衍射光学元件、对物光学系及光拾取装置制造方法及图纸

技术编号:3051229 阅读:144 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了衍射光学元件、对物光学系以及光拾取装置。目的在于:提供衍射效率对波长的依存性较低,且设计自由度较高的衍射光学元件。衍射光学元件(1)包括相互接合在一起且接合面(12)形成在衍射面(13)的第一光学部(10)及第二光学部(11)。衍射光学元件(1)构成为使多种激光光线中的一种激光光线在衍射面(13)上衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数、与至少另外一种的同衍射级数不同。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及衍射光学元件、具备了衍射光学元件的对物光学系及具备了对物光学系的光拾取装置。
技术介绍
例如,在专利文献1(特开平9-127321号公报)中,通过在具有叠层在一起的多个光学部(光学材料)且在界面的至少一个中形成有凹凸图案(relief pattern)的衍射光学元件中,采用满足下述数式那样的结构,来降低在形成有凹凸图案的界面中衍射效率对波长的依存性, n1(λ)>n2(λ), {[n1(λ2)-n2(λ2)]/[n1(λ1)-n2(λ1)]}>{[n1(λ2)-1]/[n1(λ1)-1]}(*) λ1、λ2为任意波长,λ1<λ2, n1(λ)面向上述界面的一个光学部对波长为λ的光的折射率, n2(λ)面向上述界面的另一个光学部对波长为λ的光的折射率。 但在专利文献1所示的技术中,存在有这样的问题由于必须要满足上述条件表达式(*),因此限制了可使用在光学部中的材料,降低了衍射光学元件的设计自由度。
技术实现思路
本专利技术为鉴于上述各点的专利技术,其目的在于提供衍射效率对波长的依存性较低,且设计自由度较高的衍射光学元件。 为了达到上述目的,本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衍射光学元件,包括相互接合在一起且接合面形成在衍射面的第一光学部及第二光学部,让彼此波长不同的多种激光光线的每一种在上述衍射面上衍射,其特征在于:    构成为使上述多种激光光线中的至少一种在上述衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数为两级以上。

【技术特征摘要】
JP 2006-5-1 2006-127367;US 2007-1-5 60/878,6751.一种衍射光学元件,包括相互接合在一起且接合面形成在衍射面的第一光学部及第二光学部,让彼此波长不同的多种激光光线的每一种在上述衍射面上衍射,其特征在于构成为使上述多种激光光线中的至少一种在上述衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数为两级以上。2.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于上述多种激光光线包含第一波长的第一激光光线、和与该第一波长不同的第二波长的第二激光光线,至少在上述第一激光光线和该第二激光光线这两种激光光线入射的区域中满足下述条件表达式(1),0.7<m1·λ1(n1(λ2)-n2(λ2))/(m2·λ2(n1(λ1)-n2(λ1))<1.3(1)m1第一激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,m2第二激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,λ1第一波长,λ2第二波长,n1(λ1)第一光学部对第一激光光线的折射率,n1(λ2)第一光学部对第二激光光线的折射率,n2(λ1)第二光学部对第一激光光线的折射率,n2(λ2)第二光学部对第二激光光线的折射率。3.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于上述衍射面是将由凹部以及/或者凸部构成的结构单位规则地排列多个而成,上述多种激光光线包含第一到第k激光光线,在至少该多种激光光线中的两种以上激光光线入射的区域中满足下述条件表达式(2),0.83<(mi·λi/|n1(λi)-n2(λi)|)/h<1.17(2)mi第i激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,λi第i激光光线的波长,n1(λi)第一光学部对第i激光光线的折射率,n2(λi)第二光学部对第i激光光线的折射率,h结构单位在光轴方向上的高度,i=1、2、...、k。4.根据权利要求1所述的衍射光学元件,其特征在于上述衍射面是将由凹部以及/或者凸部构成的结构单位规则地排列多个而成,上述多种激光光线包含第一波长的第一激光光线、与该第一波长不同的第二波长的第二激光光线和与上述第一波长及该第二波长都不同的第三波长的第三激光光线,至少在上述第一到第三激光光线中的至少两种激光光线入射的区域中满足下述条件表达式(3)到条件表达式(5),0.83<(m1·λ1/| n1(λ1)-n2(λ1)|)/h<1.17(3)0.83<(m2·λ2/| n1(λ2)-n2(λ2)|)/h<1.17(4)0.83<(m3·λ3/| n1(λ3)-n2(λ3)|)/h<1.17(5)m1第一激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,m2第二激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,m3第三激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,λ1第一波长,λ2第二波长,λ3第三波长,n1(λ1)第一光学部对第一激光光线的折射率,n1(λ2)第一光学部对第二激光光线的折射率,n1(λ3)第一光学部对第三激光光线的折射率,n2(λ1)第二光学部对第一激光光线的折射率,n2(λ2)第二光学部对第二激光光线的折射率,n2(λ3)第二光学部对第三激光光线的折射率,h结构单位在光轴方向上的高度。5.一种对物光学系,用以让彼此波长不同的多种激光光线的每一种都聚焦在光信息记录媒体的信息记录面上,其特征在于至少包括衍射光学元件,该衍射光学元件具有相互接合在一起且接合面形成在衍射面的第一光学部及第二光学部,让上述多种激光光线的每一种都在上述衍射面上衍射;上述衍射光学元件构成为使上述多种激光光线中的至少一种在上述衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数为两级以上。6.根据权利要求5所述的对物光学系,其特征在于还包括物镜,让透过了上述衍射光学元件的上述多种激光光线的每一种都聚焦在上述信息记录面上。7.根据权利要求5所述的对物光学系,其特征在于上述衍射光学元件让上述多种激光光线的每一种都聚焦在上述信息记录面上。8.根据权利要求5所述的对物光学系,其特征在于上述多种激光光线包含第一波长的第一激光光线、和与该第一波长不同的第二波长的第二激光光线,上述衍射光学元件至少在上述第一激光光线和该第二激光光线这两种激光光线入射的区域中满足下述条件表达式(1),0.7<m1·λ1(n1(λ2)-n2(λ2))/(m2·λ2(n1(λ1)-n2(λ1))<1.3(1)m1第一激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,m2第二激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,λ1第一波长,λ2第二波长,n1(λ1)第一光学部对第一激光光线的折射率,n1(λ2)第一光学部对第二激光光线的折射率,n2(λ1)第二光学部对第一激光光线的折射率,n2(λ2)第二光学部对第二激光光线的折射率。9.根据权利要求5所述的对物光学系,其特征在于上述衍射面是将由凹部以及/或者凸部构成的结构单位规则地排列多个而成,上述多种激光光线包含第一到第k激光光线,上述衍射光学元件至少在该多种激光光线中两种以上的激光光线入射的区域中满足下述条件表达式(2),0.83<(mi·λi/|n1(λi)-n2(λi)|)/h<1.17(2)mi第i激光光线在衍射面衍射的衍射光中具有最大光量的衍射光的衍射级数,λi第i激光光...

【专利技术属性】
技术研发人员:田中康弘山形道弘林克彦
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[]

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