【技术实现步骤摘要】
一种新型异形靶材模压工装
[0001]本技术属于冲压金属
,具体为一种新型异形靶材模压工装。
技术介绍
[0002]目前溅射靶材在集成电路、平板显示器、太阳能电池、信息存储等领域应用广泛,但是现在通常所使用的工艺中,存在原材料的损耗大、后续物料车削过程中的刀具寿命损耗高且生产加工效率等问题。
[0003]针对这些问题,我们提出了一种新型异形靶材模压工装,使物料在上凸模施加的压力下,在上下模的特定形状内进行延展变形,得到外观近似于成品外观的坯料;不仅大幅减低原材料损耗,而且具有减少后续物料车削过程中的刀具寿命损耗、并大幅提高此异形靶材的生产加工效率等优点。
技术实现思路
[0004]针对
技术介绍
中存在的问题,本技术提供了一种新型异形靶材模压工装,其特征在于,包括:下凹模组和上凸模组,其中上凸模组包括:上凸模底座、上凸台和圆台,呈扁圆柱状的上凸台和圆台自上而下与上凸模底座的下端面一体固接;下凹模组包括:下凹模底座、下凸台和凹模,呈扁圆柱状的下凸台与下凹模底座的上端面一体固接,凹模设置于下凸台的中央,沿凹 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型异形靶材模压工装,其特征在于,包括:下凹模组(2)和上凸模组(1),其中上凸模组(1)包括:上凸模底座(11)、上凸台(12)和圆台(13),呈扁圆柱状的上凸台(12)和圆台(13)自上而下与上凸模底座(11)的下端面一体固接;下凹模组(2)包括:下凹模底座(21)、下凸台(22)和凹模(23),呈扁圆柱状的下凸台(22)与下凹模底座(21)的上端面一体固接,凹模(23)设置于下凸台(22)的中央,沿凹模(23)的底面外周设有凹模台阶(231)。2.根据权利要求1所述的一种新型异形靶材模压工装,其特征在于,所述上凸模组(1)安装于上压座(3)的下方。3.根据权利要求1所述的一种新型异形靶材模压工装,其特征在于,所述下凹模...
【专利技术属性】
技术研发人员:王绍帅,李玉鹏,宋艳青,董泽坤,谢书育,刘勇,曾浩,贺昕,
申请(专利权)人:有研亿金新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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