交易请求的处理方法及半导体生产系统技术方案

本发明专利技术公开了一种交易请求的处理方法，其包括：通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换；所述信息交换包括，所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。其优点是：通过设置代理模块，透过代理模块替代机台控制模块发送第一交易请求，避免了机台控制系统在接收第一交易请求时被锁定的情况，从而有效地提高制造执行系统向机台控制系统发送的第二交易请求时的预约成功率，进而提升生产效率。进而提升生产效率。进而提升生产效率。

【技术实现步骤摘要】
交易请求的处理方法及半导体生产系统


[0001]本专利技术涉及半导体生产系统
，具体涉及交易请求的处理方法及半导体生产系统。

技术介绍

[0002]如图1所示，为减轻人力的负担、提升操作的质量以及降低制造成本，半导体领域(Semiconductor)一般会用到制造执行系统1
’
(Manufacturing Execution System，MES)与机台控制系统2
’
(Tool Control System，TCS)来提高工作效率。
[0003]但当制造执行系统1
’
与机台控制系统2
’
同时发送交易请求时，将由机台控制系统2
’
拒绝制造执行系统1
’
的请求以保证安全运行避免死锁，因此经常会导致制造执行系统1
’
预约失败；根据日常数据统计，正常生产中，半导体厂一天内产生上述预约失败的次数可高达成百上千次，由此可见，上述问题对生产效率造成了比较大的影响。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述的当机台控制系统与制造执行系统双边同时发送交易请求时，机台控制系统的主进程与制造执行系统的机台物件同时被锁定，系统程序默认执行机台控制系统拒绝制造执行系统的交易请求，降低制造执行系统预约成功率的问题，提供一种交易请求的处理方法及半导体生产系统，可以有效提高制造执行系统的交易请求预约成功率。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供一种交易请求的处理方法，其特征是，包括：
[0006]通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换；
[0007]所述信息交换包括，所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。
[0008]上述的交易请求的处理方法，其中：
[0009]所述信息交换还包括，所述制造执行系统接收并执行第一交易请求后，将对应的第一反馈结果发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一反馈结果发送给所述机台控制系统。
[0010]上述的交易请求的处理方法，其中：
[0011]在所述机台控制系统发送出所述第一交易请求之后，且在所述机台控制系统接收到所述第一反馈结果之前，所述机台控制系统能够接收由所述制造执行系统发送的第二交易请求。
[0012]上述的交易请求的处理方法，其中：
[0013]当所述机台控制系统接收到来自所述制造执行系统发送的第二交易请求时响应并执行所述第二交易请求，再将对应的第二反馈结果发送给所述制造执行系统。
[0014]上述的交易请求的处理方法，其中：
[0015]所述代理模块对所述第一交易请求进行第一信息格式转换以后发送给所述制造
执行系统；
[0016]所述代理模块对所述第一反馈结果进行第二信息格式转换以后发送给所述机台控制系统。
[0017]上述的交易请求的处理方法，其中：
[0018]所述第一信息格式转换包括由Postman协议到Web Service协议的格式转换；
[0019]所述第二信息格式转换包括由Web Service协议到Postman协议的格式转换。
[0020]一种半导体生产系统，其特征是，包括制造执行系统、机台控制系统以及代理模块，其中：
[0021]所述代理模块分别通信连接所述制造执行系统以及机台控制系统，用于完成所述制造执行系统与所述机台控制系统之间的信息交换；
[0022]所述代理模块用于接收所述机台控制系统发送出的第一交易请求再发送给所述制造执行系统，以及接收所述制造执行系统发出的与所述第一交易请求对应的第一反馈结果再发送给所述机台控制系统。
[0023]上述的半导体生产系统，其中：
[0024]所述机台控制系统连接所述制造执行系统，在所述机台控制系统发送出所述第一交易请求之后，且在所述机台控制系统接收到所述第一反馈结果之前，所述机台控制系统能够接收由所述制造执行系统发送的第二交易请求；
[0025]当所述机台控制系统接收到所述第二交易请求时对所述第二交易请求进行响应并执行，再将对应的第二反馈结果发送给所述制造执行系统。
[0026]上述的半导体生产系统，其中，所述代理模块包括：
[0027]第一接收单元，其输入端连接所述机台控制系统，用于接收所述机台控制系统发出的第一交易请求；
[0028]第一转换处理单元，其输入端连接所述第一接收单元的输出端，用于将所述第一交易请求进行第一信息格式转换；
[0029]第一发送单元，其输入端连接所述第一转换处理单元的输出端，其输出端连接所述制造执行系统，用于将进行第一信息格式转换后的所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。
[0030]上述的半导体生产系统，其中，所述代理模块还包括：
[0031]第二接收单元，其输入端连接所述制造执行系统，用于接收所述制造执行系统的第一反馈结果；
[0032]第二转换处理单元，其输入端连接所述第二接收单元的输出端，用于将所述第一反馈结果进行第二信息格式转换；
[0033]第二发送单元，其输入端连接所述第二转换处理单元的输出端，其输出端连接所述机台控制系统，用于将进行第二信息格式转换后的所述第一反馈结果发送给所述机台控制系统。
[0034]本专利技术采用上述技术方案，具体有以下优点：透过代理模块替代机台控制系统发送第一交易请求，避免了原先机台控制系统在发送第一交易请求时需要被锁定的情况，从而有效地提高制造执行系统向机台控制系统发送的第二交易请求时的预约成功率，进而提升生产效率。
附图说明
[0035]图1为现有技术中的机台控制系统与制造执行系统在双边同时发送交易请求时的工作原理图；
[0036]图2为现有技术中的机台控制系统与制造执行系统在双边同时发送交易请求时的时序流程图；
[0037]图3为本专利技术的交易请求的处理方法的流程图；
[0038]图4为本专利技术的一实施例中的交易请求的处理方法的机台控制系统与制造执行系统在双边同时发送交易请求时的时序流程图；
[0039]图5为本专利技术的半导体生产系统的结构框图；
[0040]图6为本专利技术的一实施例中的半导体生产系统中的代理模块的结构框图。
具体实施方式
[0041]为了更好地理解本专利技术的目的、技术方案以及技术效果，以下结合附图和实施例对本专利技术进行进一步的讲解说明。同时声明，以下所描述的实施例仅用于解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0042]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0043]在使用本文中描述的“包括”、“具有”本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种交易请求的处理方法，其特征在于，包括：通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换；所述信息交换包括，所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。2.如权利要求1所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述信息交换还包括，所述制造执行系统接收并执行第一交易请求后，将对应的第一反馈结果发送给所述代理模块，所述代理模块再将所述第一反馈结果发送给所述机台控制系统。3.如权利要求2所述的交易请求的处理方法，其特征在于：在所述机台控制系统发送出所述第一交易请求之后，且在所述机台控制系统接收到所述第一反馈结果之前，所述机台控制系统能够接收由所述制造执行系统发送的第二交易请求。4.如权利要求3所述的交易请求的处理方法，其特征在于：当所述机台控制系统接收到来自所述制造执行系统发送的第二交易请求时响应并执行所述第二交易请求，再将对应的第二反馈结果发送给所述制造执行系统。5.如权利要求2所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述代理模块对所述第一交易请求进行第一信息格式转换以后发送给所述制造执行系统；所述代理模块对所述第一反馈结果进行第二信息格式转换以后发送给所述机台控制系统。6.如权利要求5所述的交易请求的处理方法，其特征在于：所述第一信息格式转换包括由Postman协议到Web Service协议的格式转换；所述第二信息格式转换包括由Web Service协议到Postman协议的格式转换。7.一种半导体生产系统，其特征在于，包括制造执行系统、机台控制系统以及代理模块，其中：所述代理模块分别通信连接所述制造执行系统以及机台控制系统，用于完成所述制造...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎焕诚，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：