用于高斯光束整形的光学机构、激光切割系统及工艺技术方案

本发明专利技术提供一种用于高斯光束整形的光学机构，包括：第一透镜和准直结构，所述第一透镜用于将高斯光束整形为扇形发散的线性光束，所述准直结构用于对所述线性光束进行准直，使其光束截面为线性光斑，且所述线性光斑在沿着其长度方向上，能量均匀分布；所述第一透镜包括第一入射面和第一出射面，所述第一入射面的曲率半径为正，圆锥系数为负，所述第一出射面为平面。由于采用新型的CO Laser（一氧化碳激光器），搭配线性光束的光学机构，大大提升了超薄玻璃的切割品质及切割强度，为超薄玻璃高强度要求的应用场景提供激光切割的工艺解决方案，并且，光学机构结构简单，大大降低了成本。大大降低了成本。大大降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
用于高斯光束整形的光学机构、激光切割系统及工艺


[0001]本专利技术涉及超薄玻璃切割加工
，具体而言，涉及一种用于高斯光束整形的光学机构、激光切割系统及工艺。

技术介绍

[0002]本文提到的超薄玻璃，指厚度在0.1mm以下的玻璃，在其切割领域，目前基本上是使用激光切割或叠片刀轮切割的方式来完成；激光切割一般使用红外（飞秒或皮秒）激光整形为贝塞尔光束，采用该种切割方案的话，在切割后，正面切割品质较差，存在一定程度的崩边，断面粗糙，大大降低了超薄玻璃产品的强度。在一些如折叠屏的应用场合，以上工艺方案并不能满足产品需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在提供一种用于高斯光束整形的光学机构、激光切割系统及工艺，用以改善切割品质，提升超薄玻璃产品强度。
[0004]本专利技术提供的一种用于高斯光束整形的光学机构，包括：第一透镜和准直结构，所述第一透镜用于将高斯光束整形为扇形发散的线性光束，所述准直结构用于对所述线性光束进行准直，使其光束截面为线性光斑，且所述线性光斑在沿着其长度方向上，能量均匀分布；所述第一透镜包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于高斯光束整形的光学机构，其特征在于，包括：第一透镜和准直结构，所述第一透镜用于将高斯光束整形为扇形发散的线性光束，所述准直结构用于对所述线性光束进行准直，使其光束截面为线性光斑，且所述线性光斑在沿着其长度方向上，能量均匀分布；所述第一透镜包括第一入射面和第一出射面，所述第一入射面的曲率半径为正，圆锥系数为负，所述第一出射面为平面。2.根据权利要求1所述的用于高斯光束整形的光学机构，其特征在于，所述准直结构包括第二透镜和第三透镜，所述第二透镜的轴线与水平方向平行，所述第三透镜的轴线与竖直方向平行。3.根据权利要求2所述的用于高斯光束整形的光学机构，其特征在于，所述线性光束的长度为l，所述l受所述第一出射面到所述第二透镜的第二入射面的距离L、第一透镜的厚度H以及扇形发散角
Ѳ
的约束，约束公式为：。4.根据权利要求3所述的用于高斯光束整形的光学机构，其特征在于，所述扇形发散角为15
°
～30
°
；所述第一入射面的曲率半径为0.4～0.8，圆锥系数为
‑
3.2～
‑
10。5.根据权利要求1所述的用于高斯光束整形的光学机构，其特征在于，射入所述第一透镜的高斯光束的直径为0.78
±
0.02mm。6.根据权利要求1
‑
5任意一项所述的用于高斯光束整形的光学机构，其特征在于，所述线性光束长度为16mm，宽度为0.3mm。7.一种超薄玻璃激光切割系统，其特征在于，包括激光源、反向激光扩束镜；所述激光...

【专利技术属性】
技术研发人员：张满强，金奉渊，李琰，曾志刚，夏菁，
申请(专利权)人：拓米成都应用技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：