一种晶圆暗裂纹检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆暗裂纹检测装置，包括底座和位于底座上方的承载箱体，所述承载箱体内设有LED灯组，所述承载箱体的上盖设有开口，所述LED灯组对应所述开口，且所述LED灯组的发光方向朝向所述开口；所述承载箱体的上盖还设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽沿着所述开口周向设置；所述底座上还安装有可调式放大镜，所述可调式放大镜位于所述开口上方。本实用新型专利技术结构简单，使用方便，能够对晶圆进行暗裂纹进行检测，提高检测效率和检测精度。提高检测效率和检测精度。提高检测效率和检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆暗裂纹检测装置


[0001]本技术涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种晶圆暗裂纹检测装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，随着集成电路芯片的广泛应用，晶圆的重要性也逐渐体现出来。在晶圆的加工过程中，往往会生产出不良产品的晶圆，比如在晶圆的表面产生暗裂纹，因此需要对晶圆进行检测，并剔除不良产品。
[0003]现在市场上晶圆暗裂纹没有检测装置，都是员工用眼睛看，然而暗裂纹细小，很难直接通过肉眼分辨晶圆片有无暗裂纹，而且晶圆本身又轻又薄，在员工拿取观察的过程中，容易损坏晶圆，晶圆一旦损坏将造成严重的损失，耗费成本。

技术实现思路

[0004]本技术解决的技术问题是提供一种晶圆暗裂纹检测装置，能够对晶圆进行暗裂纹进行检测，提高检测效率和检测精度。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供的晶圆暗裂纹检测装置，包括底座和位于底座上方的承载箱体，所述承载箱体内设有LED灯组，所述承载箱体的上盖设有开口，所述LED灯组对应所述开口，且所述LED灯组的发光方向朝向所述开口；
[0006]所述承载箱体的上盖还设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽沿着所述开口周向设置；
[0007]所述底座上还安装有可调式放大镜，所述可调式放大镜位于所述开口上方。
[0008]优选的，所述上盖为亚克力板，所述晶圆放置槽和所述开口均位于所述上盖的中部，所述开口为圆口，所述晶圆放置槽为设置于所述开口外周的圆槽。
[0009]优选的，所述晶圆放置槽内设有耳部槽，所述耳部槽设有2个且沿着所述晶圆放置槽的中心对称设置。
[0010]优选的，所述底座上设有一组对应的滑轨组件，且分别位于所述承载箱体的两侧，所述滑轨组件上安装有一组对应的晶圆放置垫板，所述晶圆放置垫板横跨设置在所述承载箱体的上方。
[0011]优选的，所述滑轨组件包括滑杆和沿滑杆移动的滑块，所述滑杆上设有2个所述滑块，2个所述滑块上分别连接有一所述晶圆放置垫板，所述晶圆放置垫板的横截面为L型，且所述晶圆放置垫板的L型开口相互对应。
[0012]优选的，所述底座上设有与所述LED灯组电连接的光源调节器。
[0013]优选的，所述可调式放大镜包括竖直安装在所述底座上的立杆和套接在所述立杆上的调节臂，所述调节臂的一端沿着所述立杆移动，另一端延伸至所述承载箱体上方，并在端部安装放大镜镜头。
[0014]与相关技术相比较，本技术具有如下有益效果：
[0015]本技术提供的一种晶圆暗裂纹检测装置，其结构简单，使用方便，员工可将晶
圆放置在亚克力板制成的上盖上，结合LED灯组在晶圆下方提供光源，调整放大镜在晶圆上方的位置，便于员工通过放大镜进行检测晶圆上是否有暗裂纹，相比现有技术中人工拿取晶圆直接肉眼检测，提高了检测效率，提高生产安全，避免作业事故产生；同时通过设置晶圆放置槽和晶圆放置垫板适应多种规格尺寸的晶圆，应用范围广。
[0016]为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术提供的一种较佳实施例的结构示意图；
[0019]图2为图1的俯视结构示意图。
[0020]图中标号：1、底座；2、承载箱体；3、LED灯组；4、上盖；5、开口；6、晶圆放置槽；7、可调式放大镜；71、立杆；72、调节臂；73、放大镜镜头；8、滑轨组件；81、滑杆；82、滑块；9、光源调节器；10、晶圆放置垫板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请结合参阅图1和图2，一种晶圆暗裂纹检测装置，包括底座1和位于底座1上方的承载箱体2，所述承载箱体2内设有LED灯组3，所述承载箱体2的上盖4设有开口5，所述LED灯组3对应所述开口5，且所述LED灯组3的发光方向朝向所述开口5，LED灯组3工作发光后，光亮能够透光开口5射出；
[0023]所述承载箱体2上盖4还设有晶圆放置槽6，所述晶圆放置槽6沿着所述开口5周向设置，便于将晶圆放置在晶圆放置槽6内，透光开口5的光亮能够直射在晶圆上，便于观察晶圆本身是否有暗裂纹，给晶圆检测提供了一个很好的观察环境；
[0024]所述底座1上还安装有可调式放大镜7，所述可调式放大镜7位于所述开口5上方，方便员工观察晶圆的暗裂纹，提高工作效率和检测准确度。
[0025]具体的，所述上盖4为亚克力板，所述晶圆放置槽6和所述开口5均位于所述上盖4的中部，所述开口5为圆口，所述晶圆放置槽6为设置于所述开口5外周的圆槽，所述晶圆放置槽6内设有耳部槽61，所述耳部槽61设有2个且沿着所述晶圆放置槽6的中心对称设置，通过耳部槽61方便员工手指摆放和拿取晶圆，将晶圆放置在上盖4的晶圆放置槽6内，LED灯组3发光后，能够透过亚克力板制成的上盖4，给整晶圆的检测环境提供充足的光亮，便于检测出暗裂纹。
[0026]再如图1所示，在本实施例中，所述底座1上设有一组对应的滑轨组件8，且分别位
于所述承载箱体2的两侧，所述滑轨组件8上安装有一组对应的晶圆放置垫板10，所述晶圆放置垫板10横跨设置在所述承载箱体2的上方，所述滑轨组件8包括滑杆81和沿滑杆81移动的滑块82，所述滑杆81上设有2个所述滑块82，2个所述滑块82上分别连接有一所述晶圆放置垫板10，所述放晶圆置垫板的横截面为L型，且所述晶圆放置垫板10的L型开口5相互对应。
[0027]在本实施例中，晶圆放置槽6的尺寸为8寸，适合8寸规格晶圆，当需要对大尺寸的晶圆进行检测时，晶圆放置槽6能无法放置此类规格的晶圆产品时，可将该类大尺寸规格的晶圆放置在两个晶圆放置垫板10上，通过两个L型晶圆放置垫板10的水平面支撑晶圆的两端，使得晶圆能够位于上盖4开口5的上方，确保LED灯组3在工作时，光线直射在晶圆上，并提供良好光亮的检测环境。
[0028]在本实施例中，所述底座1上设有与所述LED灯组3电连接的光源调节器9，该光源调节器9为现有技术中公知技术，通过设置该光源调节器9能够在根据每个员工的检测需要，调整LED灯组3的光源强度，灵活方便。
[0029]在本实施例中，所述可调式放大镜7包括竖直安装在所述底座1上的立杆71和套接在所述立杆71上的调节臂72，所述调节臂7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆暗裂纹检测装置，其特征在于，包括底座和位于底座上方的承载箱体，所述承载箱体内设有LED灯组，所述承载箱体的上盖设有开口，所述LED灯组对应所述开口，且所述LED灯组的发光方向朝向所述开口；所述承载箱体的上盖还设有晶圆放置槽，所述晶圆放置槽沿着所述开口周向设置；所述底座上还安装有可调式放大镜，所述可调式放大镜位于所述开口上方。2.根据权利要求1所述的晶圆暗裂纹检测装置，其特征在于，所述上盖为亚克力板，所述晶圆放置槽和所述开口均位于所述上盖的中部，所述开口为圆口，所述晶圆放置槽为设置于所述开口外周的圆槽。3.根据权利要求2所述的晶圆暗裂纹检测装置，其特征在于，所述晶圆放置槽内设有耳部槽，所述耳部槽设有2个且沿着所述晶圆放置槽的中心对称设置。4.根据权利要求2所述的晶圆暗裂纹检测装置，其特征在于，所述底座...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军伟，谭中飞，
申请(专利权)人：苏州恩硕无尘科技有限公司，
类型：新型
国别省市：