显示面板及其制作方法、以及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种显示面板及其制作方法、以及显示装置。在一具体实施方式中，该显示面板包括：层叠设置在衬底上的驱动电路层、无机保护层、树脂层和发光器件层，驱动电路层包括金属氧化物薄膜晶体管，还包括：设置在树脂层与发光器件层之间的盖式保护层，盖式保护层为疏水性的无机层。该实施方式通过在设置于显示面板的无机保护层上的树脂层上增加疏水性的盖式保护层，使得在阻挡水汽渗入金属氧化物薄膜晶体管的同时以树脂层阻挡形成盖式保护层时沉积的离子化氢，从而保护金属氧化物薄膜晶体管，具有广泛的应用前景。具有广泛的应用前景。具有广泛的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
显示面板及其制作方法、以及显示装置


[0001]本专利技术涉及显示
更具体地，涉及一种显示面板及其制作方法、以及显示装置。

技术介绍

[0002]金属氧化物薄膜晶体管兼具了非晶硅薄膜晶体管较好均匀性和多晶硅薄膜晶体管较高载流子迁移率的优点，同时，电应力下的长期稳定性较好，较大禁带宽度的特点使金属氧化物拥有高可见光透过率，使其适用于未来的全透明显示技术。
[0003]采用金属氧化物薄膜晶体管的显示面板，金属氧化物薄膜晶体管受水汽渗透的影响比较大，当发生水汽渗透时，金属氧化物薄膜晶体管的阈值电压将发生负漂移且将发生导体化现象，金属氧化物薄膜晶体管的特性发生劣化。
[0004]目前，为了降低成本，显示面板多应用阵列基板栅极驱动器(Gate Driver on Array,GOA)，将GOA设置在显示面板最外围的非显示区，而该区域封装相对薄弱，更易发生水汽渗透，降低金属氧化物薄膜晶体管的特性。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种，以解决现有技术存在的问题中的至少一个。
[0006]为达到上述目的，本专利技术采用下述技术方案：
[0007]本专利技术第一方面提供了一种显示面板，包括层叠设置在衬底上的驱动电路层、无机保护层、树脂层和发光器件层，驱动电路层包括金属氧化物薄膜晶体管，还包括：
[0008]设置在树脂层与所述发光器件层之间的盖式保护层，盖式保护层为疏水性的无机层。
[0009]在一些可选的实施例中，盖式保护层的材料为SiNx。<br/>[0010]在一些可选的实施例中，还包括阵列排布的且贯穿盖式保护层和树脂层的氢释放孔，用于释放制程中的离子化氢以避免与金属氧化物薄膜晶体管进行氧化反应。
[0011]在一些可选的实施例中，显示面板包括显示区和非显示区，氢释放孔包括设置在显示区的第一氢释放孔和设置在非显示区的第二氢释放孔，其中，
[0012]在显示区，发光器件层包括像素界定层，第一氢释放孔与像素界定层对应设置，像素界定层在所述衬底上的正投影覆盖第一氢释放孔在衬底上的正投影；
[0013]在非显示区，第二氢释放孔与第一氢释放孔对应设置。
[0014]在一些可选的实施例中，盖式保护层是在大于等于180
°
且小于等于250
°
的条件下通过化学气相沉积工艺形成在树脂层上的。
[0015]在一些可选的实施例中，
[0016]金属氧化物薄膜晶体管的有源层材料选自：氧化锌、氧化铟、氧化铟镓锌、氧化锌锡、氧化铟锌、氧化铟锌锡、氧化锡，氧化亚锡、氧化亚铜中的至少一种；
[0017]和/或
[0018]显示面板为OLED显示面板、LCD显示面板、Mini led显示面板或者Micro led显示面板。
[0019]本专利技术第二方面提供一种显示装置，包括上文所述的显示面板。
[0020]本专利技术第三方面提供一种显示面板的制作方法，包括：
[0021]在衬底上形成驱动电路层，驱动电路层包括金属氧化物薄膜晶体管；
[0022]在驱动电路层上形成无机保护层；
[0023]在无机保护层上形成树脂层；
[0024]在树脂层上形成盖式保护层，盖式保护层为疏水性的无机层；以及
[0025]在盖式保护层上形成发光器件层。
[0026]在一些可选的实施例中，在树脂层上形成盖式保护层，盖式保护层为疏水性的无机层之后，在盖式保护层上形成发光器件层之前，还包括：
[0027]图案化盖式保护层和树脂层形成贯穿盖式保护层和树脂层的氢释放孔，显示面板包括显示区和非显示区，氢释放孔包括设置在显示区的第一氢释放孔和设置在非显示区的第二氢释放孔，其中，
[0028]在显示区，发光器件层包括像素界定层，第一氢释放孔与像素界定层对应设置，像素界定层在衬底上的正投影覆盖第一氢释放孔在衬底上的正投影；
[0029]在非显示区，第二氢释放孔与第一氢释放孔对应设置。
[0030]在一些可选的实施例中，盖式保护层的材料为SiNx，在树脂层上形成盖式保护层，盖式保护层为疏水性的无机层进一步包括：
[0031]在大于等于180
°
且小于等于250
°
的条件下在树脂层上通过化学气相沉积工艺形成盖式保护层。
[0032]本专利技术的有益效果如下：
[0033]本专利技术针对目前现有的问题，制定一种显示面板及其制作方法、以及显示装置，并通过在设置于显示面板的无机保护层上的树脂层上增加疏水性的盖式保护层，使得在阻挡水汽渗入金属氧化物薄膜晶体管的同时以树脂层阻挡形成盖式保护层时沉积的离子化氢，从而既保护金属氧化物薄膜晶体管不受水汽影响性能，同时能够避免盖式保护层沉积的离子化氢与薄膜晶体管中的氧气反应而带来影响性能的新威胁，从而能够为金属氧化物薄膜晶体管提供良好的保护，保证器件性能稳定性，具有广泛的应用前景。
附图说明
[0034]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0035]图1的(a)示出现有技术的显示面板中渗入的水汽对金属氧化物薄膜晶体管的特性造成的影响的仿真图。
[0036]图1的(b)示出现有技术的显示面板中在无机保护层上直接施加疏水性无机层对金属氧化物薄膜晶体管的特性造成的影响的仿真图。
[0037]图2示现有技术显示面板的示意性剖视图。
[0038]图3示出根据本专利技术实施例的显示面板的示意性俯视图。
[0039]图4示出沿图3中的AA
′
截取的根据本专利技术实施例的显示面板的示意性剖视图。
[0040]图5示出根据本专利技术的实施例的制作显示面板的方法的示意性流程图。
具体实施方式
[0041]为了更清楚地说明本专利技术，下面结合实施例和附图对本专利技术做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本专利技术的保护范围。
[0042]需要说明的是，本专利技术中描述的“具有”、“包含”、“包括”等均为开式的含义，即，当描述模块“具有”、“包含”或“包括”第一元件、第二元件和/或第三元件时，表示该模块除了第一元件、第二元件和/或第三元件外还包括其他的元件。另外，本专利技术中“第一”、“第二”和“第三”等序数词并不旨在限定具体的顺序，而仅在于区分各个部分。
[0043]本专利技术中所述的“在
……
上”、“在
……
上形成”和“设置在
……
上”可以表示一层直接形成或设置在另一层上，也可以表示一层间接形成或设置在另一层上，即两层之间还存在其它的层。
[0044]在附图中，有时为了明确起见，夸大表示了各构成要素的大小、层的厚度或区域。因此，本专利技术的一个方式并不一定限定于该尺寸，附图中各部件的形状和大小不反映真实比例。此外，附图示意性地示出了理想的例子，本专利技术的一个方式不局限本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，包括层叠设置在衬底上的驱动电路层、无机保护层、树脂层和发光器件层，所述驱动电路层包括金属氧化物薄膜晶体管，其特征在于，还包括：设置在所述树脂层与所述发光器件层之间的盖式保护层，所述盖式保护层为疏水性的无机层。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述盖式保护层的材料为SiNx。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，还包括阵列排布的且贯穿所述盖式保护层和所述树脂层的氢释放孔，用于释放制程中的离子化氢以避免与金属氧化物薄膜晶体管进行氧化反应。4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括显示区和非显示区，所述氢释放孔包括设置在显示区的第一氢释放孔和设置在非显示区的第二氢释放孔，其中，在所述显示区，所述发光器件层包括像素界定层，所述第一氢释放孔与所述像素界定层对应设置，所述像素界定层在所述衬底上的正投影覆盖所述第一氢释放孔在所述衬底上的正投影；在所述非显示区，所述第二氢释放孔与所述第一氢释放孔对应设置。5.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述盖式保护层是在大于等于180
°
且小于等于250
°
的条件下通过化学沉气相积工艺形成在所述树脂层上的。6.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述金属氧化物薄膜晶体管的有源层材料选自：氧化锌、氧化铟、氧化铟镓锌、氧化锌锡、氧化铟锌、氧化铟锌锡、氧化锡，氧化亚锡、氧化亚铜中的至少一种；和/或所述显示面板为OLED显示面板、LCD显示面板、Mini led...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔容豪，玄丽燕，王明，胡迎宾，赵策，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：