连接件、测试设备及晶圆的测试方法技术

本申请公开了一种连接件、测试设备及晶圆的测试方法，连接件包括连接部以及安装部，连接部包括多个承载面，各承载面均可用于承载待测样品，安装部至少部分位于所有承载面之间，且安装部的延伸方向包括平行于任一承载面的分量。该设计通过在连接件的连接部上设置多个承载面，各承载面均可用于与待测样品连接以用于拉应力测试，相对于相关技术中的连接件上只设置一个承载面供待测样品连接以用于拉应力测试而言，改进后同一连接件的连接部上的多个承载面可进行切换使用，增加了同一连接件可用于拉应力测试的次数，从而提升连接件的耗材利用率，达到大幅度降低生产成本的目的。达到大幅度降低生产成本的目的。达到大幅度降低生产成本的目的。

【技术实现步骤摘要】
连接件、测试设备及晶圆的测试方法


[0001]本申请涉及拉力测试
，尤其涉及一种连接件、测试设备及晶圆的测试方法。

技术介绍

[0002]为提高待测样品的可靠性，会对待测样品的膜层间的结合强度进行拉应力测试，例如可以用粘接胶先将待测样品粘接固定于连接件上，然后将连接件装设在拉应力测试设备上，随后启动拉应力测试设备，拉应力测试设备对待测样品施加拉力，直至待测样品的不同膜层之间刚好分离，此时拉应力测试设备所测量的数值即为待测样品所能承受的最大拉应力。
[0003]由于连接件属于拉应力测试中的易耗品，因此，如何提升连接件的耗材利用率已成为亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种连接件、测试设备及晶圆的测试方法，能够有效提升连接件的耗材利用率，以大幅度降低生产成本。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种连接件，用于与待测样品连接并用于检测待测样品的拉应力；该连接件包括连接部以及安装部，连接部包括多个承载面，各承载面均可用于承载待测样品，安装部至少部分位于所有承载面之间，且安装部的延伸方向包括平行于任一承载面的分量。
[0006]基于本申请实施例的连接件，在连接件的连接部上设置多个承载面，各承载面均可用于与待测样品连接以用于拉应力测试，相对于相关技术中的连接件上只设置一个承载面供待测样品连接以用于拉应力测试而言，改进后同一连接件的连接部上的多个承载面可进行切换使用，增加了同一连接件可用于拉应力测试的次数，从而提升连接件的耗材利用率，达到大幅度降低生产成本的目的。
[0007]在其中一些实施例中，安装部为贯穿连接部的安装孔。
[0008]基于上述实施例，通过将安装部设计成贯穿连接部的安装孔，连接件可相对于测试设备转动来调整与待测样品连接的承载面，并通过安装孔实现与测试设备之间的连接，降低了连接部的承载面的切换难度。
[0009]在其中一些实施例中，多个承载面在连接部上依次首尾连接，或连接部还包括多个连接面，多个连接面与多个承载面在连接部上依次交错连接。
[0010]基于上述实施例，通过将多个承载面在连接部上的布设方式设计成依次首尾连接，一方面降低了在连接件的连接部上加工多个承载面的加工难度，另一方面连接部每转动一定角度，都能够实现连接部的承载面的切换，降低了连接部的承载面的切换难度；通过将多个连接面以及多个承载面在连接部上的布设方式设计成依次交错连接，相互交错设置的承载面经过多次打磨后，连接部上的连接相邻两承载面的连接面可能完全被打磨掉，最
终可能使得连接部被打磨成多个承载面依次连接的情况，此时可以继续利用该连接件连接待测样品以用于拉应力测试，进一步提升了连接件的耗材利用率，以进一步降低生产成本。
[0011]在其中一些实施例中，多个承载面包括彼此対置的第一承载面和第二承载面，以及彼此対置的第三承载面和第四承载面，第三承载面以及第四承载面中的每个与第一承载面以及第二承载面相交。
[0012]基于上述实施例，通过在连接部上设置四个承载面，也即第一承载面、第二承载面、第三承载面以及第四承载面，四个承载面均可用于与待测样品连接，且各承载面至少可用于一次拉应力测试，以使一个连接件至少可用于四次拉应力测试，大幅度提升连接件的耗材利用率以大幅度降低生产成本。
[0013]在其中一些实施例中，第一承载面与第二承载面彼此平行，第三承载面与第四承载面彼此平行，且第三承载面与第一承载面垂直。
[0014]基于上述实施例，通过将彼此対置的第一承载面和第二承载面设计成相互平行，第三承载面和第四承载面设计成相互平行，且第三承载面垂直于第一承载面，使得连接部呈矩形块状结构，进一步降低了连接部的加工难度。
[0015]在其中一些实施例中，第一承载面与第二承载面之间的间距为a1，且a1满足条件式：2.0≤a1≤8.0mm；和/或第三承载面与第四承载面之间的间距为a2，且a2满足条件式：2.0≤a2≤8.0mm。
[0016]基于上述实施例，当第一承载面与第二承载面之间的间距a1、第三承载面与第四承载面之间的间距a2满足上述条件式时，在连接部具有多个承载面的情况下，使得连接件的耗材利用率达到最佳，从而大幅度降低生产成本；当第一承载面与第二承载面之间的间距a1、第三承载面与第四承载面之间的间距a2超出上述条件式下限时，第一承载面与第二承载面之间的间距a1以及第三承载面与第四承载面之间的间距a2过小，连接部虽然具有多个承载面，但是连接部的各承载面能够用于拉应力测试的次数较少，导致连接件的耗材利用率仍然较低，从而不利于降低生产成本；当第一承载面与第二承载面之间的间距a1、第三承载面与第四承载面之间的间距a2超出上述条件式上限时，第一承载面与第二承载面之间的间距a1以及第三承载面与第四承载面之间的间距a2过大，虽然连接部虽然具有多个承载面且连接部的各承载面能够用于拉应力测试的次数较多，但是连接部的各承载面的尺寸过大，远超过待测样品的尺寸，造成连接件材料的浪费。
[0017]在其中一些实施例中，第一承载面与第二承载面之间的间距a1等于5mm，第三承载面与第四承载面之间的间距a2等于5mm。
[0018]基于上述实施例，通过合理的设置第一承载面与第二承载面之间的间距a1，合理的设置第三承载面与第四承载面之间的间距a2，使得当a1＝5mm且a2＝5mm时，既能够保证连接部上的各承载面可用于拉应力的次数较多，又能够保证不会因连接部上的各承载面的尺寸而造成连接件材料的浪费。
[0019]在其中一些实施例中，安装孔的孔轴线与第一承载面平行，沿垂直于第一承载面的方向，安装孔的平行且邻近第一承载面的外切面与第一承载面之间的间距为c，且c满足条件式：0.8mm≤c≤3.2mm。
[0020]基于上述实施例，通过合理的设置第一承载面与安装孔的外切面之间的间距c，且c越大表示第一承载面可用于拉应力测试的次数越多，当第一承载面与安装孔的外切面之
间的间距c满足上述条件式时，能够有效地保证连接部的第一承载面可用于拉应力测试的次数较多，使得连接件的耗材利用率达到最佳，从而大幅度降低生产成本；当第一承载面与安装孔的外切面之间的间距c超出上述条件式下限时，连接部的第一承载面可用于拉应力测试的次数较少，导致连接件的耗材利用率仍然较低，从而不利于降低生产成本；当第一承载面与安装孔的外切面之间的间距c超出上述条件式上限时，虽然连接部的第一承载面可用于拉应力测试的次数较多，但是连接部的第一承载面的尺寸过大，远超过待测样品的尺寸，造成连接件材料的浪费。
[0021]第二方面，本申请实施例提供了一种测试设备，该测试设备包括夹具以及连接件，连接件中的至少一个为上述连接件，且分别通过连接件的安装部可拆卸连接于夹具。
[0022]基于本申请实施例中的测试设备，具有上述连接件的测试设备，连接件具有多个承载面，并通过安装部可拆卸连接于夹具，并可通过转动实现与待测样品连接的承载面的切换，以让连接部上的各承载面均可用于拉应力测试，提升了连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连接件，用于与待测样品连接并用于检测所述待测样品的拉应力，其特征在于，所述连接件包括：连接部，包括多个承载面，各所述承载面均可用于承载所述待测样品；及安装部，至少部分位于所有承载面之间，且所述安装部的延伸方向包括平行于任一所述承载面的分量。2.如权利要求1所述的连接件，其特征在于，所述安装部为贯穿所述连接部的安装孔。3.如权利要求1所述的连接件，其特征在于，所述多个承载面在所述连接部上依次首尾连接；或所述连接部还包括多个连接面，所述多个连接面与所述多个承载面在所述连接部上依次交错连接。4.如权利要求1所述的连接件，其特征在于，所述多个承载面包括彼此対置的第一承载面和第二承载面，以及彼此対置的第三承载面和第四承载面，所述第三承载面以及所述第四承载面中的每个与所述第一承载面以及所述第二承载面相交。5.如权利要求4所述的连接件，其特征在于，所述第一承载面与所述第二承载面彼此平行，所述第三承载面与所述第四承载面彼此平行，且所述第三承载面与所述第一承载面垂直。6.如权利要求5所述的连接件，其特征在于，所述第一承载面与所述第二承载面之间的间距为a1，且a1满足条件式：2.0≤a1≤8.0mm；和/或所述第三承载面与所述第四承载面之间的间距为a2，且a2满足条件式：2.0≤a2≤8.0mm。7.如权利要求6所述的连接件，其特征在于，所述第一承载面与所述第二承载面之间的间距a1等于5mm；所述第三承载面与所述第四承载面之间的间距a2等于5mm。8.如权利要求4所述的连接件，其特征在于，所述安装孔的孔轴线与所述第一承载面平行，沿垂直于所述第一承载面的方向，所述安装孔的平行且邻近所述第一承载面的外切面与所述第一承载面之间的间距为c，且c满足条件式：0.8mm≤c≤3.2mm。9.一种测试设备，其特征在于，包括：夹具；及连接件，所述连接件中的至少一个为权利要求1
‑
8中任一项所述的连接件，且分别通过所述连接件的所述安装部可拆卸连接于所述夹具。10.如权利要求9所述的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括连接柱，所述连接件的所述安装部为贯穿所述连接部的安装孔，所述连接柱与所述连接件的所述安装孔插接配合，以实现所述连接件与所述夹具之间位置的相对固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄思杰，王超，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：