光学薄膜的制备方法、卷绕镀膜机和微纳米结构色晶体技术

本申请公开了一种光学薄膜的制备方法、卷绕镀膜机和微纳米结构色晶体，该光学薄膜的制备方法，制备方法基于卷绕镀膜机，制备方法包括：提供一基带；将基带绕于卷绕镀膜机的放卷辊以及收卷辊上；对卷绕镀膜机的镀膜真空室进行抽真空至镀膜真空室的真空度达到预设阈值；放卷辊与收卷辊带动基带通过卷绕镀膜机的多个溅射、蒸发或原子层沉积室做卷绕运动；其中，多个溅射、蒸发或原子层沉积室包括：第一溅射、蒸发或原子层沉积室以及多个第二溅射、蒸发或原子层沉积室；在基带通过第一溅射、蒸发或原子层沉积室时，脱膜剂蒸镀于基带上形成第一牺牲层；在基带通过多个第二溅射、蒸发或原子层沉积室时，光学介质材料沉积于牺牲层上形成第一光学薄膜；去除牺牲层以得到光学薄膜。通过上述方式，本申请能够提高工作效率，并降低生产成本。产成本。产成本。产成本。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭凌杰，马道远，
申请(专利权)人：宁波融光纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：