一种利用液态金属针尖实现面积可控的自功率光电探测方法技术

一种利用液态金属针尖实现面积可控的自功率光电探测方法，通过使用液态金属镓铟合金(EGaIn)针尖，金属膜(Au or Ag)，和n型硅基底结构，在405 nm紫光或660 nm红光照射下，通过金属膜传导n型硅产生的光生载流子，可以提高光响应并实现自功率特性，通过压电控制EGaIn针尖和金属膜的微纳米级接触面积来实现I

【技术实现步骤摘要】
一种利用液态金属针尖实现面积可控的自功率光电探测方法


[0001]本专利技术属于一种利用液态金属针尖实现面积可控的自功率光电探测方法，涉及半导体、纳米材料、光学等诸多领域。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的快速发展，各种各样新型的光电探测器应运而生。然而，目前的光电探测器一旦结构成型后，就很难调控其性能，从而满足不同的应用条件。而且，它们往往需要外加电源，来保证器件的正常工作。液态金属共晶镓铟合金 (EGaIn) 由于其高导热性和导电性，良好的自愈能力和延展性被认为是制备软微电子器件最有前景的材料之一。由于造成吉布斯自由能最大降低的氧化物将主导合金表面，镓铟合金表面氧化物主要为分布在最外层的具有宽带隙 (~4.9eV) 的Ga2O
3 [1]，使其具有非牛顿特性，从而可以成形为拥有小曲率半径圆锥形尖端 [2]。利用液态金属的可形变性，同时结合当今应用最广的半导体硅材料，则有望形成接触面积可控的无损伤的自功率光电探测器。
[0003]参考文献[1] Zavabeti, A.;Ou, J. Z.;Carey, B. J.;Sy本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种由镓铟合金 (EGaIn) 针尖，金属膜 (Au or Ag )，和表面仅有1
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3 nm的自然氧化层的n型硅基底组成的结构。2.根据权利要求1所描述的结构装置，其特征在于：电极材料之一为液态金属针尖EGaIn，通过针管来制备此电极。3.根据权利要求1所描述的结构装置，其特征在于：另一个电极材料为通过磁控溅射在大小为1.0 cm*1.0 cm的n型硅基底上镀的约60 nm的Au或Ag膜。4.根据权利要求1所描述的结构装置，其特征在于：电极引线一段接在EGaIn 针尖上，一端接在金属膜基底上，电流通过EGaIn, Au or Ag构成闭合回路。5.根据权利要求1所描述的结构装置，其特征在于：固定EGaIn针尖位置，通过压电装...

【专利技术属性】
技术研发人员：向东，赵智宾，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：发明
国别省市：