一种石墨件储存装置制造方法及图纸

本申请公开了一种石墨件储存装置，属于石墨件储存技术领域。所述石墨件储存装置包括：储存主体，所述储存主体内部形成储存腔室，所述储存腔室一侧设置有惰性气体进气口，另一侧设置有惰性气体出气口；干燥组件，所述干燥组件包括设置在所述储存腔室外侧的加热装置，所述加热装置靠近所述惰性气体进气口设置；动力装置，所述动力装置设置在所述储存腔室的内部，用于使所述储存腔室内的气体从所述惰性气体进气口流向所述惰性气体出气口。该石墨件储存装置有利于使石墨件受热均匀，将石墨件中的水分彻底蒸发至气体中，保证石墨件处于干燥状态；此外，还可以避免污染石墨件，确保石墨件的洁净，从而可以保证后续晶体生长的质量。从而可以保证后续晶体生长的质量。从而可以保证后续晶体生长的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨件储存装置


[0001]本申请涉及一种石墨件储存装置，属于石墨件储存


技术介绍

[0002]半导体晶体被广泛应用于集成电路、光电子器件、电力电子等领域，因此必须保证半导体晶体的纯度。目前主流的半导体晶体生长技术是物理气相输运法，即在高温下使半导体原料升华产生的气相源输运至籽晶处重新结晶而成。物理气相输运法制备半导体晶体的过程中需要大量石墨件，如石墨坩埚、石墨保温桶等，因此石墨件的湿度对半导体晶体质量有着很大的影响。
[0003]目前，石墨件主要存放于储物箱中或PE袋中。然而，当石墨件存放于储物箱中时，无法保证储物箱中的湿度，因此无法确保石墨件的干燥程度，此外，随着取放石墨件的次数增多，储物箱中可能会进入杂质而污染石墨件，进而影响长晶质量；当石墨件存放于PE袋中时，难以对PE袋彻底抽真空，且存取过程复杂。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本申请提出了一种石墨件储存装置。该石墨件储存装置有利于使石墨件受热均匀，将石墨件中的水分彻底蒸发至气体中，保证石墨件处于干燥状态；此外，还可以避免污染石墨件，确保石墨件的洁净，从而可以保证后续晶体生长的质量。
[0005]根据本申请的一个方面，提供了一种石墨件储存装置，其包括：
[0006]储存主体，所述储存主体内部形成储存腔室，所述储存腔室一侧设置有惰性气体进气口，另一侧设置有惰性气体出气口；
[0007]干燥组件，所述干燥组件包括设置在所述储存腔室外侧的加热装置，所述加热装置靠近所述惰性气体进气口设置；/>[0008]动力装置，所述动力装置设置在所述储存腔室的内部，用于使所述储存腔室内的气体从所述惰性气体进气口流向所述惰性气体出气口。
[0009]可选地，所述干燥组件还包括若干进气管和若干出气管，每根所述进气管通过所述惰性气体进气口与所述储存腔室连通，每根所述出气管通过所述惰性气体出气口与所述储存腔室连通；
[0010]所述干燥组件还包括设置在所述储存腔室外侧的循环腔室，所述循环腔室的一端与每根所述进气管相连，另一端与每根所述出气管相连。
[0011]可选地，每根所述进气管包括相连的第一管道和第二管道，所述第一管道均匀设置在所述储存腔室的底壁，所述第二管道与所述循环腔室连通；
[0012]每根所述出气管包括相连的第三管道和第四管道，所述第三管道均匀设置在所述储存腔室的顶壁，所述第四管道与所述循环腔室连通。
[0013]可选地，每根所述第一管道均匀设置有若干进气通孔，每根所述第三管道均匀设置有若干出气通孔。
[0014]可选地，每根所述第二管道的外周设置有一圈电加热丝。
[0015]可选地，所述干燥组件还包括真空泵，所述真空泵通过抽气孔与所述储存腔室相连。
[0016]可选地，所述干燥组件还包括储气罐和回收管，所述储气罐的出气阀门与所述第二管道相连，所述储气罐的进气阀门通过所述回收管与所述真空泵相连。
[0017]可选地，所述循环腔室内设置有冷凝组件。
[0018]可选地，所述储存腔室内设置有支架，所述支架上设置有至少一层放置板，每层所述放置板分别开设有若干透气孔。
[0019]可选地，所述储存主体包括壳体和腔室门，所述壳体的两侧分别设置有导轨，所述腔室门与所述导轨滑动连接。
[0020]本申请能产生的有益效果包括但不限于：
[0021]1.本申请所提供的石墨件储存装置，通过将加热装置靠近惰性气体进气口设置，将惰性气体加热后进入储存腔室内，从而利用惰性气体的热量加热石墨件，由于惰性气体导热系数小，散热慢，因此有利于使石墨件受热均匀，将石墨件中的水分彻底蒸发至气体中，保证石墨件处于干燥状态，此外，利用惰性气体加热石墨件还可以避免污染石墨件，确保石墨件的洁净，从而可以保证后续晶体生长的质量；通过设置惰性气体进气口和惰性气体出气口，从而使干燥的惰性气体不断置换出储存腔室内的湿润气体，保证石墨件储存于干燥的环境中；通过设置动力装置，有利于控制储存腔室内惰性气体的流向，使储存腔室内湿润气体及时从惰性气体出气口排出，有利于提高石墨件的干燥效率，同时进一步保证石墨件的干燥。
[0022]2.本申请所提供的石墨件储存装置，通过设置若干进气管和若干出气管，从而使惰性气体通过不同位置的进气管进入储存腔室内，并经过不同位置的出气管排出，从而保证储存腔室内不同位置的气体都处于流动状态，避免出现流动死区，保证储存腔室内的干燥状态，进而保证石墨件的干燥程度；通过设置循环腔室，从而将储存腔室与外界空气隔绝，防止外界的水分进入储存腔室内，进一步保证石墨件储存于干燥的环境中，避免石墨件吸附水分从而影响后续生长得到的长晶质量；此外，通过设置循环腔室的一端与每根进气管相连，另一端与每根出气管相连，使储存腔室内的惰性气体通过出气管进入循环腔室内，利用循环腔室与储存腔室的温度差，使储存腔室排出的惰性气体中的水蒸气在循环腔室内冷凝，然后再次经过进气管进入循环腔室内，从而使惰性气体不断被循环利用，提高了经济效益。
[0023]3.本申请所提供的石墨件储存装置，通过将多根第一管道均匀设置在储存腔室的底壁，多根第三管道设置在储存腔室的顶壁，从而减少储存腔室内气体流动的死区，增加了储存腔室内的储存空间。
[0024]4.本申请所提供的石墨件储存装置，通过在每根第二管道的外周设置一圈电加热丝，从而均匀加热每根第二管道内的惰性气体，保证储存腔室内气体的温度均匀，进而保证不同位置处的石墨件的干燥状态相同。
[0025]5.本申请所提供的石墨件储存装置，通过在循环腔室内设置冷凝组件，可以进一步提高惰性气体中的水分在储存腔室内的冷凝效率，使水分彻底被冷凝，避免惰性气体中残余水分通过惰性气体进气口再次进入储存腔室内，确保储存腔室内的干燥。
[0026]6.本申请所提供的石墨件储存装置，通过在储存腔室内设置有至少一层放置板的支架，从而增加了储存腔室内的储存空间；通过在放置板开设有若干透气孔，从而保证石墨件底部的水分也可以被有效蒸发，从而确保石墨件整体都处于彻底干燥状态。
附图说明
[0027]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0028]图1为本申请实施例涉及的石墨件储存装置的立体示意图；
[0029]图2为本申请实施例涉及的石墨件储存装置的后视立体示意图；
[0030]图3为本申请实施例涉及的石墨件储存装置的正视图；
[0031]图4为本申请实施例涉及的石墨件储存装置的侧视图。
具体实施方式
[0032]为了更清楚的阐释本申请的整体构思，下面结合说明书附图以示例的方式进行详细说明。
[0033]为了能够更清楚地理解本申请的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本申请进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨件储存装置，其特征在于，包括：储存主体，所述储存主体内部形成储存腔室，所述储存腔室一侧设置有惰性气体进气口，另一侧设置有惰性气体出气口；干燥组件，所述干燥组件包括设置在所述储存腔室外侧的加热装置，所述加热装置靠近所述惰性气体进气口设置；动力装置，所述动力装置设置在所述储存腔室的内部，用于使所述储存腔室内的气体从所述惰性气体进气口流向所述惰性气体出气口。2.根据权利要求1所述的石墨件储存装置，其特征在于，所述干燥组件还包括若干进气管和若干出气管，每根所述进气管通过所述惰性气体进气口与所述储存腔室连通，每根所述出气管通过所述惰性气体出气口与所述储存腔室连通；所述干燥组件还包括设置在所述储存腔室外侧的循环腔室，所述循环腔室的一端与每根所述进气管相连，另一端与每根所述出气管相连。3.根据权利要求2所述的石墨件储存装置，其特征在于，每根所述进气管包括相连的第一管道和第二管道，所述第一管道均匀设置在所述储存腔室的底壁，所述第二管道与所述循环腔室连通；每根所述出气管包括相连的第三管道和第四管道，所述第三管道均匀设置在所述储存腔室的顶壁，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭德华，李斌，刘宝凌，许长波，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：