一种微波等离子气相沉积金刚石的设备制造技术

本发明专利技术公开了一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，包括反应炉，所述反应炉内设置有反应腔，且反应炉的顶部设置有与反应腔相连通的转换器，所述转换器上连接有微波发生器，所述反应腔内设置有沉积基片台，且反应腔内壁设置有折射板，所述反应腔内壁与沉积基片台相对应位置设置有环形管，所述环形管上设置有气孔，所述反应炉的外侧设置有输气管，所述输气管通过连接装置与环形管相连通，所述连接装置包括安装在反应炉外表面的固定架以及安装在输气管上的连接架。本发明专利技术中，通过设置的连接装置，既能保证输气管路能够便捷稳定的对接安装到反应炉上，同时也可以进行便捷的拆卸工作，使用非常的灵活便捷，方便进行检修维护工作。作。作。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子气相沉积金刚石的设备


[0001]本专利技术涉及气相沉积
，尤其涉及一种微波等离子气相沉积金刚石的设备。

技术介绍

[0002]金刚石，是一种由碳元素组成的矿物，是石墨的同素异形体，化学式为C，也是常见的钻石的原身。金刚石是自然界中天然存在的最坚硬的物质。石墨可以在高温、高压下形成人造金刚石，而随着技术的发展，可通过采用微波等离子形式进行气相沉积生产金刚石，而微波等离子气相沉积金刚石的设备则是合成金刚石极为重要的设备；
[0003]现有的微波等离子气相沉积金刚石的设备，其输送甲烷氢气进行反应的管路接头，多为螺纹对接，这样的设置方式，在进行安装或者拆卸时，操作非常的不便，同时由于管路需要定期进行检修与维护，因而在拆卸安装多了后，接头的螺纹容易出现磨损，从而容易导致管路对接的密封性与稳定性下降的情况，使用存在了一定的安全性问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种微波等离子气相沉积金刚石的设备。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，包括反应炉，所述反应炉内设置有反应腔，且反应炉的顶部设置有与反应腔相连通的转换器，所述转换器上连接有微波发生器，所述反应腔内设置有沉积基片台，且反应腔内壁设置有折射板，所述反应腔内壁与沉积基片台相对应位置设置有环形管，所述环形管上设置有气孔，所述反应炉的外侧设置有输气管，所述输气管通过连接装置与环形管相连通。
[0006]所述连接装置包括安装在反应炉外表面的固定架以及安装在输气管上的连接架，所述固定架上设置有固定管，且固定架上设置有插槽与连接槽，所述连接槽内壁设置有限位槽，所述连接架上设置有与插槽相配合的管接头，且连接架上设置有与连接槽相嵌套配合的连接块。
[0007]进一步的，所述反应腔的顶部呈弧形设置。
[0008]进一步的，所述气孔设置为多个，多个所述气孔均匀分布设置在环形管上，且气孔的位置靠近沉积基片台。
[0009]进一步的，所述反应炉的底部设置有抽气管，所述抽气管上设置有压力控制器。
[0010]进一步的，所述固定管的一端贯穿反应腔内壁并且与环形管相连通。
[0011]进一步的，所述管接头的外表面嵌套设置有密封环，所述密封环设置为双组。
[0012]进一步的，所述连接架与连接块内相对应位置设置有内槽，所述内槽内设置有移动块，且内槽内壁与移动块外表面之间连接有弹簧，所述移动块的外表面远离弹簧的一侧两端位置分别设置有推杆与限位块。
[0013]进一步的，所述限位块与限位槽为嵌套配合设置。
[0014]进一步的，所述连接架上与推杆相对应位置设置有凹口。
[0015]本专利技术的有益效果：
[0016]该微波等离子气相沉积金刚石的设备，通过设置的反应腔配合折射板的设置能够使微波更加集中，从而可提升气相沉积的反应效率，通过设置的连接装置，既能保证输气管路能够便捷稳定的对接安装到反应炉上，同时也可以进行便捷的拆卸工作，使用非常的灵活便捷，方便进行检修维护工作，通过设置的环形管，可保证甲烷氢气体进入腔内的均匀性，从而可提升反应效率。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本专利技术的环形管结构俯视图；
[0019]图3为本专利技术的连接装置结构示意图。
[0020]图例说明：
[0021]1、反应炉；2、转换器；3、微波发生器；4、反应腔；5、沉积基片台；6、折射板；7、环形管；8、气孔；9、抽气管；10、压力控制器；11、连接装置；12、固定架；13、固定管；14、输气管；15、连接架；16、管接头；17、密封环；18、连接块；19、内槽；20、移动块；21、弹簧；22、推杆；23、限位块；24、插槽；25、连接槽；26、限位槽；27、凹口。
具体实施方式
[0022]图1至图3所示，涉及一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，包括反应炉1，反应炉1内设置有反应腔4，且反应炉1的顶部设置有与反应腔4相连通的转换器2，转换器2上连接有微波发生器3，反应腔4内设置有沉积基片台5，且反应腔4内壁设置有折射板6，反应腔4内壁与沉积基片台5相对应位置设置有环形管7，环形管7上设置有气孔8，反应炉1的外侧设置有输气管14，输气管14通过连接装置11与环形管7相连通。
[0023]连接装置11包括安装在反应炉1外表面的固定架12以及安装在输气管14上的连接架15，固定架12上设置有固定管13，且固定架12上设置有插槽24与连接槽25，连接槽25内壁设置有限位槽26，连接架15上设置有与插槽24相配合的管接头16，且连接架15上设置有与连接槽25相嵌套配合的连接块18。
[0024]在使用微波等离子气相沉积金刚石的设备时，按压推杆22，推杆22带动移动块20压缩弹簧21的同时也带动限位块23收入内槽19内，将连接架15上的管接头16插入插槽24内，同时连接块18也卡入连接槽25内，卡入后松开推杆22，弹簧21自动复位带动限位块23卡入限位槽26中，即可完成输气管14的快速对接工作，微波发生器3发射微波，通过转换器2转换后进入反应炉1内进行反应，通过弧形顶的反应腔4与折射板6的配合设置，可使微波更加集中，能够有效提升反应效率，同时将甲烷与氢气通过输气管14送入环形管7，并通过多个气孔8均匀分布在反应腔4内，即可均匀与沉积基片台5上的材料进行气相沉积反应工作，气相沉积工作完成后，同理按压推杆22，打开限位结构即可快速便捷的打开管路连接装置11，从而方便进行维护清理与保养工作。
[0025]进一步的方案中，所述反应腔4的顶部呈弧形设置，通过弧形设置的内腔壁配合折
射板6的设置可有效将微波进行反射集中，从而能够有效提升气相沉积的生长。
[0026]进一步的方案中，所述气孔8设置为多个，多个所述气孔8均匀分布设置在环形管7上，且气孔8的位置靠近沉积基片台5，通过结构的设置可保证进气结构能够均匀分布在反应腔4内，从而均匀的与材料进行气相沉积反应。
[0027]进一步的方案中，所述反应炉1的底部设置有抽气管9，所述抽气管9上设置有压力控制器10，通过结构的设置可方便进行抽气与控压释压工作。
[0028]进一步的方案中，所述固定管13的一端贯穿反应腔4内壁并且与环形管7相连通，通过结构的设置可保证输气装置能够稳定运行。
[0029]进一步的方案中，所述管接头16的外表面嵌套设置有密封环17，所述密封环17设置为双组，通过结构的设置可保证管路对接的密封性。
[0030]进一步的方案中，所述连接架15与连接块18内相对应位置设置有内槽19，所述内槽19内设置有移动块20，且内槽19内壁与移动块20外表面之间连接有弹簧21，所述移动块20的外表面远离弹簧21的一侧两端位置分别设置有推杆22与限位块23，通过设置的连接结构可保证连接装置11对接的精准性，同时内槽19内的结构可方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，包括反应炉（1），其特征在于：所述反应炉（1）内设置有反应腔（4），且反应炉（1）的顶部设置有与反应腔（4）相连通的转换器（2），所述转换器（2）上连接有微波发生器（3），所述反应腔（4）内设置有沉积基片台（5），且反应腔（4）内壁设置有折射板（6），所述反应腔（4）内壁与沉积基片台（5）相对应位置设置有环形管（7），所述环形管（7）上设置有气孔（8），所述反应炉（1）的外侧设置有输气管（14），所述输气管（14）通过连接装置（11）与环形管（7）相连通。2.所述连接装置（11）包括安装在反应炉（1）外表面的固定架（12）以及安装在输气管（14）上的连接架（15），所述固定架（12）上设置有固定管（13），且固定架（12）上设置有插槽（24）与连接槽（25），所述连接槽（25）内壁设置有限位槽（26），所述连接架（15）上设置有与插槽（24）相配合的管接头（16），且连接架（15）上设置有与连接槽（25）相嵌套配合的连接块（18）。3.根据权利要求1所述的一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，其特征在于：所述反应腔（4）的顶部呈弧形设置。4.根据权利要求1所述的一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，其特征在于：所述气孔（8）设置为多个，多个所述气孔（8）均匀分布设置在环形...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹晓君，
申请(专利权)人：湖南良诚新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：