锁定控制按钮(2)，缓冲控制按钮(3)，扎针控制按钮(4)，恢复原点控制按钮(5)，伺服电机控制按钮(6)，模式控制按钮(7))设置和调整控制箱内PLC控制器，操作员按动上升按钮(26)和下降按钮(27)后，PLC控制器根据设置值发送脉冲信号给步进电机，使步进电机进行升降动作，使测试针卡每次下降停留的相对位置保持完全一致，探针与每颗晶圆接触的情况保持一致，操作员只需要按动上升、下降两个电动按钮即可取代手摇式升降，同时解决了原有的几个缺陷：
[0026]1，步进电机通过微动开关操作，可精准控制距离和行程，在距离晶圆8mm处急停并缓慢下压，以缓慢的动作将探针下触到晶圆的PAD上，由此避免了探针与晶圆PAD的快速接触造成的一系列不良现象；
[0027]2，操作员测试过程中，换料后仅需轻触微动开关，步进电机自动完成下压
‑
缓冲
‑
接触动作，测试完成后仅需轻触微动开关，步进电机自动上行至顶部，因此操作员效率得到非常大的提升，同时避免了操作员能力不同造成的测试过程不一致的现象。
附图说明
[0028]图1为本专利的第1结构示意图；
[0029]图2为本专利的第2结构示意图；
[0030]图3为本专利的侧视图；
[0031]图4为图3的右视图；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种闪存芯片的测试装置，其特征在于，该装置包括测试机底座(31)，测试平台，测试托架(25)，垂直支架(37)，进步电机(38)，控制箱，进步电机导轨(14)；所述垂直支架(37)垂直安装在测试机底座(31)上，所述控制箱安装在垂直支架(37)的外侧，所述进步电机(38)安装在垂直支架(37)的内侧，该进步电机(38)上具有进步电机导轨(14)，所述测试托架(25)通过导轨滑块(40)可沿着进步电机导轨(14)上下位移；所述测试平台位于测试托架(25)的下方，并安装在测试机底座(31)上，所述进步电机(38)上部具有步进电机电缆(10)；所述垂直支架(37)通过三角固定架(39)固定在测试机底座(31)上；所述测试机底座(31)上具有微动开关电缆孔(13)，该微动开关电缆孔(13)上具有微动开关(12)，所述微动开关(12)上具有上升按钮(26)和下降按钮(27)。2.如权利要求1所述的一种闪存芯片的测试装置，其特征在于，所述控制箱包括控制箱面板(8)和控制箱后盖(35)，所述控制箱后盖(35)通过控制箱面板(8)与垂直支架(37)连接；所述控制箱后盖(35)的上部具有步进电机电缆孔(9)，侧面上部具有散热风扇(34)，侧面下部具有测试机开关(32)和测试机电源插孔(33)；所述控制箱面板(8)自上而下依次排列有记忆控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉伟，
申请(专利权)人：深圳市卓然电子有限公司，
类型：新型
国别省市：