非焊接式压电振子连接装置及采用其的超声流量检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了非焊接式压电振子连接装置及采用其的超声流量检测装置，连接装置包括旋帽、套管、压电振子座；旋帽内设置有旋帽内腔，旋帽内腔内设置有旋帽内腔阶梯面，套管一端插入旋帽内腔并与所述旋帽内腔阶梯面相抵，另一端与压电振子座固定连接；压电振子座内设有环形腔，环形腔用于内嵌安装压电振子，环形腔内设有对压电振子限位的环形腔阶梯面；压电振子座两侧侧壁分别设置有与环形腔连通的第一线孔、第二线孔；第一信号导线、第二信号导线分别通过第一线孔、第二线孔与压电振子的两电极电性连接。本发明专利技术中信号导线与压电振子电极以压接方式连接，避免了焊接高温和焊点一致性对压电振子工作特性的影响；且当压电振子损坏时，更换更方便。更换更方便。更换更方便。

【技术实现步骤摘要】
非焊接式压电振子连接装置及采用其的超声流量检测装置


[0001]本专利技术属于超声流量计
，尤其涉及非焊接式压电振子连接装置及采用其的超声流量检测装置。

技术介绍

[0002]超声流量传感器通过非接触方式测量管路内液体介质的流量，对液体介质的流动和洁净度影响小，测量准确、快速，特别适合半导体工业等测量精度和洁净度要求高的应用场合，被广泛地应用于二次配系统、CDS系统、浸液系统、涂胶显影设备及清洗设备等半导体装备。
[0003]超声流量传感器的一种测量原理如图1所示，压电振子P成对地安装在测量管两侧，在控制器的作用下发射与接收超声波信号，使超声波依次完成顺流和逆流传播，分别测量超声波信号的顺流传播时间和逆流传播时间，根据下列关系式计算管内的流体流量：
[0004][0005][0006][0007]其中，L为压电振子之间的距离，c为超声波在介质中的传播速度，v为介质流速，t
down
为超声波顺流传播时间，t
up
为超声波逆流传播时间。
[0008]如图2、3所示，超声流量传感器中所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.非焊接式压电振子连接装置，其特征在于，包括旋帽、套管、压电振子座；旋帽内设置有旋帽内腔，旋帽内腔内设置有旋帽内腔阶梯面，套管一端插入旋帽内腔并与所述旋帽内腔阶梯面相抵，套管另一端与压电振子座固定连接；压电振子座内设有环形腔，环形腔用于内嵌安装压电振子，环形腔内设有环形腔阶梯面，通过环形腔阶梯面与压电振子相抵以对压电振子进行限位；压电振子座两侧侧壁分别设置有与环形腔连通的第一线孔、第二线孔；第一信号导线、第二信号导线穿过旋帽内腔和套管内与压电振子连接；第一信号导线穿过第一线孔，用于与压电振子侧面处的电极电性连接；第二信号导线穿过第二线孔，用于与压电振子端面上的电极电性连接；第一信号导线和第二信号导线所连接的电极的极性相反。2.根据权利要求1所述的非焊接式压电振子连接装置，其特征在于，所述环形腔与套管内侧连通。3.根据权利要求1所述的非焊接式压电振子连接装置，其特征在于，套管两侧侧壁分别设置有第一槽口、第二槽口，位于套管内的第一信号导线通过第一槽口、第一线孔与压电振子侧壁处的电极电性连接，位于套管内的第二信号导线通过第二槽口、第二线孔与和环形腔阶梯面相正对的压电振子端面上的电极电性连接。4.根据权利要求1所述的非焊接式压电振子连接装置，其特征在于，套管内部填充有固定胶，固定胶用于固定第一信号导线、第二信号导线。5.根据权利要求1所述的非焊接式压电振子连接装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐安察，方泽华，赵楠楠，陈文昱，付婧媛，
申请(专利权)人：浙江启尔机电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：