FOSB全自动撑袋套袋装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种FOSB全自动撑袋套袋装置，包括放料机架、撑袋机架、包装袋储料机架、FOSB放置台、FOSB水平推送装置、干燥剂料仓、湿度卡料仓、抓取装置、搬运装置、交接撑口装置、压袋过渡装置、包装传送带、袋尾定位装置、底部吸盘装置和上部移袋吸袋装置，所述放料机架和包装袋储料机架依次设置在撑袋机架的两侧，包装袋堆叠在包装袋储料机架上；所述FOSB放置台、FOSB水平推送装置、干燥剂料仓、湿度卡料仓和搬运装置均安装在放料机架上；所述袋尾定位装置、包装传送带、底部吸盘装置和压袋过渡装置沿一条直线方向依次安装在撑袋机架上；本实用新型专利技术整体机构简单紧凑，能够实现FOSB的自动套袋操作，提高了FOSB的套袋效率和FOSB包装的整体效率。FOSB包装的整体效率。FOSB包装的整体效率。

【技术实现步骤摘要】
FOSB全自动撑袋套袋装置


[0001]本技术涉及晶圆包装盒套袋领域，更具体的说，尤其涉及一种FOSB全自动撑袋套袋装置。

技术介绍

[0002]晶圆指的是硅半导体集成电路所制成的硅芯片，由于其形状为圆形，故被称为晶圆，晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义上的晶圆基本上指的是单晶硅圆片，单晶归元片由普通硅砂垃制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一些列错失后支撑单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后就成了晶圆。随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增加，要实现多层布线，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和清洁度，而为了实现晶圆表面的平整度、光滑度和清洁度，其运输过程中必然不能像普通设备一样随意包装，因此采用专用的晶圆包装盒就显得尤为必要。
[0003]晶圆包装盒，又被称为FOSB（Front Opening Shipping Box），全称前开式晶圆包装盒，可保护、运输并存储晶圆，防止晶圆在运输的过程中发生摩擦或碰撞，为晶圆运输传输及储存时提供安全防护。晶圆包装盒的气密度很好，能够有效防止物质的产生。
[0004]现有的前开式晶圆运输盒在存储运输前都需要进行包装操作，目前的晶圆包装基本都采用人工包装，整个包装过程包括包装袋整形并放入前开式晶圆运输盒、对包装袋进行热真空热封、包装袋再整形、包装袋表面缠绕胶带和贴标签这五个步骤，其中，包装袋整形并放入前开式晶圆运输盒这一步骤基本采用人工手动完成，生产效率低，自动化程度低，无法适应如今自动化生产的需求。
技术内容
[0005]本技术的目的在于解决现有FOSB的套袋采用人工手动完成导致的生产效率低、自动化程度低的问题，提出了一种FOSB全自动撑袋套袋装置，能够实现FOSB的自动套袋操作，提高了FOSB的套袋效率和FOSB包装的整体效率。
[0006]本技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种FOSB全自动撑袋套袋装置，包括放料机架、撑袋机架、包装袋储料机架、FOSB放置台、FOSB水平推送装置、干燥剂料仓、湿度卡料仓、抓取装置、搬运装置、交接撑口装置、压袋过渡装置、包装传送带、袋尾定位装置、底部吸盘装置和上部移袋吸袋装置，所述放料机架和包装袋储料机架依次设置在撑袋机架的两侧，包装袋堆叠在包装袋储料机架上；所述FOSB放置台、FOSB水平推送装置、干燥剂料仓、湿度卡料仓和搬运装置均安装在放料机架上，FOSB放置台靠近撑袋机架，FOSB水平推送装置设置在FOSB放置台远离撑袋机架的一侧，FOSB水平推送装置工作时将FOSB放置台上的FOSB推向撑袋机架中；所述搬运装置设置在FOSB放置台的上方，抓取装置安装在搬运装置上，抓取装置抓取湿度卡料仓内的湿度卡和干燥剂料仓内的干燥剂，通过搬运装置的运输后将湿度卡和干燥剂放置在FOSB上；所述袋尾定位装置、包装传送带、底部吸盘装置和压袋过渡装置沿一条直线方向依次安装在撑袋机架上，包装袋平铺时同时包装袋的袋尾覆
盖在袋尾定位装置上，包装袋的中部覆盖在包装传送带和底部吸盘装置上方，包装袋的袋口端部与底部吸盘装置的边缘齐平，上部移袋吸袋装置安装在袋尾定位装置、包装传送带、底部吸盘装置和压袋过渡装置上方的撑袋机架上，上部移袋吸袋装置的移袋吸袋吸盘沿水平方向运动时经过包装袋储料机架的正上方；
[0007]所述搬运装置包括第一搬运水平直线模组、第二搬运水平直线模组、连接肋板、检测摄像头和搬运竖直直线模组，所述第一搬运水平直线模组设置有平行设置的两条，第二搬运水平直线模组垂直于第一搬运水平直线模组设置且第二搬运水平直线模组固定在两个第一搬运水平直线模组的滑块上，搬运竖直直线模组通过连接肋板固定在第二搬运水平直线模组的滑块上，抓取装置安装在搬运竖直直线模组的滑块上；搬运竖直直线模组工作时驱动抓取装置的升降，第一搬运水平直线模组和第二搬运水平直线模组工作时驱动连接肋板、搬运竖直直线模组和抓取装置组成的整体在水平方向运动，FOSB放置台、干燥剂料仓和湿度卡料仓均位于抓取装置的运动范围内；检测摄像头固定在第二搬运水平直线模组的底板中部且检测摄像头的镜头竖直朝下设置；
[0008]所述抓取装置包括抓取吸盘连接板、抓取吸盘固定板和抓取吸盘，所述抓取吸盘设置有两个且两个抓取吸盘均竖直安装在抓取吸盘固定板上，抓取吸盘的吸盘端朝下设置，抓洗吸盘固定板通过抓取吸盘连接板安装在搬运竖直直线模组的滑块上；
[0009]所述交接撑口装置包括左侧撑口第一水平直线模组、右侧撑口第一水平直线模组、左侧撑口连接板、右侧撑口连接板、左侧撑口第二水平直线模组、右侧撑口第二水平直线模组、左侧撑口连接架、右侧撑口连接架、左侧撑口直线气缸、右侧撑口直线气缸、左侧撑口夹子连接板、右侧撑口夹子连接板、左侧撑口电动夹爪和右侧撑口电动夹爪，所述左侧撑口第一水平直线模组和右侧撑口第一水平直线模组的运动方向与包装袋袋口边线平行，左侧撑口连接板固定在左侧撑口第一水平直线模组的滑块上，右侧撑口连接板固定在右侧撑口第一水平直线模组的滑块上，左侧撑口第二水平直线模组垂直于左侧撑口第一水平直线模组设置，左侧撑口第二水平直线模组固定在左侧撑口连接板上，右侧撑口第二水平直线模组垂直于右侧撑口第一水平直线模组设置，右侧撑口第二水平直线模组固定在右侧撑口连接板上；所述左侧撑口连接架固定在左侧撑口第二水平直线模组的滑块上，所述右侧撑口连接架固定在右侧撑口第二水平直线模组的滑块上，所述左侧撑口直线气缸竖直设置且左侧撑口直线气缸的顶部固定在左侧撑口连接架上，所述右侧撑口直线气缸竖直设置且右侧撑口直线气缸的顶部固定在右侧撑口连接架上，左侧撑口直线气缸的活动端通过左侧撑口夹子连接板连接左侧撑口电动夹爪，右侧撑口直线气缸的活动端通过右侧撑口夹子连接板连接右侧撑口电动夹爪；
[0010]所述上部移袋吸袋装置包括移袋吸袋水平直线模组、移袋吸袋第一竖直直线模组、移袋吸袋抓取固定板、移袋吸袋第二竖直直线模组、移袋吸袋安装板、移袋吸袋水平连接板、移袋吸袋L型吸盘安装板和移袋吸袋吸盘，所述移袋吸袋水平直线模组水平安装在撑袋机架上，移袋吸袋第一竖直直线模组竖直固定在移袋吸袋水平直线模组的滑块上，移袋吸袋抓取固定板固定在移袋吸袋第一竖直直线模组的滑块上，移袋吸袋第二竖直直线模组竖直安装在，移袋吸袋抓取固定板上，移袋吸袋安装板固定安装在移袋吸袋第二竖直直线模组的滑块上，移袋吸袋水平连接板水平安装在移袋吸袋安装板的底部；所述移袋吸袋L型吸盘安装板设置有两块且两块移袋吸袋L型吸盘安装板均呈L型，两块移袋吸袋L型吸盘安
装板对称安装在移袋吸袋安装板的底部，两块移袋吸袋L型吸盘安装板的一条侧边相互平行，移袋吸袋L型吸盘安装板的另外一条侧边相互远离；每个移袋吸袋L型吸盘安装板的两条侧边上均设置有多个移袋吸袋吸盘；
[0011]所述袋尾定位装置包括袋尾水平定位板、定位气缸、定位气缸固定支架和L型定位板，所述袋尾水平定位板上设置有两条横向定位槽和两条纵向定位槽，定位气缸通过定位气缸固定支架固定在袋尾水平定位板上，L型定位板的底板固定在定位气缸的输出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种FOSB全自动撑袋套袋装置，其特征在于：包括放料机架（1）、撑袋机架（2）、包装袋储料机架（3）、FOSB放置台（4）、FOSB水平推送装置（5）、干燥剂料仓（6）、湿度卡料仓（7）、抓取装置（8）、搬运装置（9）、交接撑口装置（10）、压袋过渡装置（11）、包装传送带（12）、袋尾定位装置（13）、底部吸盘装置（14）和上部移袋吸袋装置（15），所述放料机架（1）和包装袋储料机架（3）依次设置在撑袋机架（2）的两侧，包装袋（16）堆叠在包装袋储料机架（3）上；所述FOSB放置台（4）、FOSB水平推送装置（5）、干燥剂料仓（6）、湿度卡料仓（7）和搬运装置（9）均安装在放料机架（1）上，FOSB放置台（4）靠近撑袋机架（2），FOSB水平推送装置（5）设置在FOSB放置台（4）远离撑袋机架（2）的一侧，FOSB水平推送装置（5）工作时将FOSB放置台（4）上的FOSB（17）推向撑袋机架（2）中；所述搬运装置（9）设置在FOSB放置台（4）的上方，抓取装置（8）安装在搬运装置（9）上，抓取装置（8）抓取湿度卡料仓（7）内的湿度卡和干燥剂料仓（6）内的干燥剂，通过搬运装置（9）的运输后将湿度卡和干燥剂放置在FOSB（17）上；所述袋尾定位装置（13）、包装传送带（12）、底部吸盘装置（14）和压袋过渡装置（11）沿一条直线方向依次安装在撑袋机架（2）上，包装袋（16）平铺时同时包装袋（16）的袋尾覆盖在袋尾定位装置（13）上，包装袋（16）的中部覆盖在包装传送带（12）和底部吸盘装置（14）上方，包装袋（16）的袋口端部与底部吸盘装置（14）的边缘齐平，上部移袋吸袋装置（15）安装在袋尾定位装置（13）、包装传送带（12）、底部吸盘装置（14）和压袋过渡装置（11）上方的撑袋机架（2）上，上部移袋吸袋装置（15）的移袋吸袋吸盘（46）沿水平方向运动时经过包装袋储料机架（3）的正上方；所述搬运装置（9）包括第一搬运水平直线模组（18）、第二搬运水平直线模组（19）、连接肋板（20）、检测摄像头（75）和搬运竖直直线模组（21），所述第一搬运水平直线模组（18）设置有平行设置的两条，第二搬运水平直线模组（19）垂直于第一搬运水平直线模组（18）设置且第二搬运水平直线模组（19）固定在两个第一搬运水平直线模组（18）的滑块上，搬运竖直直线模组（21）通过连接肋板（20）固定在第二搬运水平直线模组（19）的滑块上，抓取装置（8）安装在搬运竖直直线模组（21）的滑块上；搬运竖直直线模组（21）工作时驱动抓取装置（8）的升降，第一搬运水平直线模组（18）和第二搬运水平直线模组（19）工作时驱动连接肋板（20）、搬运竖直直线模组（21）和抓取装置（8）组成的整体在水平方向运动，FOSB放置台（4）、干燥剂料仓（6）和湿度卡料仓（7）均位于抓取装置（8）的运动范围内；检测摄像头（75）固定在第二搬运水平直线模组（19）的底板中部且检测摄像头（75）的镜头竖直朝下设置；所述抓取装置（8）包括抓取吸盘连接板（22）、抓取吸盘固定板（23）和抓取吸盘（24），所述抓取吸盘（24）设置有两个且两个抓取吸盘（24）均竖直安装在抓取吸盘固定板（23）上，抓取吸盘（24）的吸盘端朝下设置，抓洗吸盘固定板（23）通过抓取吸盘连接板（22）安装在搬运竖直直线模组（21）的滑块上；所述交接撑口装置（10）包括左侧撑口第一水平直线模组（25）、右侧撑口第一水平直线模组（26）、左侧撑口连接板（27）、右侧撑口连接板（28）、左侧撑口第二水平直线模组（29）、右侧撑口第二水平直线模组（30）、左侧撑口连接架（31）、右侧撑口连接架（32）、左侧撑口直线气缸（33）、右侧撑口直线气缸（34）、左侧撑口夹子连接板（35）、右侧撑口夹子连接板（36）、左侧撑口电动夹爪（37）和右侧撑口电动夹爪（38），所述左侧撑口第一水平直线模组（25）和右侧撑口第一水平直线模组（26）的运动方向与包装袋（16）袋口边线平行，左侧撑口连接板（27）固定在左侧撑口第一水平直线模组（25）的滑块上，右侧撑口连接板（28）固定在
右侧撑口第一水平直线模组（26）的滑块上，左侧撑口第二水平直线模组（29）垂直于左侧撑口第一水平直线模组（25）设置，左侧撑口第二水平直线模组（29）固定在左侧撑口连接板（27）上，右侧撑口第二水平直线模组（30）垂直于右侧撑口第一水平直线模组（26）设置，右侧撑口第二水平直线模组（30）固定在右侧撑口连接板（28）上；所述左侧撑口连接架（31）固定在左侧撑口第二水平直线模组（29）的滑块上，所述右侧撑口连接架（32）固定在右侧撑口第二水平直线模组（30）的滑块上，所述左侧撑口直线气缸（33）竖直设置且左侧撑口直线气缸（33）的顶部固定在左侧撑口连接架（31）上，所述右侧撑口直线气缸（34）竖直设置且右侧撑口直线气缸（34）的顶部固定在右侧撑口连接架（32）上，左侧撑口直线气缸（33）的活动端通过左侧撑口夹子连接板（35）连接左侧撑口电动夹爪（37），右侧撑口直线气缸（34）的活动端通过右侧撑口夹子连接板（36）连接右侧撑口电动夹爪（38）；所述上部移袋吸袋装置（15）包括移袋吸袋水平直线模组（39）、移袋吸袋第一竖直直线模组（40）、移袋吸袋抓取固定板（41）、移袋吸袋第二竖直直线模组（42）、移袋吸袋安装板（43）、移袋吸袋水平连接板（44）、移袋吸袋L型吸盘安装板（45）和移袋吸袋吸盘（46），所述移袋吸袋水平直线模组（39）水平安装在撑袋机架（2）上，移袋吸袋第一竖直直线模组（40）竖直固定在移袋吸袋水平直线模组（39）的滑块上，移袋吸袋抓取固定板（41）固定在移袋吸袋第一竖直直线模组（40）的滑块上，移袋吸袋第二竖直直线模组（42）竖直安装在，移袋吸袋抓取固定板（41）上，移袋吸袋安装板（43）固定安装在移袋吸袋第二竖直直线模组（42）的滑块上，移袋吸袋水平连接板（44）水平安装在移袋吸袋安装板（43）的底部；所述移袋吸袋L型吸盘安装板（45）设置有两块且两块移袋吸袋L型吸盘安装板（45）均呈L型，两块移袋吸袋L型吸盘安装板（45）对称安装在移袋吸袋安...

【专利技术属性】
技术研发人员：王迪杏，计时鸣，王宁，
申请(专利权)人：无锡迪渊特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：