具有高空间存放率的炉管储存箱制造技术

一种具有高空间存放率的炉管储存箱，包括一箱体，该箱体的第一侧面具有至少一开口连通该箱体的内部；至少一储存机构，位于该箱体内；这些储存机构包括一底座；一支撑板，位于该底座上方；该支撑板具有多个支撑凹槽；一转轴，该转轴贯穿该底座及该支撑板的中心，该转轴的上下两端以可转动的方式连接该箱体内部的上下表面；以及多个分隔件，设于该底座的上表面与该转轴之间，该多个分隔件与该底座垂直，且该多个分隔件形成等间距的均匀排列；该分隔件的数量同于该支撑凹槽的数量，且这些支撑凹槽的位置对应于这些分隔件之间的区域。位置对应于这些分隔件之间的区域。位置对应于这些分隔件之间的区域。

【技术实现步骤摘要】
具有高空间存放率的炉管储存箱


[0001]本技术有关于炉管储存结构，尤其是一种具有高空间存放率的炉管储存箱。

技术介绍

[0002]在半导体工艺中，经常需要对晶圆进行热处理工艺，其中必须要将硅晶圆置入一炉管中，以进行所需要的热反应程序。这些热反应程序包含热氧化、退火或热扩散等等不同的工艺。而炉管在使用前后，必须清洗干净后再予以适当的存放，以备下次的使用。如图14所示，现有技术中用于储存炉管的机构，主要包含一架体10'，存放时将多个炉管1'直立放置于该架体10'上。该架体10'可以储存在一箱体(图中未显示)，一般该箱体具有风机过滤机构可以过滤空气，以保持炉管1'的干净。
[0003]但上述现有技术的炉管储存设备，多个炉管1'以平行方式在该架体10'上展开排列，此种排列存放方式会占据相当大的面积，而且一般该架体10'所能存放的炉管1'的数量相当有限。因此当需要存放更多数量的炉管1'时，需要配置更多的架体10'，导致必须使用更多的空间配置更多箱体来存放这些架体10'，不但空间利用效率相当低落，再者也提高整体的储存成本。
[0004]故本技术提出一种崭新的具有高空间存放率的炉管储存箱，以解决上述现有技术上的缺陷。

技术实现思路

[0005]所以本技术的目的为解决上述现有技术上的问题，本技术中提出一种具有高空间存放率的炉管储存箱，将一箱体内配置至少一储存机构，该储存机构应用转轴贯穿底座及支撑板，并应用多个分隔件将该底座分成多个区域，这些区域可以用于置放多个炉管，并且应用该支撑板上的凹槽来支撑炉管，因此应用上述的结构，各个该储存机构上的多个炉管可以形成环状的集中放置方式，可以有效提高该炉管的储存密度，可以在相同空间达到最高的存放率。而该底座上也具有防刮部，可以防止刮伤该炉管。再者使用者可以应用转轴直接旋转整个储存机构，而可以很方便的将特定位置的炉管取出，而不需要取出整个储存机构，在使用上相当方便省时，也避免储存机构在搬运过程中造成多个炉管容易摇晃而受损。此为现有技术所无法达成的。
[0006]为达到上述目的本技术中提出一种具有高空间存放率的炉管储存箱，包括一箱体，该箱体的第一侧面具有至少一开口连通该箱体的内部；至少一储存机构，位于该箱体内；这些储存机构包括一底座；一支撑板，位于该底座上方；该支撑板具有多个支撑凹槽；一转轴，该转轴贯穿该底座及该支撑板的中心，该转轴的上下两端以可转动的方式与该箱体内部的上下表面连接；以及多个分隔件，设于该底座的上表面与该转轴之间，该多个分隔件与该底座垂直，且该多个分隔件形成等间距的均匀排列；该分隔件的数量同于该支撑凹槽的数量，且这些支撑凹槽的位置对应于这些分隔件之间的区域。
[0007]由下文的说明可更进一步了解本技术的特征及其优点，阅读时并请参考附
图。
附图说明
[0008]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0009]图1显示本技术的组件组合示意图。
[0010]图2显示本技术的储存结构与箱体的分离示意图。
[0011]图3显示本技术的箱体由其第一侧面观视的示意图。
[0012]图4显示本技术的储存结构的示意图。
[0013]图5显示本技术的储存结构容置第一炉管的示意图。
[0014]图6显示图4的上侧示意图。
[0015]图7显示本技术之储存结构的另一实施例的上侧示意图。
[0016]图8显示图7的储存结构容置第一炉管的示意图。
[0017]图9显示本技术储存结构又一实施例的上侧示意图。
[0018]图10显示图9的储存结构容置第一炉管的示意图。
[0019]图11显示本技术的储存板的局部示意图。
[0020]图12显示图11的储存板容置第二炉管的示意图。
[0021]图13显示本技术的抽屉结构从箱体抽出的示意图。
[0022]图14显示现有技术的用于储存炉管的机构示意图。
[0023]附图标记说明
[0024]1ꢀꢀ
第一炉管；
[0025]1' 炉管；
[0026]2ꢀꢀ
第二炉管；
[0027]10
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箱体；
[0028]10'架体；
[0029]11
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第一侧面；
[0030]12
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第二侧面；
[0031]13
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第三侧面；
[0032]14
ꢀꢀꢀꢀꢀ
通孔；
[0033]15
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开口；
[0034]16
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分隔部；
[0035]20
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储存机构；
[0036]21
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底座；
[0037]22
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支撑板；
[0038]23
ꢀꢀꢀꢀꢀ
转轴；
[0039]24
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分隔件；
[0040]25
ꢀꢀꢀꢀꢀ
防刮部；
[0041]26
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被固定件；
[0042]30
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固定件；
[0043]31
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插销；
[0044]40
ꢀꢀꢀꢀꢀ
盖板组；
[0045]41
ꢀꢀꢀꢀꢀ
盖板；
[0046]50
ꢀꢀꢀꢀꢀ
储存板；
[0047]51
ꢀꢀꢀꢀꢀ
固定部；
[0048]52
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容置凹槽；
[0049]53
ꢀꢀꢀꢀꢀ
杆体；
[0050]54
ꢀꢀꢀꢀꢀ
支撑部；
[0051]60
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滑轨机构；
[0052]70
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抽屉结构；
[0053]71
ꢀꢀꢀꢀꢀ
隔板；
[0054]72
ꢀꢀꢀꢀꢀ
凹陷部；
[0055]73
ꢀꢀꢀꢀꢀ
安装槽；
[0056]80
ꢀꢀꢀꢀꢀ
风机过滤装置；
[0057]90
ꢀꢀꢀꢀꢀ
灯体；
[0058]211
ꢀꢀꢀ
穿孔；
[0059]221
ꢀꢀꢀ
支撑凹槽；
[0060]222
ꢀꢀꢀ
开口；
[0061]223
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上挡管；
[0062]241
ꢀꢀꢀ
下挡管；
[0063]242
ꢀꢀꢀ
连接件；
[0064]521
ꢀ本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有高空间存放率的炉管储存箱，其特征在于，包括：一箱体，该箱体的第一侧面具有至少一开口连通该箱体的内部；至少一储存机构，位于该箱体内；这些储存机构包括：一底座；一支撑板，位于该底座上方；该支撑板具有多个支撑凹槽；一转轴，该转轴贯穿该底座及该支撑板的中心，该转轴的上下两端以可转动的方式与该箱体内部的上下表面连接；以及多个分隔件，设于该底座的上表面与该转轴之间，该多个分隔件与该底座垂直，且该多个分隔件形成等间距的均匀排列；该分隔件的数量与该支撑凹槽的数量相同，且这些支撑凹槽的位置对应于这些分隔件之间的区域。2.如权利要求1所述的具有高空间存放率的炉管储存箱，其特征在于，这些储存机构的该底座上侧位于这些分隔件之间的区域设有多个防刮部。3.如权利要求2所述的具有高空间存放率的炉管储存箱，其特征在于，该防刮部为条状。4.如权利要求1所述的具有高空间存放率的炉管储存箱，其特征在于，这些储存机构的该底座为圆盘状结构；这些储存机构的该底座具有多个穿孔。5.如权利要求1所述的具有高空间存放率的炉管储存箱，其特征在于，这些储存机构的该支撑板的这些支撑凹槽的开口处应用一可拆装的上挡管封闭。6.如权利要求1所述的具有高空间存放率的炉管储存箱，其特征在于，这些储存机构的这些分隔件之间连接一下挡管，这些下挡管的两端连接到对应的相邻两个分隔件。7.如权利要求1所述的具有高空间存放率的炉管储存箱，其特征在于，这些储存机构的这些分隔件的中段处配置一连接件，这些下挡管的两端连接到对应的相邻两分隔件上的连接件。8.如权利要求1所述的具有高空间存放率的炉管储存箱，其特征在于，还包括至少一储存板，以可活动的方式安装在该箱体内部垂直于该第一侧面的第二侧面上；这些储存板与该第二侧面平行；这些储存板朝向该箱体内部中心的一侧连接至少一固定部，且这些储存板的底侧边向外延伸出一支撑部，该支撑部与对应的固定部位于对应的储存板的同一侧；其中这些固定部上具有多个容置凹槽，这些容置凹槽的开口的一端与一可旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘怡青，连宗达，
申请(专利权)人：刘怡青，
类型：新型
国别省市：