激光结晶化装置及利用其的显示装置的制造方法制造方法及图纸

本公开涉及一种激光结晶化装置及利用其的显示装置的制造方法。激光结晶化装置包括：激光发生器，产生激光束；光学系统，包括：第一镜，分割入射的激光束而反射第一分割激光束且使第二分割激光束透过；以及导光镜，将第一分割激光束向基板引导；以及腔室，配置在光学系统的下方，并配置有支承基板的工作台，第一镜为了调节第一分割激光束针对基板的入射角而能够进行旋转。能够进行旋转。能够进行旋转。

【技术实现步骤摘要】
激光结晶化装置及利用其的显示装置的制造方法


[0001]本公开涉及激光结晶化装置及利用其的显示装置的制造方法。更详细地，本公开涉及包括光学系统的激光结晶化装置及利用其的显示装置的制造方法。

技术介绍

[0002]为了制造包括在显示装置中的晶体管，可以使用利用激光束将非晶硅结晶化为多晶硅的准分子激光热处理方法。所述多晶硅由多个结晶粒(grain)构成，根据所述结晶粒的大小，能够决定所述晶体管的电特性(例如，所述晶体管的电子迁移率)。

技术实现思路

[0003]本公开的目的在于提供一种包括光学系统的激光结晶化装置。
[0004]本公开的另一目的在于提供一种利用所述激光结晶化装置的显示装置的制造方法。
[0005]但是，本公开的目的不限定于上述的目的，在不超出本公开的构思及领域的范围内，可以多样地扩展。
[0006]为了达到上述的本公开的一目的，可以是，根据本公开的一实施例的激光结晶化装置包括：激光发生器，产生激光束；光学系统，包括：第一镜，分割入射的所述激光束而反射第一分割激光束且使第二分割激光束透过；以及导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光结晶化装置，其特征在于，包括：激光发生器，产生激光束；光学系统，包括：第一镜，分割入射的所述激光束而反射第一分割激光束且使第二分割激光束透过；以及导光镜，将所述第一分割激光束向基板引导；以及腔室，配置在所述光学系统的下方，并配置有支承所述基板的工作台，所述第一镜为了调节所述第一分割激光束针对所述基板的入射角而能够进行旋转。2.根据权利要求1所述的激光结晶化装置，其特征在于，所述光学系统还包括：旋转传感器，基于所述第二分割激光束的光路径来调节所述第一镜的旋转。3.根据权利要求2所述的激光结晶化装置，其特征在于，所述旋转传感器包括：计算部，基于所述激光束的光路径和所述第二分割激光束的所述光路径的差，计算所述第一分割激光束针对所述基板的所述入射角；以及控制部，比较所述入射角和预先设定的参考入射角来调节所述第一镜的旋转。4.根据权利要求3所述的激光结晶化装置，其特征在于，所述旋转传感器还包括：观测部，测定所述第二分割激光束的所述光路径。5.根据权利要求1所述的激光结晶化装置，其特征在于，所述第一分割激光束在所述导光镜反射而朝向所述基板入射。6.根据权利要求5所述的激光结晶化装置，其特征在于，所述导光镜包括面对为彼此平行的第一导光镜和第二导光镜。7.根据权利要求6所述的激光结晶化装置，其特征在于，所述第一分割激光束在所述第一导光镜和所述第二导光镜之间重复反射。8.根据权利要求1所述的激光结晶化装置，其特征在于，所述光学系统还包括：第二镜，位于所述第一镜和所述激光发生器之间并被固定。9.根据权利要求8所述的激光结晶化装置，其特征在于，所述第一镜是使所述激光束的一部分透过且将剩余一部分反射的半透过镜，所述第二镜是将所述激光束的全部反射的反射镜。10.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：申东勋，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：