用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂技术方案

本发明专利技术公开了用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂，涉及半导体生产技术领域，底座的上端固定安装有机械手，底座和机械手之间共同固定安装有真空吸附机构，真空吸附机构的底部固定安装有调节组件，通过真空吸附的方式，来实现对晶圆的传送，而调节板的设置，可实现对管内开口的大小进行调节，进而改变进气压力的大小，实现吸附力调节，使其可满足不同对不同厚度的晶圆进行传送，调节的同时还可清晰的确定旋转的角度，便于工作人员记录和查看，另外，本结构还可实现对两侧吸盘组的间距进行调节，使其可适配多种直径大小的晶圆，而吸盘采用螺纹连接的方式，不仅便于安装和拆卸，而且出现部分损坏时还便于快速更换。而且出现部分损坏时还便于快速更换。而且出现部分损坏时还便于快速更换。

【技术实现步骤摘要】
用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂


[0001]本专利技术涉及半导体生产
，具体为用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，而厂家在生产时，通常会生产多种厚度不一的晶圆，但是目前的传送机械手，不仅吸附力通常是统一的，无法适配多种厚度的晶圆运输，而且还不能根据晶圆直径的大小，进行相应的调节，从而降低了使用的通用性。
[0003]中国专利技术专利CN202011029265.6公开了一种用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂，该系统包括：N个压力传感器，N个晶圆接触器，控制器，静电发生控制器，静电发生装置；N个所述压力传感器分别与N个晶圆接触器连接，用于当确定晶圆放置到所述晶圆接触器上后，获取所述晶圆的压力值，所述压力值为N个所述压力传感器的输出值之和；所述控制器与N个所述压力传感器的输出端连接，用于根据所述压力值与预设静电控制电压模型确定对应的当前目标电压值，并利用当前目标电压值驱动所述静电发生控制器输出当前实际电压值以使所述静电发生装置产生对应的静电荷以与所述晶圆静电感应产生吸附力，实现产生各种不同工艺下，不同厚度晶圆的无滑动传输。
[0004]但是，上述现有技术仍存在传感器故障，稳定性较差以及成本过高的问题。有鉴于此，本专利技术提供了一种用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂，以解决上述现有技术中存在的技术问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂，解决了目前的传送机械手，不仅吸附力通常是统一的，无法适配多种厚度的晶圆运输，而且还不能根据晶圆直径的大小，进行相应的调节，从而降低了使用的通用性的问题。
[0006]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：
[0007]第一方面，本专利技术提出了用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统，包括底座，所述底座的上端固定安装有机械手，所述底座和机械手之间共同固定安装有真空吸附机构，所述真空吸附机构的底部固定安装有调节组件；
[0008]所述真空吸附机构包括储气罐、第一支板和第二支板，所述第二支板的内部固定安装有真空泵，所述真空泵的吸气端固定连接有第一进气管，所述第一进气管通过压力调节组件固定连接有第二进气管，所述第二进气管的自由端固定连接有连接总管，且连接总管的底部两端分别固定连接有第一进气支管和第二进气支管，所述第一进气支管和第二进气支管底部两端分别固定连接有第一吸盘和第三吸盘，且其中间处均固定连接有一个相贯通的第三进气支管，所述第三进气支管的底部固定连接有第二吸盘；
[0009]所述压力调节组件包括连接管和微型马达，所述连接管的内部中间贯穿有轴杆，所述轴杆的外部且位于连接管的内部套设有调节板，所述轴杆的顶部套接有角度调节板，所述轴杆的上端通过支柱固定连接有指针。
[0010]作为本专利技术进一步的技术方案，所述调节组件包括调节座，所述调节座的内部固定安装有电机，所述电机的动力驱动端套接有主动轮，所述调节座的底部两端分别固定安装有相对称的第一支座和第二支座，所述第一支座和第二支座的内部分别贯穿有螺纹方向相反的第一丝杆和第二丝杆，所述第一丝杆和第二丝杆的相邻一端共同贯穿有从动轮，所述主动轮和从动轮的外部共同套设有皮带。
[0011]作为本专利技术进一步的技术方案，所述调节座的底部两侧分别固定安装有两个相对称的滑轨，所述第一丝杆和第二丝杆的外部分别螺纹连接有第二丝筒座和第一丝筒座，且第二丝筒座和第一丝筒座的两端均滑动连接在滑轨的外部。
[0012]作为本专利技术进一步的技术方案，所述第一丝筒座和第二丝筒座的底部分别开设有若干组等距离的螺孔，所述调节座的内部且位于第二丝杆的一侧开设有第一通孔，所述调节座的顶部开设有第二通孔。
[0013]作为本专利技术进一步的技术方案，所述真空泵的出气端通过出气管与储气罐形成相贯通的固定连接结构，所述第二支板的内部开设有凹槽，所述真空泵位于凹槽的内部，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的顶部均固定安装有一个螺杆，所述储气罐的两端分别套接有固定座。
[0014]作为本专利技术进一步的技术方案，所述角度调节板的顶部呈圆周状刻有刻度线，所述连接管的两端分别固定安装有第一法兰和第二法兰，所述连接管的底部固定安装有外壳，所述微型马达位于外壳的内部，且其动力驱动端与轴杆相接。
[0015]作为本专利技术进一步的技术方案，所述调节板的直径与连接管的内部直径相同，所述出气管和连接总管均为弹簧软管，所述螺杆位于螺孔的内部，所述连接总管贯穿在第一通孔的内部，所述调节座的底部且与皮带相对应处开设有第三通孔。
[0016]第二方面，本专利技术还提出了一种用于传送机械手的晶圆吸附力调节方法，包括：
[0017]S1、确定位置：确定晶圆所在位置，然后为机械手输入指定数值，待输入完毕后，可启动；
[0018]S2、吸附间距调节：启动电机，在第一丝杆和第二丝杆的作用下，可带动第二丝筒座和第一丝筒座旋转，从而可对两组吸盘之间的间距进行调节；
[0019]S3、吸附力调节：启动微型马达，可在轴杆的作用下，对调节板的角度进行旋转偏移，控制连接管内部开合的大小，从而达到控制压力，改变吸附力的效果。
[0020]第三方面，本专利技术还提出了一种手臂，所述手臂为所述用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统。
[0021]有益效果
[0022]本专利技术提供了用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统及方法、手臂。与现有技术相比具备以下有益效果：
[0023]1、本专利技术中，通过真空吸附的方式，来实现对晶圆的传送，而连接管内部的调节板的设置，可实现对管内开口的大小进行调节，进而改变进气压力的大小，实现吸附力调节，同时使其可满足不同对不同厚度的晶圆进行传送，另外，指针和刻度线的设置，可清晰的确
定旋转的角度，从而有效的保障了吸附的精确性，还便于工作人员记录和查看，提高了使用的便捷性和实用性。
[0024]2、本专利技术中，通过在第一丝杆和第二丝杆的外部分别螺纹连接有第二丝筒座和第一丝筒座，且第二丝筒座和第一丝筒座的两端均滑动连接在滑轨的外部，主动轮和从动轮的外部共同套设有皮带，通过电机带动丝杆传动，可实现对两侧吸盘组的间距进行调节，从而使其可适配多种直径大小的晶圆，提高了使用的灵活性和通用性，另外吸盘采用螺纹连接的方式，不仅便于安装和拆卸，而且出现部分损坏时，可便于快速更换，进而提高了工作效率。
附图说明
[0025]图1为用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统的结构示意图；
[0026]图2为用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统真空吸附机构的结构示意图；
[0027]图3为用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统调节组件的结构示意图；
[0028]图4为用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统调节组件的结构俯视图；
[0029]图5为图4中B
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B的剖视图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上端固定安装有机械手(2)，所述底座(1)和机械手(2)之间共同固定安装有真空吸附机构(3)，所述真空吸附机构(3)包括压力调节组件(37)，所述真空吸附机构(3)的底部固定安装有调节组件(4)；所述真空吸附机构用于对所述晶圆进行吸附传送，所述调节组件(4)用于对吸盘间距进行调节。2.根据权利要求1所述的用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统，其特征在于，所述真空吸附机构(3)包括储气罐(31)、第一支板(32)和第二支板(33)，所述第二支板(33)的内部固定安装有真空泵(34)，所述真空泵(34)的吸气端固定连接有第一进气管(36)，所述第一进气管(36)通过压力调节组件(37)固定连接有第二进气管(38)，所述第二进气管(38)的自由端固定连接有连接总管(39)，且连接总管(39)的底部两端分别固定连接有第一进气支管(310)和第二进气支管(311)，所述第一进气支管(310)和第二进气支管(311)底部两端分别固定连接有第一吸盘(313)和第三吸盘(315)，且其中间处均固定连接有一个相贯通的第三进气支管(312)，所述第三进气支管(312)的底部固定连接有第二吸盘(314)；所述压力调节组件(37)包括连接管(371)和微型马达(372)，所述连接管(371)的内部中间贯穿有轴杆(373)，所述轴杆(373)的外部且位于连接管(371)的内部套接有调节板(374)，所述轴杆(373)的顶部套设有角度调节板(375)，所述轴杆(373)的上端通过支柱(376)固定连接有指针(377)。3.根据权利要求1所述的用于传送机械手的晶圆吸附力调节系统，其特征在于，所述调节组件(4)包括调节座(41)，所述调节座(41)的内部固定安装有电机(42)，所述电机(42)的动力驱动端套接有主动轮(43)，所述调节座(41)的底部两端分别固定安装有相对称的第一支座(44)和第二支座(45)，所述第一支座(44)和第二支座(45)的内部分别贯穿有螺纹方向相反的第一丝杆(46)和第二丝杆(47)，所述第一丝杆(46)和第二丝杆(47)的相邻一端共同贯穿有从动轮(48)，所述主动轮(43)和从动轮(48)的外部共同套设有皮带(49)，所述调节座(41)的底部两侧分别固定安装有两个相对称的滑轨(412)，所述第一丝杆(46)和第二丝杆(47)的外部分别螺纹连接有第二丝筒座(411)和第一丝筒座(410)，且第二丝筒座(411)和第一丝筒座(410)的两端均滑动连接在滑轨(...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹明清，
申请(专利权)人：深圳市星国华先进装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：