本实用新型专利技术公开了一种用于电子束轨迹检测的光阑装置，所述光阑装置包括光阑支架、光阑固定条、光阑盒以及光阑板，其中：所述光阑支架上设有用于固定所述光阑固定条的安装槽，所述光阑固定条通过校准定位机构可拆卸固定于所述安装槽内，所述光阑支架的顶部形成有第一翻折边；多个所述光阑盒一一通过定位机构和连接机构可拆卸的固定于所述光阑固定条上，每一所述光阑盒上设有供所述光阑板插入的插槽，每一所述光阑盒的顶部形成第二翻折边，所述第一翻折边与所述第二翻折边相对设置。本实用新型专利技术的光阑装置便于拆装，便于维护，定位精准度高。定位精准度高。定位精准度高。
【技术实现步骤摘要】
一种用于电子束轨迹检测的光阑装置
[0001]本技术涉及真空熔炼
，特别是涉及一种用于电子束轨迹检测的光阑装置。
技术介绍
[0002]电子束熔炼指的是在真空环境下，将高速电子束流的动能转换为热能作为能源进行金属熔炼的一种方法。真空电子束蒸发镀膜是通过电子束的偏转作用于坩埚熔池当中，熔池中的金属受热熔化并形成原子蒸汽离开金属熔池液面，被蒸发出来的原子蒸汽作用于基板上，形成镀膜。上述两种真空技术均靠电子枪所发射的电子束作依托，实现后续工序。根据熔炼金属或者镀膜种类厚度的不一致，在整个操作过程中，电子束的运行时间可能较长，期间真空度、电子枪阴阳极状态、偏转磁场等因素，均会对电子束的空间运行轨迹产生影响。由于电子束所携带能量巨大，不正常的偏转会对真空设备造成损伤，更有甚者会造成真空冷却水的泄露，产生巨大的经济损失。
[0003]电子束由电子枪射出后，通过光阑中间的长方形孔后作用于坩埚熔池中。目前所使用的电子束轨迹检测光阑装置主要由光阑支架、光阑盒、光阑固定条、光阑板等组成。目前所使用的光阑装置主要存在以下几方面问题：1.光阑板与光阑盒之间固定连接，如光阑板有损坏需要整个装置更换；2.光阑盒直接影响光阑板的定位，光阑盒定位不准确；3.光阑靠近坩埚熔池一侧，长时间会造成物料堆积，影响陶瓷材料的绝缘性能；4.光阑组件的整个拆装过程不够简易，装置整个拆转过程较为繁琐。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是针对现有技术中存在的光阑装置不便维护的问题，而提供一种用于电子束轨迹检测的光阑装置。
[0005]为实现本技术的目的所采用的技术方案是：
[0006]一种用于电子束轨迹检测的光阑装置，包括光阑支架、光阑固定条、光阑盒以及光阑板，其中：
[0007]所述光阑支架上设有用于固定所述光阑固定条的安装槽，所述光阑固定条通过校准定位机构可拆卸固定于所述安装槽内，所述光阑支架的顶部形成有第一翻折边；
[0008]多个所述光阑盒一一通过定位机构和连接机构可拆卸的固定于所述光阑固定条上，每一所述光阑盒上设有供所述光阑板插入的插槽，每一所述光阑盒的顶部形成第二翻折边；
[0009]所述第一翻折边与所述第二翻折边相对设置，所述第一翻折边的边缘朝向所述光阑板并与其之间留有间隙，所述第二翻折边的底面朝向所述插槽的上表面并与其之间留有间隙。
[0010]在上述技术方案中，所述光阑板包括外光阑板、左光阑板、右光阑板和中光阑板，所述光阑盒的个数为五个，所述左光阑板、中光阑板和右光阑板依次插接于中间三个光阑
盒内，外光阑板为门型结构，门型结构的两个竖直部分别插接于位于两侧的两个光阑盒内。
[0011]在上述技术方案中，所述校准定位机构包括形成于所述安装槽的背板上的第一螺纹孔和形成于所述安装槽的左右两个侧板上的第二螺纹孔，所述第二螺纹孔两两相对设置，所述第一螺纹孔呈四角对称设置；
[0012]所述校准定位机构还包括设置于所述光阑固定条两端的第三螺纹孔和设置于所述光阑固定条两个端面的定位凹槽，所述第三螺纹孔与所述第一螺纹孔一一相对设置，所述定位凹槽与所述第二螺纹孔一一相对设置；
[0013]将所述光阑固定条固定于安装槽内时，第一光阑固定条固定螺钉配合插入所述第二螺纹孔和所述定位凹槽，第二光阑固定条固定螺钉配合插入所述第一螺纹孔和所述第三螺纹孔，构成校准定位机构。
[0014]在上述技术方案中，所述光阑固定条包括上下相对设置的两个，两个光阑固定条平行紧密相邻，所述定位机构包括设置于每一所述光阑固定条长度边缘上的突出的凸起横条和设置于所述光阑盒上的凸起部，所述凸起部可匹配插入两个光阑盒凸起横条之间的卡合空间形成卡合定位。
[0015]在上述技术方案中，每一光阑固定条共留有个沉头螺钉孔，中心五个方向与左右边缘两个相反，中心五个为光阑盒固定螺钉孔用于光阑盒固定螺钉的安装，边缘两个为第三螺纹孔用于安装第二光阑固定条固定螺钉，每一光阑固定条两侧面设有定位凹槽用于对第一光阑固定条固定螺钉进行定位。
[0016]在上述技术方案中，所述连接机构包括设置于所述卡合空间内的光阑盒固定螺钉孔、设置于所述光阑盒上的螺钉孔以及光阑盒固定螺钉，所述光阑盒固定螺钉穿过光阑盒固定螺钉孔和螺钉孔将光阑盒固定于所述卡合空间内。
[0017]在上述技术方案中，所述光阑支架包括底固定板、通过两个对称设置的侧支撑板固定于所述底固定板上的上槽以及固定于所述上槽背部的背板，所述上槽与所述背板配合形成所述安装槽，所述背板顶部弯折形成所述第一翻折边。
[0018]在上述技术方案中，四个第一螺纹孔形成在所述背板上，四个第二螺纹孔两两相对设置在所述上槽的两个相对的侧壁板上，所述底固定板上设有螺钉通孔以实现光阑装置在真空装置上的固定；上槽内侧用于安装光阑固定条，在上槽两短边留有第二螺纹孔，用于安装第一光阑固定条固定螺钉；背板与上槽配合，形成光阑固定条的安装槽，背板留有第一螺纹孔，用于光阑固定条的短边方向的紧固。
[0019]在上述技术方案中，每一所述光阑盒包括端板、底槽板、凸台板和螺杆，所述端板、底槽板、凸台板焊接围合形成所述插槽，所述凸台板上的凸起部可匹配嵌于两个光阑固定条上的凸起横条之间，所述凸台板上设有螺钉孔，所述螺钉孔与所述光阑盒固定螺钉孔一一对应设置，所述第二翻折边形成于所述凸台板的顶部，所述螺杆螺纹连接于所述底槽板的中间螺孔上。
[0020]在上述技术方案中，每一所述光阑板的顶部形成有更换抓取孔。
[0021]在上述技术方案中，每一所述光阑板的底部形成安装倒角。
[0022]在上述技术方案中，左光阑板、中光阑板和右光阑板的板面均布有多个防液滴凹槽，可避免物料直接滑落。
[0023]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0024]1.本技术的光阑装置安装完成后是一个整体，可根据使用位置的不同进行移动，并能够根据电子束参数的变化对四个光阑板限制的范围进行调整，来满足使用需求。
[0025]2光阑装置易损件光阑板满足可拆卸更换的要求，拆装简洁，可通过机械手实现相关操作。拓展了光阑组件的适用范围，延长了整个装置的运行时间。
[0026]3.光阑装置通过多重紧固定位，保证了光阑固定条以及光阑盒的空间位置，避免了光阑盒偏转、低头等情况的发生，防止光阑板无法插拔的情况。
[0027]4光阑装置针对物料蒸镀形成液滴造成短路的情况进行了结构优化，通过增加防液滴凹槽30以及翻折板的方式尽量避免由于液滴滴落而产生的粘连短路情况。
[0028]5可以根据实际使用工况，改变光阑装置的结构尺寸，来实现不同真空装置的匹配使用。
附图说明
[0029]图1为光阑装置的主视图；
[0030]图2是光阑装置的侧视图；
[0031]图3为光阑装置分解示意图；
[0032]图4为光阑支架示意图；
[0033]图5为光阑盒示意图；
[0034]图6为光阑固定条示意图；...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于电子束轨迹检测的光阑装置，其特征在于，包括光阑支架、光阑固定条、光阑盒以及光阑板，其中：所述光阑支架上设有用于固定所述光阑固定条的安装槽，所述光阑固定条通过校准定位机构可拆卸固定于所述安装槽内，所述光阑支架的顶部形成有第一翻折边；多个所述光阑盒一一通过定位机构和连接机构可拆卸的固定于所述光阑固定条上，每一所述光阑盒上设有供所述光阑板插入的插槽，每一所述光阑盒的顶部形成第二翻折边；所述第一翻折边与所述第二翻折边相对设置，所述第一翻折边的边缘朝向所述光阑板并与其之间留有间隙，所述第二翻折边的底面朝向所述插槽的上表面并与其之间留有间隙。2.如权利要求1所述的用于电子束轨迹检测的光阑装置，其特征在于，所述光阑板包括外光阑板、左光阑板、右光阑板和中光阑板，所述光阑盒的个数为五个，所述左光阑板、中光阑板和右光阑板依次插接于中间三个光阑盒内，外光阑板为门型结构，门型结构的两个竖直部分别插接于位于两侧的两个光阑盒内。3.如权利要求1所述的用于电子束轨迹检测的光阑装置，其特征在于，所述校准定位机构包括形成于所述安装槽的背板上的第一螺纹孔和形成于所述安装槽的左右两个侧板上的第二螺纹孔，所述第二螺纹孔两两相对设置，所述第一螺纹孔呈四角对称设置；所述校准定位机构还包括设置于所述光阑固定条两端的第三螺纹孔和设置于所述光阑固定条两个端面的定位凹槽，所述第三螺纹孔与所述第一螺纹孔一一相对设置，所述定位凹槽与所述第二螺纹孔一一相对设置；将所述光阑固定条固定于安装槽内时，第一光阑固定条固定螺钉配合插入所述第二螺纹孔和所述定位凹槽，第二光阑固定条固定螺钉配合插入所述第一螺纹孔和所述第三螺纹孔，构成校准定位机构。4.如权利要求1所述的用于电子束轨迹检测的光阑装置，其特征在于，所述光阑固定条包括上下相对设置的两个，两个光阑固定条平行紧密相邻，所述定位机构包括设置于每一所述光阑固定条长度边缘上的突出的凸起横条和设置于所述光阑盒上的凸起部，所述凸起部可匹配插入两个光阑盒凸起横条之间的卡合空间形成卡合定位。5.如权利要求4所述的用于电子束轨迹检测的光阑装置，其特征在于，每一光阑固定条共留有个沉头螺钉孔，中心五个方向与...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫超，罗立平，贾子朝，成成，
申请(专利权)人：核工业理化工程研究院，
类型：新型
国别省市：
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