【技术实现步骤摘要】
一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法
[0001]本专利技术涉及一种氢气传感器，尤其涉及一种用于泄漏检测的氢气传感器及其敏感元件的制备方法。
技术介绍
[0002]在自动化生产的过程中，工业检漏已成为保证器件和系统密封性必不可少的实用技术，可广泛应用于航空航天、电子工业、电力工业级制冷工业等领域。
[0003]传统的工业检漏方法包括压差法、水检法、超声波法以及示踪气体法。压差法检测速率较低，需要放置一定时间，与水检法的检测灵敏度相当，仅可检到10
‑1Pa
·
m3/s。超声波法可检到10
‑2Pa
·
m3/s左右的最小漏率。示踪气体法是目前工业检漏方法中灵敏度最高的方法，可检到低于10
‑5Pa
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m3/s的漏率。示踪气体法所用示踪气体包括放射性气体、卤素气体、氦气以及氢气，其中氦气检漏法是灵敏度最高的一种检漏方法，但是氦气检漏成本较高，氦气是我国稀有资源，长期受进口约束，且氦质谱检漏仪需要配合真空系统来实现，导致高精密检漏技...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于泄漏检测的氢气传感器，其特征在于包括一个气室，气室的顶部设有一个进气口和两个测量探针，气室的底部设有一个出气口和两个加热探针，气室内设有一个挡在进气口和出气口之间的敏感元件，敏感元件包括基板及设在基板正面的测量电极、设在基板背面的加热电极，测量电极的两端分别和两个测量探针相连，加热电极的两端分别和两个加热探针相连，加热电极上覆盖有屏蔽层，测量探针、加热探针还分别和位于气室外的信号电路电连接。2.根据权利要求1所述的一种用于泄漏检测的氢气传感器，其特征在于所述的基板为氧化硅基片，所述的测量电极是由多壁碳纳米管负载钯
‑
金核壳粒子粉末镀膜而成的氢敏薄膜。3.根据权利要求1所述的一种用于泄漏检测的氢气传感器，其特征在于所述的加热电极是通过真空溅射形成的铂薄膜；所述的屏蔽层是通过脉冲激光沉积形成的氮化硅薄膜。4.根据权利要求1或2或3所述的一种用于泄漏检测的氢气传感器，其特征在于所述的测量电极包括多个等间距平行设置的直线段，相邻直线段的头部之间及尾部之间交错连接有圆弧线段，即测量电极呈蛇形弯曲布置；所述的加热电极的形状和测量电极的形状相同。5.根据权利要求1或2或3所述的一种用于泄漏检测的氢气传感器，其特征在于所述的气室的侧壁上设有两个对称设置的凸台，所述的基板的边缘有两个对称设置的凹槽，两个凹槽分别固定在两个凸台上，基板的边缘和气室的侧壁之间有间隙。6.根据权利要求1所述的一种用于泄漏检测的氢气传感器，其特征在于所述的信号电路包括恒压输出单元及依次相连的阻抗变换单元、滤波单元、三级放大单元、模数转换单元和串行接口，阻抗变换单元的输入端和所述的测量探针相连，恒压输出单元的输出端和所述的加热探针相连。7.一种如权利要求1所述的用于泄漏检测的氢气传感器的敏感元件的制备方法，其特征在于在所述的基板的正面制备所述的测量电极，在基板的背面制备所述的加热电极，测量电极的制备方法包括下列步骤：
①
制备金核种子混合液；
②
制备游离钯离子溶液；
③
制备金核钯壳胶体溶液；
④
制备多壁碳纳米管负载钯
‑
金核壳粒子粉末；
⑤
将多壁碳纳米管负载钯
‑
金核壳粒子粉末作为溅射靶材，采...
【专利技术属性】
技术研发人员：何镧，刘佳琪，王成宇，黄雷，
申请(专利权)人：杭州超钜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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