管道支架及溅镀真空管路制造技术

本发明专利技术涉及一种管道支架及使用该管道支架对真空管道进行支撑固定的溅镀真空管路，所述管道支架通过设置底座和固定座，底座与固定座之间通过支杆连接，支杆靠近底座一端可伸入底座内侧且伸入长度可通过调节件调节，从而实现支杆的升降设计，进而调节底座与固定座之间的间距，调节管道支架的整体高度，固定环的设计，可对管道进行限制、固定，避免管道因剧烈振动出现裂管。动出现裂管。动出现裂管。

【技术实现步骤摘要】
管道支架及溅镀真空管路


[0001]本专利技术涉及管道支撑
，特别涉及一种管道支架及使用该管道支架进行固定的溅镀真空管路。

技术介绍

[0002]溅镀是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。真空环境的形成，需要真空泵通过管路抽真空来实现。现有的管路固定支架，结构简单，固定支架在地面或工作面的固定方式是胶水粘附，经长时间使用，胶水风干脱胶，导致固定支架不稳固，形同虚设。而且，真空泵在抽真空时，管路振动较大，价值固定支架不稳固，存在裂管风险，造成溅镀设备宕机。

技术实现思路

[0003]本专利技术目的在于，解决现有管路固定支架不稳固的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供一种管道支架，包括：相对设置的底座和固定座，所述固定座用于支撑管道；至少一根支杆，设置于所述底座与所述固定座之间，所述支杆的一端伸入所述底座内侧且伸入长度可调，所述支杆的另一端与所述固定座连接以支撑所述固定座；以及调节件，与所述支杆连接以调节所述支杆伸入所述底座内侧的长度，调节所述底座与所述固定座之间的间距。
[0005]可选的，所述支杆的数量为两根或两根以上，间隔排布于所述底座与所述固定座之间，一根所述支杆对应一根所述调节件。
[0006]可选的，所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的块体，所述块体表面开设有与所述支杆相对应的槽孔；所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆伸入所述槽孔，所述调节件套设于所述支杆并设置于所述底座表面。
[0007]可选的，所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的箱体，所述箱体朝向所述固定座一面开设有与所述支杆相对应的通孔；所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆由所述通孔伸入所述箱体内侧，所述调节件套设于所述支杆并设置于开设所述通孔的箱体表面。
[0008]可选的，所述底板表面开设固定孔，所述固定孔内插设有固定件。
[0009]可选的，所述固定座远离所述底座一面设置有用于固定管道的固定环。
[0010]可选的，所述固定座远离所述底座一面开设有一槽体，所述固定环的一部分位于所述槽体内，所述固定环的另一部分与位于所述固定环内侧的所述固定座的上表面形成用于固定所述管道的固定腔。
[0011]可选的，所述槽体的两侧壁的上端面分别内弯形成限位部。
[0012]可选的，所述固定环远离所述槽体一端开设开口，对应所述开口两端的所述固定环分别弯折形成弯折部，两所述弯折部通过锁定件连接。
[0013]为实现上述目的，本专利技术还提供一种溅镀真空管路，所述溅镀真空管路包括前所
述的管道支架。
[0014]本专利技术的有益效果在于，本专利技术提供一种管道支架及使用该管道支架进行支撑固定的溅镀真空管路，所述管道支架通过底座、支杆、固定座以及固定环的配合对管道进行支撑和固定，降低管道振动强度，避免管道出现裂管风险，保障溅镀设备平稳运行，不会出现宕机风险；底座、支杆以及调节件的配合设计，可实现支杆的上升或下降，继而调节底座与固定座之间的间距，调节管道支架的整体高度。
附图说明
[0015]下面结合附图，通过对本专利技术的具体实施方式详细描述，将使本专利技术的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0016]图1是本专利技术一示例性实施例中的管道支架的结构示意图；
[0017]图2是本专利技术一示例性实施例中的管道支架中底座的结构示意图；
[0018]图3是本专利技术另一示例性实施例中的管道支架中底座的结构示意图。
[0019]图中部件编号如下：
[0020]100、管道支架，110、底座，111、底板，112、凸块，1121、槽孔，113、固定孔，1131、固定件，114、箱体，1141、通孔，120、固定座，121、槽体，1211、限位部，130、支杆，140、调节件，150、固定环，151、固定腔，152、开口，153、弯折部，1531、锁定件。
具体实施方式
[0021]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]所述管道支架通过设置底座和固定座，底座与固定座之间通过支杆连接，支杆靠近底座一端可伸入底座内侧且伸入长度可通过调节件调节，从而实现支杆的升降设计，进而调节底座与固定座之间的间距，调节管道支架的整体高度，固定环的设计，可对管道进行限制、固定，避免管道因剧烈振动出现裂管。作为典型应用，所述管道支架可被用于溅镀设备用真空管路，形成对溅镀真空管道的支撑、固定。
[0023]在本专利技术的一个实施例中，参照图1和图2，管道支架100包括底座110、固定座120、支杆130和调节件140。在本实施例中，底座110与固定座120相对设置，底座110在下，固定座120在上，固定座120远离底座110一面为支撑面，用于支撑管道200，支杆130竖直设置于底座110与固定座120之间，支杆130朝向底座110一端伸入底座110内侧且伸入长度可调，支杆130伸入底座110内侧的长度通过调节件140调节。
[0024]具体地，在本实施例中，参照图1和图2，底座110包括底板111及凸出设置于底板111朝向固定座120一面的凸块112，凸块112朝向固定座120一面开设槽孔1121，支杆130为螺杆，支杆130朝向底座110一端(即支杆130下端)插设于槽孔1121，调节件140为螺母，调节件140套设于支杆130上且调节件140的底面设置于底座110开设槽孔1121一面，在使用时，如果需要调节底座110与固定座120之间的间距，可旋转调节件140，由于调节件140套设在支杆130上，形成螺母(调节件140)与螺杆(支杆130)之间的螺纹连接，且调节件140设置在
底座110上表面(朝向固定座120一面)，因此，旋转调节件140，会使得所述支杆130上升(例如顺时针旋转调节件140)或下降(逆时针旋转调节件140)，即调节支杆130伸入槽孔1121内侧的长度，从而调节底座110与固定座120之间的间距，调节管道支架100的整体高度，在本实施例中，固定座120的上表面与底座110的下表面之间的间距为60～100mm。
[0025]其中，槽孔1121的内壁可设置内螺纹，与支杆130形成螺纹连接，以保证支杆130与底座110装配的稳定性，提升管道支架100的整体稳定性。
[0026]支杆130的数量为两根或两根以上，在本实施例中，支杆130的数量为3根，平行间隔排布于底座110与固定座120之间，槽孔1121的数量与支杆130的数量相对应，一根支杆130对应一个槽孔1121。
[0027]在本实施例中，位于凸块112外侧的底板111表面开设有固定孔113，固定孔113本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管道支架，其特征在于，包括：相对设置的底座和固定座，所述固定座用于支撑管道；至少一根支杆，设置于所述底座与所述固定座之间，所述支杆的一端伸入所述底座内侧且伸入长度可调，所述支杆的另一端与所述固定座连接以支撑所述固定座；以及调节件，与所述支杆连接以调节所述支杆伸入所述底座内侧的长度，调节所述底座与所述固定座之间的间距。2.如权利要求1所述的管道支架，其特征在于，所述支杆的数量为两根或两根以上，间隔排布于所述底座与所述固定座之间，一根所述支杆对应一根所述调节件。3.如权利要求2所述的管道支架，其特征在于，所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的块体，所述块体表面开设有与所述支杆相对应的槽孔；所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆伸入所述槽孔，所述调节件套设于所述支杆并设置于所述底座表面。4.如权利要求3所述的管道支架，其特征在于，所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的箱体，所述箱体朝向所述固定座一面开设有与所述支杆相对应的通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺进，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：