一种单晶炉CCD相机的校准安装支架及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及一种单晶炉CCD相机的校准安装支架及单晶炉，安装支架用于安装在单晶炉的观察窗处，安装支架包括Y轴标杆、X轴标杆、环套；X轴标杆能够与Y轴标杆滑动连接，环套套接在X轴标杆上，环套能够与X轴标杆滑动连接且能够绕X轴标杆转动，环套用于与CCD相机固定连接；Y轴标杆上设有Y轴标尺，X轴标杆上设有X轴标尺，在环套上设有环向标尺。本实用新型专利技术的安装支架可以通过Y轴标尺、X轴标尺、环向标尺实现各调节方向上CCD相机位置的定量标定，提高CCD相机校准的统一性及一致性，从而可以确保CCD相机液面测温、液面到导流筒距离测量、单晶硅棒直径测量保持保持长期相对一致性和准确性，以提高单晶生长的稳定性、提升单晶品质。提升单晶品质。提升单晶品质。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉CCD相机的校准安装支架及单晶炉


[0001]本技术涉及一种安装支架
，尤其涉及一种单晶炉CCD相机的校准安装支架及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种能够在惰性气体环境中将多晶硅材料融化并用直拉法生产单晶硅的设备，其是太阳能光伏行业的关键设备。目前，对于单晶炉晶体生长的自动控制大多采用CCD(Charge Coupled Devices)相机，CCD相机利用视觉图像采集与处理技术，来实现晶体生长过程的监控。使用时将CCD相机安装至单晶炉炉盖顶部的观察窗处，CCD相机的摄像头朝向炉内设置，用于观测、拍摄炉内液面，通过调整CCD相机的高度及各方向角度来确定相机在单晶炉内的捕捉位置；在单晶拉制过程中的调温、引晶、放肩、转肩、等径阶段来测量液面温度、液面到导流筒的距离以及单晶硅棒直径等数据，为单晶拉制过程提供控制参数依据。
[0003]介于单晶炉长晶工艺的要求，CCD相机的捕捉位置及校准，直接影响到液面温度测量、液面距导流筒距离测量、单晶硅棒直径测量的统一性及一致性，进而影响全自动单晶炉的单晶拉制的系统控制，最终影响单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉CCD相机的校准安装支架，用于安装在单晶炉的观察窗处，其特征在于：所述安装支架(1)包括Y轴标杆(11)、X轴标杆(12)、环套(13)；所述X轴标杆(12)能够与所述Y轴标杆(11)滑动连接，所述环套(13)套接在所述X轴标杆(12)上，所述环套(13)能够与所述X轴标杆(12)滑动连接且能够绕所述X轴标杆(12)转动，所述环套(13)用于与CCD相机固定连接；所述Y轴标杆(11)上设有Y轴标尺(111)，所述X轴标杆(12)上设有X轴标尺(121)，在所述环套(13)上设有环向标尺(131)。2.根据权利要求1所述的单晶炉CCD相机的校准安装支架，其特征在于：所述Y轴标尺(111)沿Y轴标杆(11)的纵向设置在其一个表面上；所述X轴标尺(121)沿X轴标杆(12)的纵向设置在其一个表面上；所述环向标尺(131)环绕所述X轴标杆(12)设置在所述环套(13)的一个端面上。3.根据权利要求1所述的单晶炉CCD相机的校准安装支架，其特征在于：所述Y轴标杆(11)呈长方体型，所述X轴标杆(12)呈圆柱体型。4.根据权利要求1所述的单晶炉CCD相机的校准安装支架，其特征在于：所述X轴标杆(12)与所述Y轴标杆(11)相垂直。5.根据权利要求4所述的单晶炉CCD相机的校准安装支架，其特征在于：所述安装支架(1)还包括支杆(14)，所述支杆(14)用于与单晶炉固定连接，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵刚，
申请(专利权)人：内蒙古华耀光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：