交易请求的处理方法及半导体生产系统技术方案

本发明专利技术公开了一种交易请求的处理方法，其包括：通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换；所述信息交换包括，所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。其优点是：通过设置代理模块，透过代理模块替代机台控制模块发送第一交易请求，避免了机台控制系统在接收第一交易请求时被锁定的情况，从而有效地提高制造执行系统向机台控制系统发送的第二交易请求时的预约成功率，进而提升生产效率。进而提升生产效率。进而提升生产效率。

【技术实现步骤摘要】
交易请求的处理方法及半导体生产系统


[0001]本专利技术涉及半导体生产系统
，具体涉及交易请求的处理方法及半导体生产系统。

技术介绍

[0002]如图1所示，为减轻人力的负担、提升操作的质量以及降低制造成本，半导体领域(Semiconductor)一般会用到制造执行系统1
’
(Manufacturing Execution System，MES)与机台控制系统2
’
(Tool Control System，TCS)来提高工作效率。
[0003]但当制造执行系统1
’
与机台控制系统2
’
同时发送交易请求时，将由机台控制系统2
’
拒绝制造执行系统1
’
的请求以保证安全运行避免死锁，因此经常会导致制造执行系统1
’
预约失败；根据日常数据统计，正常生产中，半导体厂一天内产生上述预约失败的次数可高达成百上千次，由此可见，上述问题对生产效率造成了比较大的影响。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种交易请求的处理方法，其特征在于，包括：通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换；所述信息交换包括，所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。2.如权利要求1所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述信息交换还包括，所述制造执行系统接收并执行第一交易请求后，将对应的第一反馈结果发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一反馈结果发送给所述机台控制系统。3.如权利要求2所述的交易请求的处理方法，其特征在于：在所述机台控制系统发送出所述第一交易请求之后，且在所述机台控制系统接收到所述第一反馈结果之前，所述机台控制系统能够接收由所述制造执行系统发送的第二交易请求。4.如权利要求3所述的交易请求的处理方法，其特征在于：当所述机台控制系统接收到来自所述制造执行系统发送的第二交易请求时响应并执行所述第二交易请求，再将对应的第二反馈结果发送给所述制造执行系统。5.如权利要求2所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述代理模块对所述第一交易请求进行第一信息格式转换以后发送给所述制造执行系统；所述代理模块对所述第一反馈结果进行第二信息格式转换以后发送给所述机台控制系统。6.如权利要求5所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述第一信息格式转换包括由Postman协议到Web Service协议的格式转换；所述第二信息格式转换包括由Web Service协议到Postman协议的格式转换。7.一种半导体生产系统，其特征在于，包括制造执行系统、机台控制系统以及代理模块，其中：所述代理模块分别通信连接所述制造执行系统以及机台控制系统，用于完成所述制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎焕诚，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：