一种降低单晶氧含量的加热器制造技术

技术编号:30378599 阅读:20 留言:0更新日期:2021-10-16 18:12
本实用新型专利技术公开了一种降低单晶氧含量的加热器,包括底座、支撑柱、传动杆和加热器体,所述底座的内侧安装有支撑柱,且支撑柱的内侧设置有固定块,所述固定块的内侧安装有螺栓,且固定块的外侧设置有限位块,所述限位块的内侧安装有限位杆,且限位杆的内侧设置有加热器体,所述加热器体的内侧安装有传动杆,且传动杆的左侧设置有加热组件,所述加热组件包括导电块、电阻块、第一安装架、第二安装架、加热杆、第一加热片和第二加热片,导电块的下侧安装有电阻块,电阻块的上侧设置有加热杆。该降低单晶氧含量的加热器,能够均匀加热降低单晶氧含量,方便后续加工,同时可以便捷的安装,方便操作,可以对温度进行控制。可以对温度进行控制。可以对温度进行控制。

【技术实现步骤摘要】
一种降低单晶氧含量的加热器


[0001]本技术涉及单晶加热器相关相关
,具体为一种降低单晶氧含量的加热器。

技术介绍

[0002]晶体中氧含量来源为运行过程中石英坩埚与熔硅反应生成,其中一部分氧会逸出熔硅并随炉内气体循环系统排出炉体,未及时排出的氧会再次融进熔体中,或聚集在结晶区域附近,在晶体生长过程中进入单晶中;另一部分会随着熔体的对流运动到结晶区并随着单晶生长进入单晶中,目前使用的加热器多种多样,种类繁多,但是仍存在一些不足:
[0003]一般的加热器,不方便降低不方便单晶氧含量,影响使用,同时不方便安装,在实际应用时,操作不便,因此,我们提供一种降低单晶氧含量的加热器,以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种降低单晶氧含量的加热器,以解决上述
技术介绍
中提出的一般的加热器,不方便降低不方便单晶氧含量,影响使用,同时不方便安装,在实际应用时,操作不便的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种降低单晶氧含量的加热器,包括底座、支撑柱、传动杆和加热器体,所述底座的内侧安装有支撑柱,且支撑柱的内侧设置有固定块,所述固定块的内侧安装有螺栓,且固定块的外侧设置有限位块,所述限位块的内侧安装有限位杆,且限位杆的内侧设置有加热器体,所述加热器体的内侧安装有传动杆,且传动杆的左侧设置有加热组件。
[0006]优选的,所述固定块通过弹簧与限位块构成弹性连接,且固定块与限位杆为滑动连接。
[0007]优选的,所述固定块通过螺栓与加热器体构成可拆卸连接,且固定块与支撑柱为卡合连接。
[0008]优选的,所述支撑柱与加热器体为滑动连接,且支撑柱与底座为卡合式转动连接。
[0009]优选的,所述加热组件包括导电块、电阻块、第一安装架、第二安装架、加热杆、第一加热片和第二加热片,导电块的下侧安装有电阻块,电阻块的上侧设置有加热杆,加热杆的上侧安装有第二安装架,第二安装架的内侧设置有第二加热片,第二加热片的上侧安装有第一安装架,第一安装架的内侧设置有第一加热片。
[0010]优选的,所述导电块与传动杆为螺纹连接,且传动杆与加热器体为转动连接。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果是:该降低单晶氧含量的加热器,能够均匀加热降低单晶氧含量,方便后续加工,同时可以便捷的安装,方便操作,可以对温度进行控制;
[0012]1、通过设置有第一加热片对坩埚进行均匀加热,同时设置有第二加热片对第一加
热片进行辅热,提高加热器有效发热面积比,降低氧含量,方便后续加工;
[0013]2、通过支撑柱与加热器体构成滑动连接,以及支撑柱与底座构成卡合式转动连接,当需要对加热器体进行安装时,将支撑柱放入底座中转动,同时将支撑柱的上侧插入加热器体中,固定块通过螺栓与加热器体构成可拆卸连接,支撑柱的内侧开设有槽状结构,以及固定块与支撑柱构成卡合连接,将加热器体调整到合适的高度时,将固定块插入支撑柱的槽中,并通过螺栓固定,可以便捷的安装,方便操作;
[0014]3、通过导电块与传动杆构成螺纹连接,以及传动杆与加热器体构成转动连接,当加热器体内温度过高时,传动杆转动带动导电块与电阻块分离,加热杆停止加热,对温度进行控制。
附图说明
[0015]图1为本技术正视剖面结构示意图;
[0016]图2为本技术加热杆与第一安装架连接俯视结构示意图;
[0017]图3为本技术图1中A处放大结构示意图;
[0018]图4为本技术第二加热片与第二安装架连接俯视结构示意图;
[0019]图5为本技术支撑柱与底座连接俯视结构示意图。
[0020]图中:1、底座;2、限位杆;3、固定块;4、支撑柱;5、传动杆;6、加热组件;601、导电块;602、电阻块;603、第一安装架;604、第二安装架;605、加热杆;606、第一加热片;607、第二加热片;7、加热器体;8、限位块;9、螺栓。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1

5,本技术提供一种技术方案:一种降低单晶氧含量的加热器,包括底座1、限位杆2、固定块3、支撑柱4、传动杆5、加热组件6、加热器体7、限位块8和螺栓9,底座1的内侧安装有支撑柱4,且支撑柱4的内侧设置有固定块3,固定块3的内侧安装有螺栓9,且固定块3的外侧设置有限位块8,限位块8的内侧安装有限位杆2,且限位杆2的内侧设置有加热器体7,加热器体7的内侧安装有传动杆5,且传动杆5的左侧设置有加热组件6,加热组件6包括导电块601、电阻块602、第一安装架603、第二安装架604、加热杆605、第一加热片606和第二加热片607,导电块601的下侧安装有电阻块602,电阻块602的上侧设置有加热杆605,加热杆605的上侧安装有第二安装架604,第二安装架604的内侧设置有第二加热片607,第二加热片607的上侧安装有第一安装架603,第一安装架603的内侧设置有第一加热片606。
[0023]如图1中,固定块3通过弹簧与限位块8构成弹性连接,且固定块3与限位杆2为滑动连接,将固定块3插入到支撑柱4中时,固定块3在弹簧的弹力下向内进行限位,如图1和图3中,固定块3通过螺栓9与加热器体7构成可拆卸连接,且固定块3与支撑柱4为卡合连接,将加热器体7调整到合适的高度时,将固定块3插入支撑柱4的槽中,并通过螺栓9固定,可以便
捷的安装,方便操作;
[0024]如图1和图5中,支撑柱4与加热器体7为滑动连接,且支撑柱4与底座1为卡合式转动连接,当需要对加热器体7进行安装时,将支撑柱4放入底座1中转动,底座1对支撑柱4进行限位,同时将支撑柱4的上侧插入加热器体7中,如图1中,导电块601与传动杆5为螺纹连接,且传动杆5与加热器体7为转动连接,当加热器体7内温度过高时,传动杆5转动带动导电块601与电阻块602分离,加热杆605停止加热,对温度进行控制。
[0025]工作原理:在使用该降低单晶氧含量的加热器时,首先结合图1、图2和图3所示,将底座1放置在指定的位置,支撑柱4与加热器体7构成滑动连接,以及支撑柱4与底座1构成卡合式转动连接,将支撑柱4放入底座1中转动,同时将支撑柱4的上侧插入加热器体7中,固定块3通过螺栓9与加热器体7构成可拆卸连接,支撑柱4的内侧开设有槽状结构,以及固定块3与支撑柱4构成卡合连接,将加热器体7调整到合适的高度时,固定块3通过弹簧与限位块8构成弹性连接,且固定块3与限位杆2为滑动连接,将固定块3插入到支撑柱4中时,固定块3在弹簧的弹力下向内进行限位,并通过螺本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种降低单晶氧含量的加热器,包括底座(1)、支撑柱(4)、传动杆(5)和加热器体(7),其特征在于:所述底座(1)的内侧安装有支撑柱(4),且支撑柱(4)的内侧设置有固定块(3),所述固定块(3)的内侧安装有螺栓(9),且固定块(3)的外侧设置有限位块(8),所述限位块(8)的内侧安装有限位杆(2),且限位杆(2)的内侧设置有加热器体(7),所述加热器体(7)的内侧安装有传动杆(5),且传动杆(5)的左侧设置有加热组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种降低单晶氧含量的加热器,其特征在于:所述固定块(3)通过弹簧与限位块(8)构成弹性连接,且固定块(3)与限位杆(2)为滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种降低单晶氧含量的加热器,其特征在于:所述固定块(3)通过螺栓(9)与加热器体(7)构成可拆卸连接,且固定块(3)与支撑柱(4)为卡合连接。4.根据权利要求1所述的一种降低单晶氧含量的加...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴超慧朱厚军
申请(专利权)人:宇泽半导体云南有限公司
类型:新型
国别省市:

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