真空压合治具、使用该治具的激光玻璃焊接系统及方法技术方案

本发明专利技术公开一种真空压合治具、使用该治具的激光玻璃焊接系统及方法，其中，真空压合治具包括可开合的密封腔体，所述密封腔体内设有波纹管，所述波纹管上表面固定有支撑板，所述支撑板用于放置待焊料；所述密封腔体的侧壁下方设有充气孔，侧壁上方设有抽气孔，底部设有出气孔；所述密封腔体的顶部中间位置设有玻璃板，所述玻璃板与支撑板相适配。本发明专利技术解决了待焊玻璃料的间隙控制问题，实现了接触间隙的量化和过程管理，并且使用该治具成功高效地完成玻璃样品的焊接。成玻璃样品的焊接。成玻璃样品的焊接。

【技术实现步骤摘要】
真空压合治具、使用该治具的激光玻璃焊接系统及方法


[0001]本专利技术属于超快激光玻璃焊接
，具体为一种真空压合治具、使用该治具的激光玻璃焊接系统及方法。

技术介绍

[0002]激光焊接是利用高能量密度的激光光束作为热源，焊接过程中热量从表面通过热传导至材料内部，通过控制脉冲激光的脉宽，能量，峰值功率，重复频率等参数，使得材料融化，形成特定的熔池。金属激光焊接技术已经发展四十多年了，广泛应用在各个领域，如汽车工业，航天工业，微电子领域等。然而脆性材料激光焊接技术是近十五年才产生的，特别是近5年才往工业应用领域发展。传统脆性材料(如玻璃，陶瓷，蓝宝石等)间的连接用的是胶水粘连方式，虽然材料和工艺已经十分成熟，但仍然存在许多问题，例如，胶水/粘合剂是耗材，增加了原料成本；在长时间不稳定环境(湿度，温度等变化较大)下使用，胶水会发生失效脱落；有机高分子聚合物胶水对环境有一定影响，不符合环保趋势。因此脆性材料激光焊接技术市场前景可观，特别是玻璃激光焊接，其应用十分广泛，如芯片封装，3C产品焊接，半导体材料键合等。
[0003]玻璃激光焊本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空压合治具，其特征在于，包括可开合的密封腔体，所述密封腔体内设有波纹管，所述波纹管上表面固定有支撑板，所述支撑板用于放置待焊料；所述密封腔体的侧壁下方设有充气孔，侧壁上方设有抽气孔，底部设有出气孔；所述密封腔体的顶部中间位置设有玻璃板，所述玻璃板与支撑板相适配。2.根据权利要求1所述真空压合治具，其特征在于，所述密封腔体包括底板，底座和盖框，所述底座固定在底板上，所述盖框设置在底座上方且与底座可拆卸连接。3.根据权利要求2所述真空压合治具，其特征在于，所述盖框与底座之间设有密封圈。4.根据权利要求1所述真空压合治具，其特征在于，所述波纹管为可伸缩波纹管。5.根据权利要求1所述真空压合治具，其特征在于，所述支撑板的制作材料包括铝、铁氟龙或铁。6.激光玻璃焊接系统，使用权利要求1
‑
5任一项所述的真空压合治具实现，其特征在于，所述激光玻璃焊接系统包括激光器、光学单元和真空压合治具，所述激光器产生的激光经由光学单元传导后，透过真空压合治具顶部的玻璃板聚焦于待焊料上；所述真空压合治具的充气孔连接压缩空气瓶，且进气管道上设有压力表；所述真空压合治具的...

【专利技术属性】
技术研发人员：库东峰，黄伟，柯亮，吴中晗，张义，王建刚，
申请(专利权)人：武汉华工激光工程有限责任公司，
类型：发明
国别省市：