一种电磁驱动式MEMS微镜制造技术

技术编号:30087639 阅读:18 留言:0更新日期:2021-09-18 08:48
本发明专利技术公开了一种电磁驱动式MEMS微镜,包括底座和微镜,所述底座上固定连接设有固定柱,所述固定柱上右侧固定连接设有固定杆,所述固定杆上设有通孔,所述通孔内设有微镜,所述微镜贯穿于通孔设置,所述微镜位于通孔内固定连接设有弹簧一,所述弹簧一的另一侧和通孔侧壁固定连接设置,所述固定杆右侧设有螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹套设有螺纹杆,所述螺纹杆贯穿于螺纹孔设置,所述螺纹杆位于通孔内设有调控槽,所述调控槽内转动连接设有转块,所述转块贯穿于调控槽和微镜固定连接设置,所述底座上设有移动板,所述底座上设有移动板的卡位装置,所述底座上设有按压装置。本发明专利技术可以对需要进行观察的物体进行更好的固定。对需要进行观察的物体进行更好的固定。对需要进行观察的物体进行更好的固定。

【技术实现步骤摘要】
一种电磁驱动式MEMS微镜


[0001]本专利技术涉及微镜
,尤其涉及一种电磁驱动式MEMS微镜。

技术介绍

[0002]MEMS是微机电系统的缩写,微机电系统,也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域,它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支,在微镜领域,可以更好的更为精准的对需要被观察的物体进行观察,但是在利用电磁驱动式MEMS微镜进行观察时,被观察的物体是被直接放置在观察台的,没有相应的固定装置,且当需要将物体进行转动以便进行更好的观察时,操作及其不便,因此提供一种新的电磁驱动式MEMS微镜。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,如:被观察的物体是被直接放置在观察台的,没有相应的固定装置,且当需要将物体进行转动以便进行更好的观察时,操作及其不便,而提出的一种电磁驱动式MEMS微镜。
[0004]为了实现上述目的,本专利技术采用了如下技术方案:
[0005]一种电磁驱动式MEMS微镜,包括底座和微镜,所述底座上固定连接设有固定柱,所述固定柱上右侧固定连接设有固定杆,所述固定杆上设有通孔,所述通孔内设有微镜,所述微镜贯穿于通孔设置,所述微镜位于通孔内固定连接设有弹簧一,所述弹簧一的另一侧和通孔侧壁固定连接设置,所述固定杆右侧设有螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹套设有螺纹杆,所述螺纹杆贯穿于螺纹孔设置,所述螺纹杆位于通孔内设有调控槽,所述调控槽内转动连接设有转块,所述转块贯穿于调控槽和微镜固定连接设置,所述底座上设有移动板,所述底座上设有移动板的卡位装置,所述底座上设有按压装置。
[0006]优选地,所述卡位装置包括在底座上侧设置的移动槽,所述移动槽位于固定柱的右侧设置,且所述移动槽位于移动板的下侧设置,所述移动槽内设有移动块,所述移动块贯穿于移动槽和移动板固定连接设置,所述移动槽内设有环形槽,所述环形槽内转动连接设有环形板,所述环形板贯穿于环形槽设置,且所述移动块贯穿于环形板和环形板固定连接设置,所述移动槽内设有接触板,所述接触板位于移动块的下侧设置,所述接触板的下侧固定连接设有弹簧二,所述弹簧二的另一侧和移动槽固定连接设置,所述移动槽内设有深槽,所述深槽内滑动连接设有滑块,所述滑块贯穿于深槽和接触板固定连接设置。
[0007]优选地,所述按压装置包括在底座上对称设置的两个压板,两个所述压板通过连接杆固定连接设置,两个所述压板右侧设有转动槽,所述转动槽的两侧通透设置,所述转动槽内固定连接设有转动杆,所述转动杆上滑动套设有弧形板,所述弧形板贯穿于转动槽设置,所述弧形板位于转动槽内固定连接设有弹簧三,所述转动杆贯穿于弹簧三设置,所述弹簧三的另一侧和转动槽固定连接设置。
[0008]优选地,所述固定柱上设有控制槽,所述控制槽内对称设有两个限位槽,两个所述限位槽之间通过限位板连通设置,所述限位板和两个限位槽滑动连接设置,所述限位板的右侧固定连接设有接触杆,所述接触杆贯穿于控制槽侧壁和连接杆固定连接设置。
[0009]优选地,所述控制槽内设有控制板,所述控制板贯穿于控制槽设置,所述控制板左侧对称固定连接设有两个弹簧四,两个所述弹簧四的另一侧和控制槽侧壁固定连接设置,所述控制槽内底部设有滑槽,所述滑槽内滑动连接设有滑杆,所述滑杆贯穿于滑槽和控制板固定连接设置,所述限位板左侧固定连接设有多个凸起,多个所述凸起和控制板接触连接设置。
[0010]优选地,所述控制板上固定套设有橡胶套。
[0011]优选地,所述螺纹杆位于固定杆外侧螺纹套设有防滑螺母。
[0012]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:通过通孔和微镜的配合,在螺纹杆和螺纹孔的作用下,对微镜的位置进行左右的调节工作,以便对物体进行更好的观测,通过特殊的按压装置,利用两个弧形板将需要进行观察的物体夹在移动板上,仅仅需要向左移动控制板,在上下移动连接杆即可,操作方便,调节快速,通过特殊的卡位装置,对移动板和移动块进行相应的固定稳定操作,在和按压装置相配合,当需要将移动板上的物体进行转动,以便进行更好的观察的时候,向下按压接触板,在对移动板进行转动即可,整体操作简单,实用性强。
附图说明
[0013]图1为本专利技术提出的一种电磁驱动式MEMS微镜的结构示意图;
[0014]图2为本专利技术提出的一种电磁驱动式MEMS微镜中固定柱的俯视连接示意图;
[0015]图3为本专利技术提出的一种电磁驱动式MEMS微镜中压板和弧形板的俯视连接示意图;
[0016]图4为本专利技术提出的一种电磁驱动式MEMS微镜中移动槽的左视剖视图。
[0017]图中:1底座、2固定柱、3固定杆、4通孔、5微镜、6弹簧一、7转块、8螺纹孔、9螺纹杆、10移动槽、11移动块、12移动板、13环形槽、14环形板、15弹簧二、16接触板、17控制槽、18压板、19转动槽、20转动杆、21弧形板、22弹簧三、23连接杆、24接触杆、25限位槽、26限位板、27滑槽、28滑杆、29控制板、30弹簧四、31凸起、32深槽、33滑块。
具体实施方式
[0018]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0019]在本专利技术的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0020]参照图1

4,一种电磁驱动式MEMS微镜,包括底座1和微镜5,底座1上固定连接设有固定柱2,固定柱2上右侧固定连接设有固定杆3,固定杆3上设有通孔4,通孔4内设有微镜5,微镜5贯穿于通孔4设置,微镜5位于通孔4内固定连接设有弹簧一6,弹簧一6的另一侧和通
孔4侧壁固定连接设置,使微镜5和通孔4之间保持良好的相对稳定效果,固定杆3右侧设有螺纹孔8,螺纹孔8内螺纹套设有螺纹杆9,螺纹杆9贯穿于螺纹孔8设置,螺纹杆9位于通孔4内设有调控槽,调控槽内转动连接设有转块7,转块7贯穿于调控槽和微镜5固定连接设置,转动螺纹杆9,在调控槽和转块7的作用下带动微镜5在通孔4内左右移动,进行更好的观察作用,螺纹杆9位于固定杆3外侧螺纹套设有防滑螺母,防止螺纹杆9和固定杆3之间产生相应的滑动,底座1上设有移动板12,底座1上设有移动板12的卡位装置,卡位装置包括在底座1上侧设置的移动槽10,移动槽10位于固定柱2的右侧设置,且移动槽10位于移动板12的下侧设置,移动槽10内设有移动块11,移动块11贯穿于移动槽10和移动板12固定连接设置,移动槽10内设有环形槽13,环形槽13内转动连接设有环形本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电磁驱动式MEMS微镜,包括底座(1)和微镜(5),其特征在于,所述底座(1)上固定连接设有固定柱(2),所述固定柱(2)上右侧固定连接设有固定杆(3),所述固定杆(3)上设有通孔(4),所述通孔(4)内设有微镜(5),所述微镜(5)贯穿于通孔(4)设置,所述微镜(5)位于通孔(4)内固定连接设有弹簧一(6),所述弹簧一(6)的另一侧和通孔(4)侧壁固定连接设置,所述固定杆(3)右侧设有螺纹孔(8),所述螺纹孔(8)内螺纹套设有螺纹杆(9),所述螺纹杆(9)贯穿于螺纹孔(8)设置,所述螺纹杆(9)位于通孔(4)内设有调控槽,所述调控槽内转动连接设有转块(7),所述转块(7)贯穿于调控槽和微镜(5)固定连接设置,所述底座(1)上设有移动板(12),所述底座(1)上设有移动板(12)的卡位装置,所述底座(1)上设有按压装置。2.根据权利要求1所述的一种电磁驱动式MEMS微镜,其特征在于,所述卡位装置包括在底座(1)上侧设置的移动槽(10),所述移动槽(10)位于固定柱(2)的右侧设置,且所述移动槽(10)位于移动板(12)的下侧设置,所述移动槽(10)内设有移动块(11),所述移动块(11)贯穿于移动槽(10)和移动板(12)固定连接设置,所述移动槽(10)内设有环形槽(13),所述环形槽(13)内转动连接设有环形板(14),所述环形板(14)贯穿于环形槽(13)设置,且所述移动块(11)贯穿于环形板(14)和环形板(14)固定连接设置,所述移动槽(10)内设有接触板(16),所述接触板(16)位于移动块(11)的下侧设置,所述接触板(16)的下侧固定连接设有弹簧二(15),所述弹簧二(15)的另一侧和移动槽(10)固定连接设置,所述移动槽(10)内设有深槽(32),所述深槽(32)内滑动连接设有滑块(33),所述滑块(33)贯穿于深槽(32)和接触板(16)固定连接设置。3.根据权利要求1所述的一种电磁驱动式MEMS微镜,...

【专利技术属性】
技术研发人员:秦毅胡耀华任斌王福杰郭芳姜鸣姚智伟
申请(专利权)人:东莞理工学院
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1