一种真空滑台制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空滑台，包括滑台、移动台以及驱动装置；滑台上设有滑轨，滑轨两端安装有轴承座，轴承座内安装有轴承，两个轴承间安装有滚珠丝杠，滚珠丝杠上套设有移动轴套，移动轴套内侧壁对应滚珠丝杠设有多个第一滚珠；移动台安装在移动轴套顶部；驱动装置用于驱动滚珠丝杠转动；滑台上设有排气孔。本实用新型专利技术提供的一种真空滑台，结构简单，磨损较少、不易造成真空腔体污染，可满足高真空度环境使用。境使用。境使用。

【技术实现步骤摘要】
一种真空滑台


[0001]本技术一般涉及滑动平台
，具体涉及一种真空滑台。

技术介绍

[0002]移动滑台可以使工件或设备进行往复移动，目前被应用于工业生产、实验研究等诸多领域，而真空滑台则可以支持其在真空环境下进行正常工作。
[0003]目前真空滑台设备较少，现有的真空滑台无法满足高真空度的使用需求，其主要存在以下缺陷：1、滑台的传动结构通常采用丝杠和丝杠螺母螺纹连接传动，长时间的使用过程中易导致磨损，产生的磨损碎屑易造成真空腔体污染；2、安装及使用过程中，滑台内部易存留空气，影响真空度环境。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供磨损较少、不易造成真空腔体污染，满足高真空度环境使用的一种真空滑台。
[0005]本技术提供一种真空滑台，包括滑台、移动台以及驱动装置；所述滑台上设有滑轨，所述滑轨两端安装有轴承座，所述轴承座内安装有轴承，两个所述轴承间安装有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠上套设有移动轴套，所述移动轴套内侧壁对应所述滚珠丝杠设有多个第一滚珠；所述移动台安装在所述移动轴套顶部；所述驱动装置用于驱动所述滚珠丝杠转动；所述滑台上设有排气孔；
[0006]根据本申请实施例提供的技术方案，所述滑轨两端安装有限位开关，所述移动台两端安装有金属片，所述限位开关包括开关外壳、撞块以及两个安装在所述撞块上的撞针；所述撞针的针头位于靠近所述金属片一侧，所述撞块内设有信号连接孔。
[0007]根据本申请实施例提供的技术方案，所述驱动装置包括真空电机以及联轴器；所述真空电机的转轴与所述联轴器连接，所述联轴器与所述滚珠丝杠的一端固定连接，所述真空电机外部设有电机护罩。
[0008]根据本申请实施例提供的技术方案，所述移动轴套底部设有多个第二滚珠，所述第二滚珠与所述滑轨底部滚动接触。
[0009]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一滚珠与所述第二滚珠材质为不锈钢。
[0010]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一滚珠表面涂覆有固体润滑膜。
[0011]根据本申请实施例提供的技术方案，所述开关外壳材质为聚四氟乙烯。
[0012]根据本申请实施例提供的技术方案，所述轴承为非磁性钛合金轴承，所述轴承通过氟基固体润滑。
[0013]根据本申请实施例提供的技术方案，所述滑台材质为不锈钢或硬质铝合金。
[0014]根据本申请实施例提供的技术方案，所述滚珠丝杠材质为马氏体不锈钢。
[0015]本技术的优点在于：基于本技术中所记载的技术方案，当驱动装置驱动
滚珠丝杠转动时，所述移动轴套可通过第一滚珠的滚动沿所述滚珠丝杠的轴向方向上往复移动，由滚动滑动代替螺纹滑动，使得机构间的摩擦较小，有利于减少磨损碎屑，有利于提高真空腔体的洁净度。第二方面，通过在所述滑台上设置排气孔，使得在安装过程中聚集在滑台内部的气体可通过排气孔快速排出，避免影响真空腔体的真空度。
附图说明
[0016]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0017]图1为本技术提供的一种真空滑台主视剖视结构示意图；
[0018]图2为图1所示真空滑台的俯视剖视结构示意图；
[0019]图3为图1所示限位开关8的结构示意图；
[0020]图中标号：
[0021]1、滑台；2、移动台；3、滑轨；4、轴承座；5、滚珠丝杠；6、移动轴套；7、排气孔；8、限位开关；9、开关外壳；10、撞块；11、撞针；12、信号连接孔；13、真空电机；14、联轴器；15、电机护罩； 16、金属片；
具体实施方式
[0022]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0023]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0024]实施例1
[0025]请参考图1为本技术提供的一种真空滑台，包括滑台1、移动台2以及驱动装置；所述滑台1上设有滑轨3，所述滑轨3两端安装有轴承座4，所述轴承座4内安装有轴承，两个所述轴承间安装有滚珠丝杠5，所述滚珠丝杠5上套设有移动轴套6，所述移动轴套6 内侧壁对应所述滚珠丝杠5设有多个第一滚珠；所述移动台2安装在所述移动轴套6顶部；所述驱动装置用于驱动所述滚珠丝杠5转动；所述滑台1上设有排气孔7；
[0026]具体的，所述移动台2上表面设有装配孔，优选的，所述装配孔为通孔，避免固定安装过程中装配孔内留滞气体，影响真空度环境。
[0027]优选的，所述滚珠丝杠5材质为马氏体不锈钢。马氏体不锈钢具备高强度和耐蚀性，可满足高真空状态下使用。
[0028]工作原理：当所述驱动装置正常工作时，所述驱动装置带动所述滚珠丝杠5转动，由于所述滚珠丝杠5上套设有移动轴套6，所述移动轴套6内侧壁对应所述滚珠丝杠5设有多个第一滚珠，使得所述移动轴套6可沿所述滚珠丝杠5轴向方向上进行往复移动，进而带动所述移动台2移动；上述结构中，由于采用滚珠丝杠与所述移动轴套6 间滚动传动方式进行滑动，减小了摩擦损耗，有利于提高真空腔体内的洁净度；通过在所述滑台1上设置排气孔7，使得在安装过程中聚集在滑台1内部的气体可通过排气孔7快速排出，避免影响真空腔体的真空度。
[0029]其中，在所述滑轨3的优选实施方式中，所述滑轨3两端安装有限位开关8，所述移动台2两端安装有金属片16，所述限位开关8包括开关外壳9、撞块10以及两个安装在所述撞块10上的撞针11；所述撞针11的针头位于靠近所述金属片16一侧，所述撞块10内设有信号连接孔12。
[0030]使用时，可将所述限位开关8通过所述信号连接孔12连接至外部控制装置，当移动台2移动至所述限位开关8位置时，所述移动台2 上的金属片16抵接所述撞针11针头，使得所述限位开关8导通，此时外部控制装置控制所述驱动装置停止工作，达到限位的作用。同时，所述开关外壳9可采用聚四氟乙烯材质，以实现在高真空环境下稳定工作。
[0031]其中，在所述驱动装置的优选实施方式中，所述驱动装置包括真空电机13以及联轴器14；所述真空电机13的转轴与所述联轴器14 连接，所述联轴器14与所述滚珠丝杠5的一端固定连接，所述真空电机13外部设有电机护罩15。
[0032]具体的，所述电机护罩15可对所述真空电机13起到保护作用，
[0033]其中，在所述移动轴套的优选实施方式中，所述移动轴套6底部设有多个第二滚珠，所述第二滚珠与所述滑轨3底部滚动接触，减小了移动轴套6与滑轨3底部间的摩擦，同时由于移动轴套6与滑轨3 间通过第二滚珠填补间隙，使得移动轴套6移动过程中更加平稳。
[0034]其中，在所述第一滚珠与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空滑台，其特征在于：包括滑台(1)、移动台(2)以及驱动装置；所述滑台(1)上设有滑轨(3)，所述滑轨(3)两端安装有轴承座(4)，所述轴承座(4)内安装有轴承，两个所述轴承间安装有滚珠丝杠(5)，所述滚珠丝杠(5)上套设有移动轴套(6)，所述移动轴套(6)内侧壁对应所述滚珠丝杠(5)设有多个第一滚珠；所述移动台(2)安装在所述移动轴套(6)顶部；所述驱动装置用于驱动所述滚珠丝杠(5)转动；所述滑台(1)上设有排气孔(7)。2.根据权利要求1所述的真空滑台，其特征在于：所述滑轨(3)两端安装有限位开关(8)，所述移动台(2)两端安装有金属片(16)，所述限位开关(8)包括开关外壳(9)、撞块(10)以及两个安装在所述撞块(10)上的撞针(11)；所述撞针(11)的针头位于靠近所述金属片(16)一侧，所述撞块(10)内设有信号连接孔(12)。3.根据权利要求1或2所述的真空滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓波，王秉稷，
申请(专利权)人：微纳光科廊坊仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：