压电器件、以及压电器件的制造方法技术

技术编号:30533286 阅读:28 留言:0更新日期:2021-10-30 12:44
本发明专利技术提供一种压电器件,其能够抑制包夹压电体层(13)的电极间的泄漏,从而能够降低压电特性的劣化。压电器件(10A)在基材(11)之上依次层叠第一电极(12)、压电体层、以及第二电极(14),上述第一电极和上述第二电极成为在层叠方向彼此不重合的配置。叠方向彼此不重合的配置。叠方向彼此不重合的配置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电器件、以及压电器件的制造方法


[0001]本专利技术涉及压电器件及其制造方法。

技术介绍

[0002]以往,使用利用了物质的压电效果的压电元件。压电效果是指,通过对物质施加压力,获得与压力成比例的极化的现象。利用压电效果,制作了压力传感器、加速度传感器、用于检测弹性波的声发射(AE)传感器等的各种传感器。
[0003]近年,作为智能手机等的信息终端的输入界面使用触屏,压电元件向触屏的应用也增多。触屏与信息终端的显示装置一体构成,为了提高可视性而需求相对于可视光的较高的透明性。另一方面,为了正确检测手指的操作,期望压电体层具有较高的压力响应性。
[0004]公知有在使压电体膜和通过逆压电效果使该压电膜位移的电极层叠的悬臂型位移元件中,各层的电极端部在膜厚方向上不在同一直线之上重合的构成(例如,参照专利文献1)。在该构成中,通过将最下层的电极设定为最大,并且越向上层将电极尺寸设定为越小,从而缓和了元件驱动时的变形引起的应力集中。<现有技术文献>
[0005]<专利文献&g本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种压电器件,其在基材之上依次层叠第一电极、压电体层、以及第二电极,上述第一电极和上述第二电极成为在层叠方向上彼此不重合的配置。2.根据权利要求1所述的压电器件,其中,上述第一电极由具有两个以上的条纹的图案形成,上述第二电极在与上述第一电极的相邻的条纹间的空间对应的区域中形成。3.根据权利要求1所述的压电器件,其中,上述第一电极和上述第二电极的一者由补片图案形成,上述第一电极和上述第二电极的另一者由将上述补片图案切除后的平面图案形成。4.根据权利要求1所述的压电器件,其中,上述第一电极和上述第二电极为隔着上述压电体层在不同的层中彼此错开地配置的一对梳齿电极或螺旋电极。5.根据权利要求1至4中任一项所述的压电器件,其中,上述第一电极的表面积与上述第二电极的表面积大致相等。6.根据权利要求1至5中任一项所述的压电器件,其中,还具有配置于上述基材和上述压电体层之间的非晶质层,上述第一电极形成于上述非晶质层之上。7.根据权利要求6所述的压电器件,其中,上述非晶质层为有机非晶层。8.根据权利要求1至7中任一项所述的压电器件,...

【专利技术属性】
技术研发人员:中村大辅永冈直树石川岳人待永广宣
申请(专利权)人:日东电工株式会社
类型:发明
国别省市:

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