一种芯片性能测试系统与测试方法技术方案

技术编号:30227614 阅读:32 留言:0更新日期:2021-09-29 09:54
本发明专利技术公开了一种芯片性能测试系统与测试方法,包括芯片夹具、测试台、控制器,以及分别与控制器连接的成像系统、直流探针、高频探针和光纤;芯片夹具用于夹持待测芯片,且芯片夹具放置于测试台上进行待测芯片的性能测试;成像系统位于测试台上方,用于采集待测芯片的图像;在进行性能测试时直流探针、高频探针和光纤分别与待测芯片接触;控制器根据成像系统返回的芯片图像确定芯片类型,根据芯片类型查找对应的调节数据,并基于调节数据分别对成像系统、直流探针、高频探针和光纤进行位置调节。本方案无需手动逐一去调节各器件,也无需依赖人工经验,可解决传统调节的测试效率低、准确性差等问题。性差等问题。性差等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片性能测试系统与测试方法


[0001]本专利技术属于光通信
,更具体地,涉及一种芯片性能测试系统与测试方法。

技术介绍

[0002]随着通信业务的喷量增长,对发射器件和接收器件的带宽要求越来越高,从2.5Gb/s、10Gb/s到25Gb/s、50Gb/s不等,而作为光器件核心的原材料,光发射芯片和光接收芯片的高频性能测试就显得尤为重要。在传统的测试方法中,通常需要先将待测芯片放到测试平台上,然后通过手动方式去人为调节测试系统的各器件,调节完成后对待测芯片进行高频性能测试。例如,需要调节测试系统中摄像头的位置,使摄像头能在整个测试过程中准确采集到待测芯片的图像;需要调节高频探针的位置,使高频探针能够与待测芯片的特定位置接触耦合,从而为待测芯片提供有效的高频信号;需要调节直流探针的位置,使直流探针能够与待测芯片的特定位置接触耦合,从而为芯片提供有效的直流信号;还需要调节光纤夹具的位置,使光纤的端面能够与待测芯片耦合,从而实现准确地收发光。
[0003]由上可知,在传统的测试方法中,将芯片放到测试平台上之后且对芯片进行性能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片性能测试系统,其特征在于,包括芯片夹具(101)、测试台(201)、控制器,以及分别与所述控制器连接的成像系统、直流探针(301)、高频探针(401)和光纤(501);所述芯片夹具(101)用于夹持待测芯片(100),且所述芯片夹具(101)放置于所述测试台(201)上进行所述待测芯片(100)的性能测试;所述成像系统位于所述测试台(201)上方,用于采集所述待测芯片(100)的图像;在进行性能测试时所述直流探针(301)、所述高频探针(401)和所述光纤(501)分别与所述待测芯片(100)接触,用于为所述待测芯片(100)分别提供直流信号、高频信号和光信号;所述控制器根据所述成像系统返回的芯片图像确定芯片类型,根据芯片类型查找对应的调节数据,并基于所述调节数据分别对所述成像系统、所述直流探针(301)、所述高频探针(401)和所述光纤(501)进行位置调节。2.如权利要求1所述的芯片性能测试系统,其特征在于,所述成像系统包括垂直成像模块(601)和水平成像模块(602),分别用于在垂直方向和水平方向上对所述待测芯片(100)进行图像采集;所述垂直成像模块(601)分别与第一轨道(603)和第一伺服电机连接,所述第一伺服电机与所述控制器连接;其中,所述控制器通过所述第一伺服电机控制所述垂直成像模块(601)沿所述第一轨道(603)移动;所述水平成像模块(602)分别与第二轨道(604)和第二伺服电机连接,所述第二伺服电机与所述控制器连接;其中,所述控制器通过所述第二伺服电机控制所述水平成像模块(602)沿所述第二轨道(604)移动。3.如权利要求1所述的芯片性能测试系统,其特征在于,所述直流探针(301)安装设置在直流探针座(302)上,所述直流探针座(302)与第三伺服电机连接,所述第三伺服电机与所述控制器连接;其中,所述控制器通过所述第三伺服电机控制所述直流探针座(302)在X、Y、Z三个方向上移动,实现所述直流探针(301)在X、Y、Z三个方向上的位置调节。4.如权利要求1所述的芯片性能测试系统,其特征在于,所述高频探针(401)安装设置在高频探针座(402)上,所述高频探针座(402)与第四伺服电机连接,所述第四伺服电机与所述控制器连接;其中,所述控制器通过所述第四伺服电机控制所述高频探针座(402)在X、Y、Z三个方向上移动,实现所述高频探针(401)在X、Y、Z三个方向上的位置调节。5.如权利要求1所述的芯片性能测试系统,其特征在于,所述光纤(501)由光纤夹具(502)夹持,所述光纤夹具(502)与第五伺服电机连接,所述第五伺服电机与所述控制器连接,且所述光纤夹具(502)可相对于所述测试台(201)旋转;其中,所述控制器通过所述第五伺服电机控制所述光纤夹具(502)相对于所述测试台(201)旋转,实现所述光纤(501)的位置调节。6.一种芯片性能测试方法,其特征在于,包括:利用芯片夹具(101)夹持好待测芯片(100)后,将所述芯片夹具(101)置于成像系统的采集范围内,利用...

【专利技术属性】
技术研发人员:成璇璇童超蔡敬张博胡毅
申请(专利权)人:武汉光迅科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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