打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法技术

本发明专利技术涉及光电倍增管制作技术领域，具体而言涉及打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法，包括：多个罩体，每个罩体均被设置成具有密封状态和开放状态，所述罩体处于密封状态时，内部形成镀膜腔室；镀膜系统，被设置在所述镀膜腔室内；主抽系统，包括主抽泵和连接到主抽泵抽气端的主抽管道，所述主抽管道第二端连接到所述镀膜腔室。对主抽泵进行隔离而不停机，破坏镀膜腔室的真空状态后使用预抽系统建立真空度优于10Pa的负压环境，再打开主抽泵的隔离，无需破除整个镀膜机系统的真空，无需频繁停启主抽泵，极大缩短了单轮次镀膜的装卸瓦片及排气抽真空时间，提高镀膜效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法


[0001]本专利技术涉及光电倍增管
，具体而言涉及打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法。

技术介绍

[0002]打拿极型光电倍增管是广泛应用于生物医疗、光谱分析、环境监测等领域的一种光电探测器件。打拿极型光电倍增管组装激活前，需将阴极和倍增极(打拿极)瓦片(以下简称瓦片)提前镀上一层金属锑膜层。量产打拿极型光电倍增管倍增管需要实现瓦片的批量镀膜，同时还需要保障膜层厚度均匀性，实现致密性调节，其中，侧窗型光电倍增管的侧壁包含阴极入射窗和打拿极瓦片，而端窗型光电倍增管的侧壁仅包含打拿极瓦片。
[0003]批量化生产打拿极型光电倍增管每天需要进行千余瓦片的镀膜，使用常规热蒸发镀膜机(如专利文献2所示的真空镀膜机)往往需要多达十余轮镀膜。一般地，在镀膜完成后，需要关停分子，冲入气体使内外压平衡，破除真个设备的高真空状态，方可卸下已镀瓦片及装入待镀瓦片和蒸镀材料。再次启动干泵和分子泵排气抽真空，使设备真空度优于0.01Pa，方可镀膜。
[0004]显然，关闭分子泵及再次启动分子泵镀膜均需要浪费大量的时间，且镀膜完成后整个设备内的真空都被破除，再次镀膜时，需1h的抽气时间才能排除镀膜腔室和管路中的气体，以达到真空度达到镀膜要求真空度，镀膜效率低下。
[0005]此外，由于蒸发源向空间中蒸出的蒸镀材料浓度存在较大差异，因而各个方向上摆放的瓦片或阴极厚度均匀性往往也比较差，容易导致阴极和打拿极灵敏度和增益差异较大。
[0006]现有技术文献：
[0007]专利文献1：CN107706071A用于调节光电倍增管阴极制备过程真空度的方法、装置及光电倍增管与光电阴极的制作方法
[0008]专利文献2:CN109930128A一种真空镀膜机

技术实现思路

[0009]本专利技术目的在于提供一种打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法，在更换瓦片时，对主抽泵进行隔离而不停机，破坏镀膜腔室的真空状态后使用预抽系统建立真空度优于10Pa的负压环境，再打开主抽泵的隔离，无需破除整个镀膜机腔室的真空，无需频繁停启主抽泵，极大缩短了单轮次镀膜的装卸瓦片及排气抽真空时间，提高镀膜效率。
[0010]为了实现上述目的，本专利技术提供一种打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备，包括：
[0011]多个罩体，每个罩体均被设置成具有密封状态和开放状态，所述罩体处于密封状态时，内部形成镀膜腔室；
[0012]镀膜系统，被设置在所述镀膜腔室内；
[0013]主抽系统，包括主抽泵和连接到主抽泵抽气端的主抽管道，所述主抽管道第二端连接到所述镀膜腔室；
[0014]预抽系统，包括预抽泵和连接到预抽泵抽气端的预抽管道，所述预抽管道第二端连接到所述镀膜腔室；
[0015]进气阀，连接到所述镀膜腔室，用于向镀膜腔室内提供微量工艺气体；
[0016]放气阀，连接到所述镀膜腔室，用于破坏镀膜腔室内的真空环境；
[0017]其中，所述主抽管道和预抽管道上均设有隔离阀，用于控制主抽管道或预抽管道的通断状态。
[0018]优选的，位于所述主抽管道的隔离阀包括近端隔离阀和远端隔离阀，近端隔离阀和远端隔离阀之间形成主管，远端隔离阀和镀膜腔室之间形成支管。
[0019]优选的，所述预抽系统包括两路预抽系统，第一预抽系统包括第一预抽泵和第一预抽管道，第一预抽管道连接到所述主管，第二预抽系统包括第二预抽泵和第二预抽管道，第二预抽管道连接到支管。
[0020]优选的，所述第一预抽管道设有第一隔离阀，第二预抽管道设有第二隔离阀。
[0021]优选的，所述进气阀连接到所述主管，所述放气阀连接到所述支管。
[0022]优选的，所述镀膜系统包括：
[0023]蒸发源，通过蒸镀电极连接到蒸发电源，用于蒸发蒸镀材料；
[0024]环形夹具，位于蒸发源的外围，用于放置待镀工件，使蒸镀材料镀到工件上；
[0025]其中，所述环形夹具内侧设有供蒸发源和蒸镀电极穿过的预留槽，且能被驱动源驱动相对于蒸发源转动。
[0026]优选的，所述环形夹具的转动轴线沿竖直方向，所述环形夹具被设置成沿竖直方向平行分布的至少两层，所述蒸发源与环形夹具的数量相同，相邻的两个蒸发源之间设有挡板，以阻止不同层间串镀。
[0027]本专利技术提供另一种技术方案，一种打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜方法，使用上述方案中的镀膜设备，包括以下步骤：
[0028]步骤1、准备工作：使罩体处于开放状态，将蒸镀材料和待镀瓦片分别装备在蒸发舟和环形夹具上，然后使罩体处于密封状态；
[0029]步骤2、镀膜环境达成：主抽管道隔离阀以及主抽泵关闭，预抽管道和预抽泵开启，待镀膜腔室真空度低于10Pa时，关闭预抽管道隔离阀和预抽泵，启动主抽泵，打开主抽管道隔离阀，将镀膜腔室真空度抽至低于0.01Pa状态；
[0030]步骤3、镀膜处理：使镀膜腔室内的环形夹具以预定转速转动，并启动蒸镀电源，调节蒸镀电流至预定状态，蒸镀材料蒸发对待镀瓦片进行镀膜；
[0031]步骤4、更换待镀工件：关闭主抽管道隔离阀，打开放气阀破坏镀膜腔室的真空环境，使罩体处于开放状态，将蒸镀材料和已镀完的瓦片卸下，并重新装备新的蒸镀材料和待镀瓦片，然后使罩体处于密封状态；
[0032]步骤5、重新达到镀膜环境：预抽管道和预抽泵开启，待镀膜腔室真空度低于10Pa时，关闭预抽管道隔离阀和预抽泵，打开主抽管道隔离阀，主抽泵使镀膜腔室真空度抽至低于0.01Pa的真空状态；然后重复步骤3
‑
5直至工件被镀膜完成。
[0033]优选的，在步骤4
‑
5中，当任意一个镀膜腔室内的瓦片被镀完后，关闭对应镀膜腔室连通的远端隔离阀，并单独的对该镀膜腔室破除真空状态以及更换瓦片，更换完成后，使用预抽系统对镀膜腔室进行预抽，待真空度优于10Pa，关闭预抽系统，并打开远端隔离阀，重新使用主抽泵抽真空。
[0034]优选的，在步骤3中，通过进气阀向镀膜腔室内充入微量工艺气体，以调节镀膜腔室内的真空度，真空度调节范围为0.01Pa～20Pa。
[0035]应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的专利技术主题的一部分。另外，所要求保护的主题的所有组合都被视为本公开的专利技术主题的一部分。
[0036]结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本专利技术教导的前述和其他方面、实施例和特征。本专利技术的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本专利技术教导的具体实施方式的实践中得知。
附图说明
[0037]附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备，其特征在于，包括：多个罩体，每个罩体均被设置成具有密封状态和开放状态，所述罩体处于密封状态时，内部形成镀膜腔室；镀膜系统，被设置在所述镀膜腔室内；主抽系统，包括主抽泵和连接到主抽泵抽气端的主抽管道，所述主抽管道第二端连接到所述镀膜腔室；预抽系统，包括预抽泵和连接到预抽泵抽气端的预抽管道，所述预抽管道第二端连接到所述镀膜腔室；进气阀，连接到所述镀膜腔室，用于向镀膜腔室内提供微量工艺气体；放气阀，连接到所述镀膜腔室，用于破坏镀膜腔室内的真空环境；其中，所述主抽管道和预抽管道上均设有隔离阀，用于控制主抽管道或预抽管道的通断状态。2.根据权利要求1所述的打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备，其特征在于，位于所述主抽管道的隔离阀包括近端隔离阀和远端隔离阀，近端隔离阀和远端隔离阀之间形成主管，远端隔离阀和镀膜腔室之间形成支管。3.根据权利要求2所述的打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备，其特征在于，所述预抽系统包括两路预抽系统，第一预抽系统包括第一预抽泵和第一预抽管道，第一预抽管道连接到所述主管，第二预抽系统包括第二预抽泵和第二预抽管道，第二预抽管道连接到支管。4.根据权利要求3所述的打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备，其特征在于，所述第一预抽管道设有第一隔离阀，第二预抽管道设有第二隔离阀。5.根据权利要求2所述的打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备，其特征在于，所述进气阀连接到所述主管，所述放气阀连接到所述支管。6.根据权利要求1
‑
5任意一项所述的打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备，其特征在于，所述镀膜系统包括：蒸发源，通过蒸镀电极连接到蒸发电源，用于蒸发蒸镀材料；环形夹具，位于蒸发源的外围，用于放置待镀工件，使蒸镀材料镀到工件上；其中，所述环形夹具内侧设有供蒸发源和蒸镀电极穿过的预留槽，且能被驱动源驱动相对于蒸发源转动。7.根据权利要求6所述的打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备，其特征在于，所述环形夹具的转动轴线沿竖...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亮，王兴超，孙建宁，司曙光，任玲，顾燕，金睦淳，徐海洋，纪路路，周新，
申请(专利权)人：北方夜视科技南京研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：