一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法技术

本发明专利技术提供一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，包括以下步骤，步骤1，使用真空吸盘吸附靶材并放置到气浮台上；步骤2，开启气浮台，使靶材保持上浮状态；步骤3，将靶材依次套入到两个PE袋中并抽真空，进行双重真空包装；步骤4，使用真空吸盘将包装后的靶材吸附转运放置到铝板上，在靶材上侧再覆盖铝板，使用胶带进行捆绑固定；步骤5，将固定好的靶材放置到吊篮中，进行冷等静压制备。通过采用真空吸盘对靶材进行吸附转运，通过气浮台将靶材悬空放置，便于后续对靶材的真空包装，减少了人工搬运靶材，减少了靶材破裂的产生，从而提高了靶材产品质量。品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法


[0001]本专利技术涉及靶材加工生产
，尤其涉及一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法。

技术介绍

[0002]平面显示行业的快速发展对所使用的材料提出了更高的要求。对于ITO靶材而言，需要更大的尺寸，更高的密度，更低的电阻率，和更高的使用率。其中大尺寸一项是ITO靶材制备过程中的主要难点，难点主要包含了油压成型，等静压成型，过程装运等。其中等静压时，大尺寸素胚强度较低，靶材较薄，一般的正常装运或者包装过程，需要人工对靶材进行翻动，在翻动过程中极易出现素胚开裂，或者破损等异常。素胚开裂会直接导致靶材报废，造成大量的生产成本损失，良率收到影响或者直接导致订单无法完成。因此解决这个问题就变得很重要了。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，通过采用真空吸盘吸附转运的方式移动靶材，将靶材放置在气浮台上，通过气浮台的浮力作用，使靶材悬浮在气浮台上，便于后续对靶材套装包装袋抽真空的操作，减少了人工对靶材搬运移动的操作，减少了靶材的受力，从而解决了
技术介绍
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，其特征在于，包括以下步骤，步骤1，使用真空吸盘吸附靶材并放置到气浮台上；步骤2，开启气浮台，使靶材保持悬浮状态；步骤3，将靶材依次套入到两个PE袋中并抽真空，进行双重真空包装；步骤4，使用真空吸盘将包装后的靶材吸附转运放置到铝板上，在靶材上侧再覆盖铝板，使用胶带进行捆绑固定；步骤5，将固定好的靶材放置到吊篮中，进行冷等静压制备。2.如权利要求1所述的一种大尺寸平面ITO靶材等静压方法，其特征在于：所述真空吸盘采用海绵真空吸盘，真空吸盘的压力为0.3
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0.6mpa。3.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志强，曾墩风，曾探，陶成，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：