用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法、长晶炉和溶液移除方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法，长晶炉包括主室，主室内容纳有承载溶液的坩埚，溶液移除装置包括：吸附装置，吸附装置设置在坩埚上方，并可相对于坩埚升降，吸附装置包括具有吸附能力的耐高温无污染的吸附材料，吸附材料能对坩埚中的溶液进行吸附，使得溶液作为附着物附着在吸附材料上。通过直接吸附的方法，将溶液吸附在吸附材料上，从而有效的将富含大量杂质的溶液移除，提升后续晶棒的品质，且该装置操作简单方便，可有效提高效率，节省人力和时间成本。节省人力和时间成本。节省人力和时间成本。

【技术实现步骤摘要】
用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法、长晶炉和溶液移除方法


[0001]本专利技术涉及晶体生长领域，尤其涉及用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法，长晶炉和溶液移除方法。
[0002]
技术介绍

[0003]伴随着大装料技术（热场增大到36吋），长寿命坩埚、高拉速（水冷热屏）以及排气通畅性（多过滤罐协同作业）等技术突破，单晶炉每炉工作时间达到450小时以上，总投料量3.5吨达以上，一炉可拉单晶硅棒8根以上晶棒，提效降本，是单晶生长的努力方向。但在反复多次拉晶加料后，由于金属的分凝系数在10
‑4以下，而每次拉制的时候都会有一些残余溶液留在埚内，这些溶液的金属杂质富集，导致晶体品质随拉晶根数的增多逐渐下降，体现在少子寿命逐渐降低，严重制约了大装料长时间运行技术的发展。
[0004]现有埚底料溶液移除技术一般都是采用压差法吸料技术，使用高纯石英管或陶瓷的吸管或吸嘴，利用储存容器与单晶炉主室内的压差，使得溶液被吸入储存容器中，但在实际的过程中，当吸管或吸嘴将溶液吸到储存容器后，硅液固化，吸管或吸嘴会破裂，只能一次性使用，且由于需要压差来吸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于长晶炉的溶液移除装置，所述长晶炉包括主室，所述主室内容纳有承载溶液的坩埚，其特征在于，所述溶液移除装置包括：吸附装置，所述吸附装置设置在所述坩埚上方，并可相对于所述坩埚升降，所述吸附装置包括具有吸附能力的耐高温无污染的吸附材料，所述吸附材料能对所述坩埚中的溶液进行吸附，使得溶液作为附着物附着在吸附材料上。2.如权利要求1所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述吸附材料为石英纤维布。3.如权利要求1所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述吸附装置还包括设置在所述吸附材料下方的多孔石英板。4.如权利要求1所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述溶液移除装置还包括：储存装置，所述储存装置设置在所述吸附装置上方，所述储存装置内限定有储存空间，用于储存吸附完溶液后的所述吸附装置。5.如权利要求4所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述储存装置内设置有单向开合的隔离组件，所述隔离组件在所述吸附装置进入所述储存装置后，使得所述吸附装置不能在落入所述坩埚中。6.如权利要求5所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述隔离组件包括单向铰链和隔离板，所述隔离板设置在所述储存装置下端，所述隔离板与所述储存装置通过所述单向铰链连接，所述隔离板的数量为两块以上。7.一种利用权利要求1
‑
6任一所述的用于长晶炉的溶液移除装置的溶液移除方法，其特征在于所述步骤为：S101：将所述吸附装置浸入到坩埚内溶液的一定高度；S102：经过一定时间的吸附后，将所述吸附装置移出所述坩埚内。8.如权利要求7所述的溶液移除方法，其特征在于，还包括S103：更换新的所述吸附材料，重复S101和S102的步骤。9.一种长晶炉，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎志欣，胡动力，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：