一种低温探针台的工件容载腔体制造技术

本发明专利技术提供了一种低温探针台的工件容载腔体，涉及低温探针台技术领域，支杆末端均嵌入设置于腔体内侧，且载物台外壁四侧均开有开口，对工件的四侧进行稳固，工件不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况，并且不妨碍正常的检测工作，撑板前端开有滑道，且撑板前端滑动连接有连接板，连接板后端固定有与其为一体的滑块，且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接，通过连接板支撑显微镜的上下移动，便于检测人员使用显微镜对工件进行观察，解决了工件在进行低温探针时不便于被固定好，以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况，造成工作的不便，并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察，显微镜不易垂直对工件进行成像的问题。显微镜不易垂直对工件进行成像的问题。显微镜不易垂直对工件进行成像的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种低温探针台的工件容载腔体


[0001]本专利技术涉及低温探针台
，尤其是涉及一种低温探针台的工件容载腔体。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，而低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料(薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等)提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台，现有的低温探针台的工件容载腔体结构单一，工件在进行低温探针时不便于被固定好，以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况，造成工作的不便，并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察，显微镜不易垂直对工件进行成像。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是：工件在进行低温探针时不便于被固定好，以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况，造成工作的不便，并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察，显微镜不易垂直对工件进行成像，针对现有技术存在的问题，提供了一种低温探针台的工件容载腔体。
[0004]本专利技术要解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种低温探针台的工件容载腔体，包括腔体和撑板，所述撑板焊接在腔体后端；
[0005]所述腔体内部设有载物台，且载物台底端四侧均固定连接有支杆，所述支杆末端均嵌入设置于腔体内侧，且载物台外壁四侧均开有开口，所述载物台顶面且位于开口正上方均开有活动槽，且开口内部均设置有螺杆，所述螺杆中心均穿插有转芯，且活动槽内部均滑动连接有卡板，所述卡板外侧均固定有与其为一体的齿条；
[0006]所述撑板前端开有滑道，且撑板前端滑动连接有连接板，所述连接板后端固定有与其为一体的滑块，且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接。
[0007]优选的，所述腔体外壁四侧均开有连接口，并开口和连接口交替分布，且载物台通过支杆与腔体连接。
[0008]优选的，所述开口与活动槽之间相互贯通，且卡板均呈“L”形状，所述螺杆通过转芯与开口转动连接，且螺杆后端凸出并延伸至活动槽内。
[0009]优选的，所述齿条与螺杆相互卡接，且卡板在活动槽内部上下移动。
[0010]优选的，所述卡板之间呈环形排布。
[0011]优选的，所述滑道内部和滑块后端均开有对应口，且滑道内的对应口数量为若干个并呈垂直排布。
[0012]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0013]检测人员将工件拿起并放置到载物台上，工件放置好后，检测人员再分别划动螺杆，螺杆在转动的同时，卡板会随螺杆的转动而进行移动，可通过螺杆来调整卡板将载物台
上的工件卡好，检测人员按照此方法将所有的卡板往下移动，四个卡板分别卡住工件的四侧，对工件进行稳固，工件在检测过程中就不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况，并且不妨碍正常的检测工作。
[0014]检测人员可先行将观察用显微镜连接在连接板上，并且显微镜的镜头垂直向下朝向于载物台，可使用显微镜对工件进行观察，将对应口内的螺栓拧下，滑块即可在滑道内进行滑动，让显微镜的镜头向下靠近工件，检测人员移动显微镜至合适的状态后，可再次将外部的螺栓拧入到相对应的两个对应口当中，固定好滑块当前的位置，通过连接板支撑显微镜的上下移动，便于检测人员使用显微镜对工件进行观察。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本专利技术的载物台结构示意图；
[0017]图3为本专利技术的载物台结构局部放大示意图；
[0018]图4为本专利技术的卡板结构示意图；
[0019]图5为本专利技术的螺杆结构示意图；
[0020]图6为本专利技术的撑板结构示意图。
[0021]图中标记：腔体1、连接口101、载物台2、支杆201、开口202、活动槽203、卡板3、齿条301、螺杆4、转芯401、撑板5、滑道501、对应口502、连接板6、滑块601。
具体实施方式
[0022]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0023]请参阅图1-图6，本专利技术提供一种低温探针台的工件容载腔体，包括腔体1和撑板5，所述撑板5焊接在腔体1后端，下面对一种低温探针台的工件容载腔体的各个部件进行详细描述：
[0024]所述腔体1内部设有载物台2，且载物台2底端四侧均固定连接有支杆201，所述支杆201末端均嵌入设置于腔体1内侧，且载物台2外壁四侧均开有开口202，所述载物台2顶面且位于开口202正上方均开有活动槽203，且开口202内部均设置有螺杆4，所述螺杆4中心均穿插有转芯401，且活动槽203内部均滑动连接有卡板3，所述卡板3外侧均固定有与其为一体的齿条301，首先检测人员应当将低温探针的各个结构安装好，所述腔体1外壁四侧均开有连接口101，并开口202和连接口101交替分布，且载物台2通过支杆201与腔体1连接，把探针结构安装于连接口101当中，并且探针会位于腔体1内部，所述卡板3之间呈环形排布，探针分别位于卡板3之间的空间即可，探针结构安装好后，进入到检测工序，工件削切成圆盘形较便于检测人员的检测工作，检测人员将工件拿起并放置到载物台2上，工件放置好后，检测人员再分别划动螺杆4，所述开口202与活动槽203之间相互贯通，且卡板3均呈“L”形状，所述螺杆4通过转芯401与开口202转动连接，且螺杆4后端凸出并延伸至活动槽203内，螺杆4通过转芯401在开口202当中进行旋转，所述齿条301与螺杆4相互卡接，且卡板3在活动槽203内部上下移动，并且因为螺杆4与卡板3之间卡接，而螺杆4外壁又开有若干圈倾斜
状的螺纹，所以螺杆4在转动的同时，卡板会随螺杆4的转动而进行移动，工件被放置到载物台2之前，卡板3为最高位置，以确保工件被顺利放入，工件放置好分别后，检测人员可通过螺杆4来调整卡板3将载物台2上的工件卡好，呈“L”形状的卡板3恰好把工件卡在内侧，检测人员按照此方法将所有的卡板3往下移动，四个卡板3分别卡住工件的四侧，对工件进行稳固，工件在检测过程中就不会出现滑动甚至是掉落出载物台2的情况，连接口101与卡板3之间位置交替排布，探针朝向于工件为被卡板3卡住的位置，不妨碍正常的检测工作；
[0025]所述撑板5前端开有滑道501，且撑板5前端滑动连接有连接板6，所述连接板6后端固定有与其为一体的滑块601，且滑块601位于滑道501内部并与滑道501滑动连接，连接板6表面均匀开有若干个对应口502，检测人员可先行将观察用显微镜连接在连接板6上，并且显微镜的镜头垂直向下朝向于载物台2，检测人员可将滑块601滑动至滑道501的顶部，所述滑道501内部和滑块601后端均开有对应口502，且滑道501内的对应口502数量为若干个并呈垂直排布，滑块601上的对应口502会与滑道501上位置最高的对应口502相互对应，检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温探针台的工件容载腔体，包括腔体(1)和撑板(5)，所述撑板(5)焊接在腔体(1)后端，其特征在于：所述腔体(1)内部设有载物台(2)，且载物台(2)底端四侧均固定连接有支杆(201)，所述支杆(201)末端均嵌入设置于腔体(1)内侧，且载物台(2)外壁四侧均开有开口(202)，所述载物台(2)顶面且位于开口(202)正上方均开有活动槽(203)，且开口(202)内部均设置有螺杆(4)，所述螺杆(4)中心均穿插有转芯(401)，且活动槽(203)内部均滑动连接有卡板(3)，所述卡板(3)外侧均固定有与其为一体的齿条(301)；所述撑板(5)前端开有滑道(501)，且撑板(5)前端滑动连接有连接板(6)，所述连接板(6)后端固定有与其为一体的滑块(601)，且滑块(601)位于滑道(501)内部并与滑道(501)滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种低温探针台的工件容载腔体，其特征在于：所述腔体(1)外壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晓婷，
申请(专利权)人：上海柯舜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：