一种偏光片缺陷检测设备及系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种偏光片缺陷检测设备，包括底座架和设置于底座架上部的检测装置，检测装置包括上料单元、第一转移单元、移动吸附平台、检测单元、第二转移单元、下料收纳盒。本实用新型专利技术检测装置中的检测单元在进行缺陷检测时，采用了双视场成像的原理，既可以实现大视场的扫描和定位，也可以实现微小缺陷的高分辨成像，通过低分辨线扫和高分辨面阵成像结合的技术方案，先用低分辨线扫快速找到缺陷，再用高分辨面阵把图案拍出来，从而实现高精度和稳定性的缺陷检测，能够达到孔裂纹检测的精度为15微米以内，平均12s/pcs，检测过程中也不会对偏光片造成损伤。也不会对偏光片造成损伤。也不会对偏光片造成损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种偏光片缺陷检测设备及系统


[0001]本技术涉及偏光片检测
，尤其是涉及一种偏光片缺陷检测设备及系统。

技术介绍

[0002]在利用自动化设备进行缺陷检测的过程中，孔裂纹检测是缺陷检测中的难题。孔裂纹缺陷一般呈线状，长度小于10微米，线宽大概在1微米左右，而圆孔的尺寸大于1毫米，有些偏光片有多个孔需要检测，在检测时需要兼顾大视野、高分辨率和快速率，圆孔处的缺陷比较小，容易漏检，也会存在一定程度上的人为损坏，从而进一步影响产品的良品率和完工进度。
[0003]目前，常见的进行缺陷检测的方法有图像识别及肉眼观察，而图像识别的技术成本较高，已有的基于机器视觉的薄膜自动化快速检测设备多对整个薄膜进行检测，对圆孔周围线型缺陷不敏感，因此较多还是选择采用肉眼直接观察，技术人员借助光照、显微镜等仪器观察，进行评估与测量，但针对于较小的缺陷肉眼则难以辨别，因而不同程度地会存在检测效率低、误差大等缺点。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种偏光片缺陷检测设备，其具有检测精度高、检测速度快的特点，能够实现低成本、高精度和稳定性的缺陷检测。
[0005]为实现上述目的，本技术采用以下内容：
[0006]一种偏光片缺陷检测设备，包括底座架和设置于底座架上部的检测装置，所述检测装置的外部罩有玻璃封闭窗，所述玻璃封闭窗的上方设有FFU风机过滤机组，所述检测装置包括：
[0007]上料单元，用于固定偏光片；
[0008]第一转移单元，设置于上料单元的侧部，用于转移上料单元上的偏光片；
[0009]移动吸附平台，沿着底座架的长度方向设置，用于接收第一转移单元上的偏光片；
[0010]检测单元，位于移动吸附平台的上方，用于对移动吸附平台上的偏光片进行视觉检测；
[0011]第二转移单元，相对于第一转移单元设置，用于转移移动吸附平台上的偏光片；
[0012]下料收纳盒，设置于第二转移单元的侧部，用于接收第二转移单元上的偏光片。
[0013]在一种可能的实现方式中，所述上料单元包括固定底板，所述固定底板的上部纵向设置有两个滑轨一，以及横向设置有两个滑轨二，其中滑轨二的位置高于滑轨一，所述固定底板的底部设置有升降机构；两个滑轨一之间活动设置有两个宽度调节板，两个滑轨二之间活动设置有两个长度调节板，两个宽度调节板、两个长度调节板之间均通过一调节机构进行距离调节；两个所述宽度调节板上竖直设置有至少两个挡块一，两个所述长度调节板上竖直设置有至少一个挡块二，挡块一与挡块二形成的空间中活动架设有放置平板，所
述放置平板与升降机构连接。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述挡块一、挡块二的内侧表面均连接有吹气块，所述吹气块的表面均匀分布有若干个气孔。
[0015]在一种可能的实现方式中，所述第一转移单元包括支架一，支架一位于上料单元的上方，所述支架一的上部设有单轴机器人一，所述单轴机器人一与一机械手一活动连接，所述机械手一的下部固设有气缸吸盘一。
[0016]在一种可能的实现方式中，所述移动吸附平台包括直线电机模组，所述直线电机模组垂直于第一转移单元的支架一设置，所述直线电机模组上具有可移动的滑块，所述滑块上安装有真空吸附平台。
[0017]在一种可能的实现方式中，所述检测单元包括支架二，支架二位于直线电机模组的上方，所述支架二的上部设有单轴机器人二，在支架二的两侧分别设置线扫相机和面阵相机，所述线扫相机和面阵相机均与单轴机器人二活动连接，所述线扫相机的下部设置同轴光源，所述同轴光源位于直线电机模组的上方。
[0018]在一种可能的实现方式中，所述第二转移单元包括支架三，支架三位于直线电机模组的上方，所述支架三的上部设有单轴机器人三，所述单轴机器人三与一机械手二活动连接，所述机械手二的下部固设有气缸吸盘二。
[0019]在一种可能的实现方式中，所述下料收纳盒设置于支架三的侧部，下料收纳盒包括OK收纳盒和NG收纳盒。
[0020]本技术的另一目的在于提供一种偏光片缺陷检测系统，其具有检测精度高、检测速度快的特点，能够实现低成本、高精度和稳定性的缺陷检测。
[0021]本技术提供一种偏光片缺陷检测系统，包括待检测样片和偏光片缺陷检测设备。所述偏光片缺陷检测设备包括底座架和设置于底座架上部的检测装置，所述检测装置的外部罩有玻璃封闭窗，所述玻璃封闭窗的上方设有FFU风机过滤机组，所述检测装置包括上料单元，用于固定偏光片，第一转移单元，设置于所述上料单元的侧部，用于转移上料单元上的偏光片，移动吸附平台，沿着底座架的长度方向设置，用于接收第一转移单元上的偏光片，检测单元，位于移动吸附平台的上方，用于对移动吸附平台上的偏光片进行视觉检测，第二转移单元，相对于第一转移单元设置，用于转移移动吸附平台上的偏光片，下料收纳盒，设置于所述第二转移单元的侧部，用于接收第二转移单元上的偏光片。
[0022]相比于现有技术，本技术提供的偏光片缺陷检测设备及系统的有益效果是：
[0023]本技术检测装置中的检测单元在进行缺陷检测时，采用了双视场成像的原理，既可以实现大视场的扫描和定位，也可以实现微小缺陷的高分辨成像，通过低分辨线扫和高分辨面阵成像结合的技术方案，先用低分辨线扫快速找到缺陷，再用高分辨面阵把图案拍出来，从而实现高精度和稳定性的缺陷检测，能够达到孔裂纹检测的精度为15微米以内，平均12s/pcs，检测过程中也不会对偏光片造成损伤。
附图说明
[0024]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0025]图1为本技术的实施例提供的偏光片缺陷检测设备的结构示意图；
[0026]图2为本技术的实施例提供的检测装置的俯视图；
[0027]图3为本技术的实施例提供的上料单元的结构示意图；
[0028]图4为本技术的实施例提供的移动吸附平台的结构示意图；
[0029]图5为本技术的实施例提供的检测单元的结构示意图；
[0030]图中，各附图标记为：
[0031]1‑
底座架，2
‑
检测装置，3
‑
玻璃封闭窗，4
‑
FFU风机过滤机组，21
‑
上料单元，22
‑
第一转移单元，23
‑
移动吸附平台，24
‑
检测单元，25
‑
第二转移单元，26
‑
下料收纳盒，210
‑
固定底板，211
‑
滑轨一，212
‑
滑轨二，213
‑
宽度调节板，214
‑
长度调节板，215
‑
挡块一，216
‑
挡块二，217
‑
放置平板，218
‑
吹气块，219
‑<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种偏光片缺陷检测设备，包括底座架和设置于底座架上部的检测装置，所述检测装置的外部罩有玻璃封闭窗，所述玻璃封闭窗的上方设有FFU风机过滤机组，其特征在于，所述检测装置包括：上料单元，用于固定偏光片；第一转移单元，设置于上料单元的侧部，用于转移上料单元上的偏光片；移动吸附平台，沿着底座架的长度方向设置，用于接收第一转移单元上的偏光片；检测单元，位于移动吸附平台的上方，用于对移动吸附平台上的偏光片进行视觉检测；第二转移单元，相对于第一转移单元设置，用于转移移动吸附平台上的偏光片；下料收纳盒，设置于第二转移单元的侧部，用于接收第二转移单元上的偏光片。2.根据权利要求1所述的一种偏光片缺陷检测设备，其特征在于，所述上料单元包括固定底板，所述固定底板的上部纵向设置有两个滑轨一，以及横向设置有两个滑轨二，其中滑轨二的位置高于滑轨一，所述固定底板的底部设置有升降机构；两个滑轨一之间活动设置有两个宽度调节板，两个滑轨二之间活动设置有两个长度调节板，两个宽度调节板、两个长度调节板之间均通过一调节机构进行距离调节；两个所述宽度调节板上竖直设置有至少两个挡块一，两个所述长度调节板上竖直设置有至少一个挡块二，挡块一与挡块二形成的空间中活动架设有放置平板，所述放置平板与升降机构连接。3.根据权利要求2所述的一种偏光片缺陷检测设备，其特征在于，所述挡块一、挡块二的内侧表面均连接有吹气块，所述吹气块的表面均匀分布有若干个气孔。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：张保红，
申请(专利权)人：杭州微纳智感光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：