一种T型Slot光波导石墨烯表面等离子体调制器结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种T型Slot光波导石墨烯表面等离子体调制器结构，包括T型slot光波导结构、双层石墨烯和金属电极，T型slot光波导结构由基底层、条形金属波导和Slot纳米狭缝组成。Slot纳米狭缝的水平Slot纳米狭缝和竖直Slot纳米狭缝能分别实现对TE模式和TM模式的亚波长局域束缚，增强石墨烯与电磁场的相互作用，提高电光调制深度和调制速率。本实用新型专利技术通过优化T型slot光波导特征参数，同步调谐TE和TM模式损耗，从而完成偏振不敏感电光调制。双层石墨烯与金属电极接触，在外界偏置电压激励下实现对光调制器的开启和关闭。本实用新型专利技术将为偏振多样化集成器件及芯片的设计提供重要技术思路。要技术思路。要技术思路。

【技术实现步骤摘要】
一种T型Slot光波导石墨烯表面等离子体调制器结构


[0001]本技术涉及光电调制
，具体说是一种T型Slot光波导石墨烯表面等离子体调制器结构。

技术介绍

[0002]电光调制器能够实现电信号与光信号之间的相互转换，在光通信系统中起着关键性作用。然而随着光通信技术的飞速发展，基于传统电光材料的光调制器已经无法满足速率高、体积小、损耗低的行业需求，这使得基于新型材料和结构的电光调制器的研发成为迫切需求。
[0003]石墨烯是一种蜂窝形的二维六方碳纳米结构材料，近年也被公认为是传统半导体电光材料的理想替代者。石墨烯之所以能够实现电光调制，主要是由于它的化学势和电导率在外加偏置电压作用下会发生变化，从而引起其折射率和光吸收率的改变。另外，在加工工艺方面，石墨烯结构也与传统CMOS加工技术相兼容。因此，凭借其特有的光电特性和制备兼容性，石墨烯在光电子器件方面表现出广阔的应用前景。
[0004]传统光波导通常是由高折射率芯层和低折射率包层构成，然而，传统光波导面临的衍射极限严重制约了它们在集成光子器件中的实际应用。表面等离子体（S本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种T型Slot光波导石墨烯表面等离子体调制器结构，其特征在于，该结构包括T型slot光波导结构、双层石墨烯和金属电极，所述T型slot光波导结构由基底层（1）、条形金属波导和Slot纳米狭缝组成，所述条形金属波导包括第一条形金属波导（4）和第二条形金属波导（5），所述Slot纳米狭缝由低折射率材料组成，包括水平Slot纳米狭缝（3）和竖直Slot纳米狭缝（2），所述水平Slot纳米狭缝（3）位于所述基底层（1）上，所述第一条形金属波导（4）和第二条形金属波导（5）并排设于水平Slot纳米狭缝（3）上，第一条形金属波导（4）和第二条形金属波导（5）之间为竖直Slot纳米狭缝（2），所述双层石墨烯包括第一石墨烯层（6）和第二石墨烯层（7），第一石墨烯层（6）和第二石墨烯层（7）覆盖在所述T型slot光波导结构上，在中部覆盖条形金属波导部分重叠形成双层结构，重叠的第一石墨烯层（6）和第二石墨烯层（7）覆盖之间设有电容填充物（8），所述金属电极包括第一金属电极（9）和第二金属电极（10），第一金属电极（9）和第二金属电极（10）分别与第一石墨烯层（6）和第二石墨烯层（7）连接。2.根据权利要求1所述的T型Slot光波导石墨烯表面等...

【专利技术属性】
技术研发人员：马佑桥，卢贤，李金花，葛孝心，
申请(专利权)人：南京信息工程大学，
类型：新型
国别省市：