一种MEMS衍射波导显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种MEMS衍射波导显示装置，包括：衍射波导显示组件、MEMS扫描镜和激光发射器；其中，MEMS扫描镜与激光发射器分设在衍射波导显示组件的两侧，该MEMS扫描镜与激光发射器的位置与衍射波导显示组件的入射光栅位置对应；入射光栅上设有激光入射通孔，激光发射器的激光能通过激光入射通孔直接入射到MEMS扫描镜上；MEMS扫描镜设置在衍射波导显示组件的入射光栅上方。通过在衍射波导组件的入射光栅上设置激光入射通孔，实现了将激光发射器和MEMS扫描镜分开放置于衍射波导组件两侧的同时，不会产生杂散光影响显示，使得这种结构的衍射波导显示装置，不仅扫描角度更大，显示图像也可以更大，而且结构更紧凑、均衡。均衡。均衡。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS衍射波导显示装置


[0001]本专利技术涉及衍射波导显示领域，尤其涉及一种MEMS衍射波导显示装置。

技术介绍

[0002]近眼显示设备作为虚拟现实和增强现实技术的主要显示设备，可以将虚拟图像叠加到现实景物中，同时兼具透视特性，不影响对现实景物的正常观察。近眼显示设备会利用多种光学元件，如棱镜、半透半反镜片、自由曲面波导、镜面阵列波导、衍射波导等。其中，衍射波导显示技术是利用衍射光栅实现光线的入射、转折和出射，利用全反射原理实现光线传输，将微显示器的图像传导至人眼，进而看到虚拟图像。并且，由于采用和光纤技术一样的全反射原理，衍射波导组件可以做的和普通眼镜镜片一样轻薄透明，同时由于对光线的转折是通过镜片表面的衍射光栅来实现的，与底板的形状基本没有关系，因此易于批量制造，生产成本低。
[0003]目前，衍射波导显示装置以MEMS激光扫描系统作为微显示元件时，采用激光光源产生图像光线，图像光线通过MEMS扫描镜反射后，耦合进入衍射波导组件实现显示。目前常用的衍射波导组件结构如图1所示，主要由波导基板和位于波导基板表面的入射光栅11本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，包括：衍射波导显示组件(500)、MEMS扫描镜(631)和激光发射器(610)；其中，所述MEMS扫描镜(631)与激光发射器(610)分设在所述衍射波导显示组件(500)的两侧组成MEMS激光扫描系统，该MEMS扫描镜(631)与激光发射器(610)的位置与所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)位置对应；所述入射光栅(512)上设有激光入射通孔(518)，所述激光发射器(610)的激光能通过所述激光入射通孔(518)直接入射到所述MEMS扫描镜(631)上；所述MEMS扫描镜(631)设置在所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)上方。2.根据权利要求1所述的MEMS衍射波导显示装置，其特征在于，所述MEMS扫描镜(631)水平设置在所述衍射波导显示组件(500)的入射光栅(512)上方。所述激光发射器(610)设置在所述入射光栅(512)底部的波导基板(501)的底面的下方。3.根据权利要求1所述的MEMS衍射波导...

【专利技术属性】
技术研发人员：李会会，王丙杰，张威，李双龙，史晓刚，
申请(专利权)人：北京枭龙科技有限公司，
类型：发明
国别省市：