一种弯管内壁类金刚石碳基涂层沉积方法技术

本发明专利技术涉及一种弯管内壁类金刚石碳基涂层沉积方法，该方法包括以下步骤：

【技术实现步骤摘要】
一种弯管内壁类金刚石碳基涂层沉积方法


[0001]本专利技术涉及管类工件内壁表面改性领域，尤其涉及一种弯管内壁类金刚石碳基涂层沉积方法。

技术介绍

[0002]弯管系列管道配件产品广泛应用于石油、化工、医药、电力、航天、消防、军工、冶金、造船、燃气、核电、城建、水暖及环境保护等行业建设和检验的需要。弯管的质量直接影响到这些行业的产品的结构合理性、安全性和可靠性。通常，在弯管加工过程中，由于工艺条件和操作等原因会使得弯管产生各种程度不同的缺陷，同时由于其通常服役于高强度、腐蚀与摩擦共存的工况环境，而这些缺陷往往会成为起始失效点，并且向四周扩散从而直接影响产品的安全性，同时也会降低其服役寿命。
[0003]表面处理技术是一种减弱这些缺陷对弯管性能影响的有效手段。例如热喷涂、电镀和堆焊等技术。但喷涂内壁涂层技术对管道内径有要求，如采用先进等离子喷涂设备的内孔喷枪在管道内壁喷涂耐磨涂层，该技术适合长度小于600mm、内径大于160mm 的管道。另外，由于等离子喷涂涂层结合强度较低，不适合短管道组焊成长管道的情况，在焊接时，由于局部高温涂层容易脱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种弯管内壁类金刚石碳基涂层沉积方法，包括以下步骤：
⑴
将弯管工件抛光处理并清洗后，装入等离子体化学气相沉积室的真空腔内；
⑵
通入氩气，在弯管内壁进行氩等离子体轰击清洗和预热管内壁；
⑶
引入硅烷，在弯管内壁进行原位等离子体浸没注入硅元素，沉积得到厚度为50~1000 nm的硅中间层；
⑷
将弯管作为阴极，在管件上施加负脉冲偏压，保持氩气、硅烷气流量不变，交替通入不同流量的乙炔，最终在弯管内壁获得厚度为10~20 μm的掺硅类金刚石碳基涂层。2.如权利要求1所述的一种弯管内壁类金刚石碳基涂层沉积方法，其特征在于：所述步骤
⑴
中弯管的形状包含直角管和U型管，且其直径为10~100 mm。3.如权利要求1所述的一种弯管内壁类金刚石碳基涂层沉积方法，其特征在于：所述步骤
⑵
中清洗条件是指对弯管施加5~10 kV的负脉冲偏压，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张广安，魏徐兵，尚伦霖，
申请(专利权)人：中国科学院兰州化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：