【技术实现步骤摘要】
一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法
[0001]本专利技术属于微纳米结构加工领域,涉及一种采用结构化金刚石探针加工纳米点阵的方法。
技术介绍
[0002]纳米级尺度的材料和特殊结构越来越广泛地应用于各个研究领域,尤其是在纳机电系统、纳米传感器和分子机械等领域的技术发展中起到至关重要的作用。纳米点或纳米凹痕作为材料空间尺寸的最小单位,也被定义为一维纳米结构,由于尺寸的优势通常被用于拉曼增强基底或进行信息存储。目前加工纳米点或纳米凹痕采用的加工手段主要为电子束加工、聚焦离子束、激光加工等传统微纳米加工手段,但是这些加工方法对加工环境要求严苛,同时设备仪器昂贵,增大了加工过程的成本。考虑到加工成本和加工效率等因素,基于原子力显微镜(AFM)探针的加工技术可以在众多的材料表面加工纳米结构,并且具有低成本、高精度和操作简单的优势。然而采用该种方法为串行加工方法,加工纳米点阵需要进行多次压痕,严重影响了加工效率。因此,如何高效简单地加工纳米点阵成为一项亟需解决的难题。
技术实现思路
[0003]针对现有技术存在的上述问题,本专利技术提供了一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法。该方法利用结构化探针加工纳米点阵,通过改变探针形状实现纳米点阵高效加工。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的:
[0005]一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法,包括如下步骤:
[0006]步骤一、结构化探针的制备:
[0007]利用FIB技术加工金 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种利用带有凸起阵列的结构化探针加工纳米结构的方法,其特征在于所述方法包括如下步骤:步骤一、结构化探针的制备:利用FIB技术加工金刚石探针针尖,在探针尖端加工出凸起阵列;步骤二、利用结构化探针加工纳米结构:将步骤一制备的结构化探针安装在AFM加工系统中的扫描陶管上,在敲击模式下,探针在扫描陶管驱动下以探针谐振频率沿垂直方向振动敲击样品,使样品发生变形,通过扫描陶管控制探针在X
‑
Y平面运动,加工出纳米点阵。2.根据权利要求1所述的利用带有凸起阵...
【专利技术属性】
技术研发人员:闫永达,李子翰,刘宇,耿延泉,胡振江,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:
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