本实用新型专利技术提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，所述腔体结构包括测试腔体；测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽，测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口；本实用新型专利技术可以检测出测试腔体间是否放置试样，有效的避免了无效的试验和传感器的损坏；实现了无上腔测试，在进行批量测试时能够保证温湿度的一致性，实现更精确的批量测试，提高了测试精度。提高了测试精度。提高了测试精度。
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备
[0001]本技术涉及薄膜渗透测试
，特别涉及一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备。
技术介绍
[0002]本部分的陈述仅仅是提供了与本技术相关的
技术介绍
，并不必然构成现有技术。
[0003]在进行薄膜渗透检测时，现有的测试结构由测试上腔及测试下腔组成，将被测试样(薄膜)放在上下腔之间。测试时，测试上腔将被测试样压紧在下腔上。
[0004]本技术专利技术人发现：
[0005](1)现有的薄膜渗透检测产品，通常不对是否放置试样进行预先判断，直接开始测试，而在测试过程中如果上下腔之间没有放置试样，系统无法知晓，试验继续进行，轻则本次试验失败，重则导致传感器损坏；
[0006](2)现有的气体渗透测试设备大多采用测试上腔和测试下腔相结合的方式，当进行批量试样的测试时，需要保证各个测试结构的上下腔的环境一致，控制精度较低，最终的测试结果也存在较大的误差；
[0007](3)现有的气体渗透测试系统大都是将传感元件和电气元件放置在测试腔的下方，在进行温湿度的控制时，容易产生冷凝水或者出现冷却水的泄漏，进而对传感元件和电气元件产生较大的影响；
[0008](4)现有的气体渗透测试系统，测试上腔将被测试样压紧在下腔上，在更换被测试样时，都是打开测试上腔，完成试样的更换，此种结构占用空间大，两个或两个以上的多腔结构只能采用平铺方式排列，更换试样时，需要打开测试上腔，一旦操作有误，测试上腔容易滑落到测试下腔上，伤及操作人员和造成零部件的损坏。
技术实现思路
[0009]为了解决现有技术的不足，本技术提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构及薄膜渗透测试设备，可以检测出测试腔体间是否放置试样，有效的避免了无效的试验和传感器的损坏；实现了无上腔测试，在进行批量测试时能够保证温湿度的一致性，实现更精确的批量测试，提高了测试精度。
[0010]为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0011]本技术第一方面提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构。
[0012]一种薄膜渗透测试的腔体结构，包括：
[0013]测试腔体；
[0014]测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽，测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。
[0015]作为可能的一些实现方式，凹槽内设有真空环，且真空环为多孔网状支撑体。
[0016]作为可能的一些实现方式，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的闭环凹槽。
[0017]作为可能的一些实现方式，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的非闭环凹槽。
[0018]作为可能的一些实现方式，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的多个间隔设置的凹槽。
[0019]作为可能的一些实现方式，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的多个凹槽，且相邻的两个凹槽之间开有与抽气端口连通的至少一个孔。
[0020]作为可能的一些实现方式，每个测试腔体包括至少一个内腔，每个内腔对应一个独立的开口。
[0021]本技术第二方面提供了一种薄膜渗透测试的腔体结构。
[0022]一种薄膜渗透测试的腔体结构，包括：
[0023]测试腔体；
[0024]测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的多个孔，测试腔体开有与各个孔连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。
[0025]作为可能的一些实现方式，孔内设有多孔网状支撑体。
[0026]作为可能的一些实现方式，各个相邻孔之间的距离相同。
[0027]作为可能的一些实现方式，各个孔绕测试腔体的内腔开口依次设置。
[0028]作为可能的一些实现方式，相邻的两个孔之间设有与抽气端口连通的至少一个凹槽。
[0029]作为可能的一些实现方式，每个测试腔体包括至少一个内腔，每个内腔对应一个独立的开口。
[0030]本技术第三方面提供了一种薄膜渗透测试设备，包括本技术第一方面或第二方面所述的薄膜渗透测试的腔体结构。
[0031]本技术第四方面提供了一种薄膜渗透测试设备。
[0032]一种薄膜渗透测试设备，包括均含有内腔的第一仓体和第二仓体，第一仓体设置在第二仓体的上部或者侧部，第一仓体的内腔内设置有至少一个传感元件，第二仓体的内腔内设置有至少一个本技术第一方面或第二方面所述的腔体结构，第一仓体的内腔和第二仓体的内腔通过至少一条管路连通。
[0033]作为可能的一些实现方式，腔体结构所在的内腔侧壁固定有至少一个板件，至少一个腔体结构与板件上的驱动机构动端连接，腔体结构所在的内腔侧壁上开有至少一个用于腔体结构进出的通槽；
[0034]推拉件的第一端穿过通槽后与腔体结构固定连接，推拉件的第二端设有挡板且位于仓体外侧，挡板与通槽相对的一侧设有密封垫。
[0035]作为进一步的限定，包括至少两个平行的板件，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽。
[0036]作为进一步的限定，包括至少两个平行的板件，每个板件的两侧均固定有至少两条平行的分别用于载气进气管和载气出气管通过的导向槽，腔体结构所在的内腔顶壁上设有用于管路通过的槽。
[0037]作为可能的一些实现方式，腔体结构的载气出气端口通过第一金属软管与第一金
属管的一端连通，第一金属管的另一端与传感元件连通，腔体结构的载气进气端口通过第二金属软管与第二金属管的一端连通，第二金属管的另一端与载气供给装置连通，且金属软管位于腔体结构所在的内腔中。
[0038]作为可能的一些实现方式，每个独立的内腔均由隔热板围成。
[0039]作为可能的一些实现方式，每个独立的内腔的侧壁上设有温控模块，温控模块包括用于进行空间气流循环的至少一台循环风扇。
[0040]作为可能的一些实现方式，腔体结构所在内腔侧壁上开有试验气体排出口和试验气体进气口，腔体结构所在内腔设有温度传感器、湿度传感器和湿度发生装置，且湿度发生装置与试验气体进气口连通。
[0041]本技术第五方面提供了一种薄膜渗透测试设备。
[0042]一种薄膜渗透测试设备，包括含有内腔的仓体，仓体的内腔中设有板件，板件将内腔分成独立的第一内腔和第二内腔，第一内腔设置在第二内腔的上部或者侧部，第一内腔内设置至少一个传感元件，第二内腔内设置有至少一个本技术第一方面或第二方面所述的腔体结构，板件上设有至少一个用于管路通过的通孔。
[0043]作为可能的一些实现方式，腔体结构所在的内腔侧壁固定有至少一个板件，至少一个腔体结构与板件上的驱动机构动端连接，腔体结构所在的内腔侧壁上开有至少一个用于腔体结构进出的通槽；
[0044]推拉件的第一端穿过通槽后与腔体结构固定连接，推拉件的第二端设有挡板且位于仓体外侧，挡板与通槽相对的一侧设有密封垫。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种薄膜渗透测试的腔体结构，其特征在于：包括：测试腔体；测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的凹槽，测试腔体开有与凹槽连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。2.如权利要求1所述的薄膜渗透测试的腔体结构，其特征在于：凹槽内设有真空环，且真空环为多孔网状支撑体；或者，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的闭环凹槽；或者，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的非闭环凹槽；或者，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的多个间隔设置的凹槽；或者，凹槽为绕测试腔体的内腔开口的多个凹槽，且相邻的两个凹槽之间开有与抽气端口连通的至少一个孔；或者，每个测试腔体包括至少一个内腔，每个内腔对应一个独立的开口。3.一种薄膜渗透测试的腔体结构，其特征在于：包括：测试腔体；测试腔体的开口一侧开有用于与试样相对的多个孔，测试腔体开有与各个孔连通的抽气端口，测试腔体还开有分别与测试腔体的内腔连通的载气进气端口和载气出气端口。4.如权利要求3所述的薄膜渗透测试的腔体结构，其特征在于：孔内设有多孔网状支撑体；或者，各个相邻孔之间的距离相同；或者，各个孔绕测试腔体的内腔开口依次设置；或者，相邻的两个孔之间设有与抽气端口连通的至少一个凹槽；或者，每个测试腔体包括至少一个内腔，每个内腔对应一个独立的开口。5.一种薄膜渗透测试设备，其特征在于：包括权利要求1
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4任一项所述的薄膜渗透测试的腔体结构。6.一种薄膜渗透测试设备，其特征在于：包括均含有内腔的第一仓体和第二仓体，第一仓体设置在第二仓体的上部或者侧部，第一仓体的内腔内设置有至少一个传感元件，第二仓体的内腔内设置有至少一个权利要求1
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4任一项所述的腔体结构，第一仓体的内腔和第二仓体的内腔通过至少一条管路连通；或者，包括含有内腔的...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜允中，
申请(专利权)人：济南兰光机电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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